【課題】 ガラス板を精度よく滑らかに直進搬送させることができて、ガラス板に対して精度の高い加工を施すことができるガラス板の加工装置を提供すること。
【解決手段】 ガラス板の加工装置１は、加工されるべき矩形状のガラス板２をＸ方向に直進搬送する搬送手段３と、搬送手段３による直進搬送においてガラス板２を加工する加工手段６と、搬送手段３の支持ベルト１４及び１５のＸ方向に直交するＹ方向における相互の位置を調節する位置調節手段７とを具備している。 （もっと読む）

【課題】改善されたエッジ質を有する半導体ウェーハ並びにこのような半導体ウェーハを作製する方法を提供する。
【解決手段】０．３μｍよりも大きい、又は０．３μｍに等しい欠陥部を有していないエッジ領域が設けられているようにした。 （もっと読む）

【課題】 被研材の厚さや被研磨面の形状に応じた揺動中心と被研材との位置関係を容易かつ高精度に調整することのできる研磨装置を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨装置は、被研材１を介して対向配置される一対の研磨部材２，３と、該一対の研磨部材のうちの一方に連結される第１軸体４と、該第１軸体がその軸線である第１軸線Ｚａ周りに回転自在に取り付けられ、前記第１軸線と交差する第２軸線Ｙ周りに揺動可能に構成された第１揺動体６とを具備する研磨装置において、前記第１軸体を前記第１揺動体に対して前記第１軸線Ｚａ方向に移動可能に構成する移動構造６ｓ、８ｓと、前記第１軸線方向の所定範囲内の任意位置において前記第１軸体を前記第１揺動体に対して固定可能に構成する固定手段９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研摩装置の個々の調整作業を簡易化するとともに、研摩装置間或いは研摩ユニット間の機械的構造や調整特性のばらつきを低減することにより、高品位の製品を安定的に製造することを可能にした研摩装置の提供。
【解決手段】 第１研摩部材２と、第１研摩部材に連結された第１研摩軸３と、第１研摩部材に対して被研材１を介して対向する第２研摩部材４と、第２研摩部材に連結された第２研摩軸５と、第１研摩軸と第２研摩軸の相対的位置関係を調整可能な調整手段１３〜１８、４１Ａ，４１Ｂ〜５２とを有し、第１研摩軸を支持する第１支持体１１と、第２研摩軸を支持する第２支持体１２と、第１支持体及び第２支持体支持する支持フレーム１０，１０′とが設けられ、支持フレームを介在させずに第１支持体に第２支持体が直接固定されている。 （もっと読む）

【課題】 高圧は当然のこと、レンズを低圧で確実に研磨砥石に押し付けることができ、微小な大きさのレンズであったとしても、高精度に研磨加工を行うこと。
【解決手段】 回転する研磨砥石にレンズＲを所定の圧力で押し付けて、該レンズＲの表面粗さを整えるものであって、シリンダーケース３０と、該シリンダーケース３０内で軸線Ｌ方向に移動するピストン３１と、ピストン３１の移動に伴ってシリンダーケース３０外でレンズＲを先端で押圧するピストンロッド３２とを有するシリンダー３３と、ピストン３１とシリンダーケース３０とで囲まれる圧力室３４、３５に所定圧力の圧縮空気を流入させて、ピストン３１の移動量を調整する圧力調整手段３６と、ピストン３１を軸線Ｌ回りに回転させる回転手段３７とを備え、ピストン３１の外周面３１ａとシリンダーケース３０の内周面３０ａとの間が、近接状態とされているレンズ研磨用レンズ加圧装置３を提供する。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバの先端部を撓ませた状態でその先端外周縁部を円錐状に研磨加工する場合、加工開始時および加工終了時に研磨痕の発生を防止するために保護シートを使用する必要があった。
【解決手段】 本発明による光ファイバ研磨方法は、光ファイバ１８の先端が研磨面１１ａに対して接触しないように光ファイバ１８を研磨面１１ａに対して傾斜状態で保持するステップと、光ファイバ１８を傾斜させた状態のままその先端を研磨面１１ａに近接させるステップと、先端を研磨面１１ａに近接させた傾斜状態の光ファイバ１８を研磨面１１ａと平行な旋回軸線を中心に旋回し、光ファイバ１８を研磨面１１ａに対し垂直に保持してその先端部を撓ませた状態で研磨面１１ａに押し当てるステップと、研磨面１１ａと光ファイバ１８の先端外周縁部とを相対移動させて光ファイバ１８の先端外周縁部を研磨加工するステップとを具える。 （もっと読む）

【課題】板状切断部材における切断部分のばり取りや表面粗化などの整面を行う方法において、板状切断部材自体が小さいものを整面する有効な方法を提供する。
【解決手段】裁断手段によって得た板状切断部材１１の整面方法であって、該板状切断部材１１ならびに該板状切断部材１１に近似する形状寸法を有する板状研磨部材２１には予め丸穴１２，２２が開穿されており、それぞれの丸穴１２，２２に保持用シャフト１３を挿入して板状切断部材１１と板状研磨部材２１とを交互に重ね合わせて容器１４内に装着する。そして、前記保持用シャフト１３の軸方向と直交する方向からノズル１５で高圧空気を噴射し、該ノズル１５を保持用シャフト１３の軸と平行に揺動させることにより前記板状切断部材１１と板状研磨部材２１を回転させ、隣接する板状切断部材１１と板状研磨部材２１との摩擦摺動にて整面を行う。 （もっと読む）

【課題】研磨対象物の形状に左右されない自由度と研磨能力に優れた研磨装置を提供する。
【解決手段】ワーク１０を保持するワーク保持部材１１と、電気レオロジーゲル（ＥＲＧ）と砥粒とを含んで構成された研磨材１２Ａを有し、この研磨材１２Ａをワーク１０に接触させてワーク１０を研磨する研磨工具３００と、研磨工具３００を保持する工具保持部材３１０と、研磨工具３００又はワーク１０を、研磨面に対して略直行する軸を中心に回転駆動させる回転駆動手段４５０と、ＥＲＧに電圧を印加する電圧印加手段１２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 加工時の軸ずれを適切に抑えつつ加工時間を短くした加工を可能にする。
【解決手段】 眼鏡レンズを保持するレンズ回転軸と該レンズ回転軸を回転する第１モータを持つレンズ回転手段と、レンズの周縁を加工する加工具の回転軸とレンズ回転軸との軸間距離を変動させる第２モータを持つ軸間距離変動手段と、レンズ回転軸に伝達されるトルクを直接又は間接的に検知するトルク検知手段と、検知されたトルクが所定の許容レベルを下回るようにレンズ回転軸の回転速度及びレンズの加工圧の少なくとも一方を調整すべく、第１モータ及び第２モータの少なくとも一方の駆動を制御する制御手段と、レンズ回転軸に保持されたレンズに負荷を与えたときにトルク検知手段により検知されるトルク情報を表示する表示手段と、操作者がトルクの許容レベルを変更するための入力操作を可能とする操作手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ペレット皿を用いてレンズ球面の精研削加工を行う装置に関し、ワークを変更したときの装置の段取り作業が容易で、削り代の管理を正確かつ容易に行うことが可能なレンズの球面加工装置を提供する。更に、砥石軸に装着される砥石を交換することによって、粗研削、精研削及び仕上研磨のいずれの加工を行うことも可能な球面加工装置を提供する。
【解決手段】砥石軸方向の位置を調整する上下動台２４に替えて、砥石軸２５又はワーク軸１の軸直角方向に移動するＮＣサーボモータ２７駆動のＸ移動台２２を設けると共に、ワーク軸１の軸方向移動をＮＣサーボモータ２７駆動とし、更にワーク軸１の軸送り用サーボモータ１７のトルク制御でペレット皿３に対するワーク４の押圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】成形面に所定の曲率半径、面精度等を有する球形状の凹部を高精度かつ均一に研削加工する。
【解決手段】ワークを取り付ける主軸７と、主軸７に対して傾斜配置可能な研削スピンドル９と、研削スピンドル９に取り付けた研削砥石１３と、研削砥石１３をワークに押し当て、主軸７とワークの加工中心との距離を略一定にした状態で、研削砥石１３をワークと略一体的に旋回移動させる研削スピンドルホルダー１２と、加工された球形状の凹部の寸法精度を測定するセンサ３５とを備え、センサ３５による測定結果を、制御部３６を介して回転テーブル１０にフィードバックし、研削スピンドル９の傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】 レンズ等の光学素子の光学面を研磨する際に、被研磨面に不要なキズをつけることなく研磨することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】 外周部の輪郭が略楕円形状を有する眼鏡レンズ５の被研磨面に、眼鏡レンズ５に対して小さな外径からなる弾性研磨工具１（弾性研磨体３）を当接し、眼鏡レンズ５および弾性研磨工具１を回転させながら、弾性研磨工具１を揺動して研磨する。眼鏡レンズ５が揺動することにより、弾性研磨工具１（弾性研磨体３）が眼鏡レンズ５に対して相対移動する移動範囲を、略楕円形状の最短径ｆ以内に設定し、弾性研磨体３の外径ｃが、「弾性研磨工具１の外径ｃ≧（眼鏡レンズ５の最外径ｄ−眼鏡レンズ５の最短径ｆ）」、で表される弾性研磨工具１を用いて研磨する。 （もっと読む）

【課題】研削の際に発生する加工粉のワークへの付着および飛散を効果的に防止する。
【解決手段】面取り用研削装置は、平板状ワークＷを水平姿勢に支持するテーブル31と、テーブル31に支持されたワークＷの上面と外周面との交わりの角を研削する砥石21と、研削の際に発生する加工粉のワークＷへの付着および飛散を防止する空気チャンバ14とを備えている。空気チャンバ14は、同ワーク上面と相対させられうる底壁41と、砥石21の研削面21Aと相対させられうる側壁42とを有している。底壁41に、被研削部に向かって空気を噴出させる噴出口45が形成されている。側壁42に、被研削部付近の空気を吸引する吸引口46が形成されている。底壁41および側壁42が、略楔状をなしている。 （もっと読む）

所望の眼用レンズを得るために、少なくとも１つの砥石車（６）がその上に取り付けらる第１の軸と、機械加工すべきブランクがその上に着座する第２の軸とを備えるデジタル式研削機を用いる機械加工方法である。この方法は、ａ）得ようとするレンズに対応するテンプレート（２’）を第２の軸上に設置するステップと、ｂ）テンプレート（２’）を、第１の軸上に置かれたツール（６）と接触させるステップと、ｃ）２つの軸の相対位置を記録するステップと、ｄ）テンプレート（２’）全体の離散的または連続的読み取りを実行するためにステップｂ）およびｃ）を繰り返すステップと、ｅ）テンプレート（２’）の形状を計算により決定するステップと、ｆ）テンプレート（２’）を後退させるステップと、ｇ）機械加工すべきブランクを設置するステップと、ｈ）ブランクを機械加工するステップと、ｉ）場合により第２のブランクを機械加工するステップとを含む。
（もっと読む）

【課題】本発明は、短時間で効率よく研削することができ、フィルム状研削部材の耐久性が向上する製造方法または製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ローラ２２の外周面に研削用ミラーフィルム２１が保持されて、研削用ミラーフィルム２１をリング状部材Ｗに押し当てて研削を行なう工程を有するリング状部材の製造方法において、略鼓形状のローラ２２の中心軸をリング状部材Ｗの一端面が形成する平面に対して所定の角度θ１を持たせ、かつリング状部材Ｗが形成する閉曲線の接線方向に対して所定の角度θ２を持たせて配置させることにより研削を行なう工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の吸着テーブル方式の問題点を解決し、遊離砥粒の除去の完全化、ワークのエッジの両面及び端面の同時バフ研摩の実現による大幅な省力化、更にはバフ研摩終了後の遊離砥粒の除去の完全化を図ることができる画期的なワークのエッジの研摩方法及び装置を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハで代表される半導体ウェーハ等のワーク１を縦方向に、好ましくは水平面に対して６０度乃至９０度の縦方向の範囲に、最も好ましくは垂直に保持して少くとも３個の回転体２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ）で回転駆動し、ワーク１の最下部にバフ１０を配設し、研摩部１ｂには下方から遊離砥粒６（スラリー）を噴射してバフ研摩するように構成し、しかも該バフをその厚さ方向の両側から押圧するバフ押圧装置１８を備えた構成を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ディスクブレーキを構成するサポート又はキャリパを外輪６ａに直接結合固定する構造を製造する場合でも、外輪軌道１１ａ、１１ｂの形状精度及び寸法精度を十分に確保する。
【解決手段】 外輪６ａの内周面で外輪軌道１１ａ、１１ｂとなる部分に研削加工を施す際に、この外輪６ａの軸方向外端面を電動モータ３２の回転軸３３に結合固定したバッキングプレート３４に結合する。この外輪６ａの軸方向内端部は、固定の部分に対し回転自在に支持したチャック３７により径方向に掴む。この外輪６ａの軸方向内端面に、このチャック３７の側面を押し付ける事により、この外輪３６を、上記バッキングプレート３４とチャック３７とにより、軸方向両側から挟持する。この状態でこの外輪３６を回転させつつ、この外輪３６の内周面で外輪軌道１１ａ、１１ｂとなる部分に砥石を摺接させる。 （もっと読む）

【課題】 基板の外周領域を研磨する場合に、研磨領域を広げることができ、また簡単な装置で製造コストも低減することができ、基板を所望の曲率で高精度に研磨でき、さらにその高精度の研磨を再現性よく安定して行うことができるようにする。
【解決手段】 この発明は、基板Ｄを研磨する基板研磨装置１において、基板Ｄを軸回りに回転自在に支持する基板支持部２と、略円盤状でその外周に研磨部３０が形成された研磨体３と、研磨体３を軸回りに回転自在に支持する研磨体支持部４と、研磨体支持部４を移動させる研磨体移動部５とを備え、基板Ｄおよび研磨体３を回転させつつ、研磨体移動部５により研磨体３の研磨部３０を基板Ｄの外周領域に接触させかつその外周領域の形状に沿って移動させ、研磨部３０で外周領域を研磨する、ことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、研磨とともにバリ取りもでき、均一な研磨を実現でき、研磨およびバリ取り作業が短時間で完了できる研削工程を備えたリング状部材の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】円筒状のブラシ軸１１の外周にブラシ１２を取り付けた研削ブラシ２による研削を行なう工程を有するリング状部材１の製造方法において、リング状部材１の内周面１ａ側または外周面１ｂ側と研削ブラシ２とが互いに押し当たる工程と、研削ブラシ２とリング状部材１とを相対回転させるとともに、リング状部材１の中心軸方向にリング状部材１の幅と研削ブラシ２の幅とを合計した長さ以上のストローク量で研削ブラシ２がリング状部材１に対して相対的に往復移動することとなる工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】軸ずれを確実に防止することができ、眼鏡レンズの加工に手間を要さずに、玉型加工を行なうことができる眼鏡レンズの製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】玉型加工前の眼鏡レンズＬの垂直基準線に沿った方向及び垂直基準線に直交する水平基準線に沿った方向の各方向から、眼鏡レンズＬの外周端面に、回転する一対の砥石を当接させ、この一対の砥石を眼鏡レンズの中心に向かって移動させる（粗加工工程）。このとき、眼鏡レンズＬは回転駆動させない状態とする。次に、軸部材を回転駆動して、粗加工された眼鏡レンズＬを回転させながら、眼鏡レンズＬの外周端面に、回転する一対の砥石を当接させて粗加工する（回転粗加工工程）。さらに、軸部材を回転駆動して、眼鏡レンズＬを回転させながら、眼鏡レンズＬの外周端面に、回転する一対の砥石を当接させて、眼鏡レンズＬの外周端面を仕上げ加工する。 （もっと読む）