基板の縁部を研摩する方法及びシステムが提供される。本発明は、基板の縁部から物質を除去するように研摩膜に対して上記基板を回転させ、上記研摩膜に対して上記基板を回転させる際に及ぼされるエネルギー及びトルクのうちの１つの量を検出することを含む。本発明は、更に、上記研摩膜に対して上記基板を回転させる際に及ぼされる上記検出されたエネルギー又はトルクに基づいて上記基板の上記縁部から除去された物質の量を決定し、上記除去された物質の上記決定された量と設定研摩レベルとの間の差を確認し、上記除去された物質の上記決定された量と上記設定研摩レベルとの間の上記差に基づいて上記設定研摩レベルを達成するように適応された上記基板を回転させる際に及ぼすべきエネルギー又はトルクの量を決定することを含む。種々な他の態様も提供される。 （もっと読む）

【課題】ワークの全ての縁部を簡単に面取りできる、面取り装置および面取り方法を提供する。
【解決手段】 面取り装置１０は、直方体状のワークＷを挟むホルダ３４ａ，３４ｂ、ワークＷの或る面Ｆ１の縁部Ｅ１を面取りする砥石４８ａ、縁部Ｅ２を面取りする砥石４８ｂ、縁部Ｅ３を面取りする砥石７８、或る面Ｆ１を押してワークＷを回転させる押圧部材８０、および他の面Ｆ２を押してワークＷを回転させる押圧部材８２を備える。縁部Ｅ１〜Ｅ３を面取りしワークＷを回転させるサイクルを４回繰り返す。ホルダ３４ａ，３４ｂでワークＷを挟んだとき縁部Ｅ１を所定幅で面取り可能に砥石４８ａが位置決めされかつ縁部Ｅ２を所定幅で面取り可能に砥石４８ｂが位置決めされるように、ホルダ３４ａと砥石４８ａとの相対的位置関係およびホルダ３４ｂと砥石４８ｂとの相対的位置関係を設定しておくことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 回転型の定盤を用いて面取り加工を行う場合に、非常に小さいスライダにおいても、媒体対向面における面取り部の大きさのばらつきを制御する磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 回転して研磨を行う定盤に、１つのスライダを、この定盤の回転軸がこの１つのスライダの媒体対向面を貫くように固定し、この１つのスライダに荷重を印加しながら定盤を回転させて、この１つのスライダの面取り加工を行う。 （もっと読む）

【課題】大型化した薄い板材であっても、立てた状態のままでその端部を加工できる加工装置を得る。
【解決手段】立った状態で搬送ラインＬに沿って搬送される板材Ｇを、その下端側から支持する支持装置と、この支持装置によって支持された板材Ｇの両面に流体圧を作用させることにより、該板材Ｇを立った状態のまま非接触で支持する流体ガイド２７と、この流体ガイド２７により支持されている板材Ｇを保持して、該板材Ｇをその面内で回転させる板材転換装置６と、この板材転換装置６により保持されている板材Ｇを固定して、その端部を加工する加工機８と、上記加工がなされた後の板材Ｇを所定角度回転させるように板材転換装置６の駆動を制御するとともに、この板材転換装置６の駆動に先行して板材の支持を解除するように前記支持装置を制御する制御装置１０５とから加工装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】研磨により生じる摩耗粉に起因する印刷の品質不良の発生を抑止することができ、また、ドクターブレードの先端の研磨を精度良く行うことができ、さらに、ドクターブレードの幅方向における研磨状態を均一とすることができるドクターブレード研磨装置およびドクターブレードの研磨方法を提供する。
【解決手段】ドクターブレード研磨装置には、ドクターブレード２の先端を研磨するための回転自在の円筒形の研磨部２０が設けられている。位置調整部により研磨部２０の表面に対するドクターブレード２の位置を調整するとともに押圧力調整部により研磨部２０の表面に対するドクターブレード２の押圧力を調整するようになっている。さらに、ドクターユニット１を研磨部２０の軸方向に沿って揺動させるためのドクターユニット揺動部５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】矩形のガラス基板の縁の面取寸法を計測及び補正する方法に関し、面取装置からワークを取り出すことなく加工寸法を自動計測して、その計測値に基づいて面取装置のテーブルや工具の位置を修正する。
【解決手段】板材１に直角三角形の３頂点となる位置に位置決めマーク４を付し、板材１の送り方向と平行な側縁の加工を行ったあと、第１計測工程で板材１を送り戻し方向に送って２個のカメラ５の一方で送り方向に付された２個のマーク４を読取って当該２個のマークの送り直角方向の位置の差を検出し、第２計測工程でカメラ５を板材１の側縁を読取る位置に移動したあと板材１を送って２個のカメラ５で当該側縁の加工寸法を検出する。またその検出結果に基づいてテーブルの角度及び工具高さの補正値を求める。 （もっと読む）

【課題】工具の形状に制約されずに、振動付与による加工効率と加工品質の向上を達成させる為に、加工テーブルを加振して、機械的振動をワークに伝達させ工具側と同様の効果を得る。
【解決手段】最適な振幅の幅を設定できて更にテーブル全面を均一な振幅を出力すること、その為には振動板の背面に複数個の振動子を並列に取り付け、振幅のゼロになる部分いわゆるノード分布に共振させて均一な振幅をつくる振動板の構造を工夫した。 （もっと読む）

【課題】 小径の金型や光学レンズなどの凹面の研削においても、砥石の成形作業の効率化をはかり、良好に研削加工することができる研削方法および研削装置を提供する。
【解決手段】 研削装置に取り付けられた研削用のワーク１と工具４の砥石部３をカバー５で覆い、そのカバー５の一部に取り付けられた超音波振動素子９によってカバー５内の研削液に振動エネルギーを与える。カバー５内に研削液を流入させるための研削液供給管８を設ける。とくに、研削液をカバー５内で循環させながらワーク１を研削する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの破損を良好に防止することができ、更に良好に半導体製造工程を施すことが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ブレード２１を半導体ウエハ１１の一方の主面に対して垂直に当接させた上で、ブレード２１を回転させ、更に半導体ウエハ１１の周方向にブレード２１を移動させることにより、環状溝を形成する。この環状溝を形成する工程を複数回行うことにより、半導体ウエハ１１に、研削前の半導体ウエハ１１の厚みを備える補強部１１ａを形成する。補強部１１ａは、半導体ウエハ１１の搬送、拡散工程、金属膜形成工程等の半導体製造工程の際の補強部材として機能する。 （もっと読む）

【課題】熟練した技能を要することなく、レンズを高い形状精度と研磨面精度で加工する。
【解決手段】レンズ３を回転傾斜自在に保持し、レンズ３の回転軸に対し研磨皿５の回転軸を傾斜した状態で、研磨皿５の傾斜自在な支持を固定して研磨皿５にレンズ３を当接配置し、レンズ３と研磨皿５の回転運動と揺動運動により研磨加工を行う第１の研磨工程と、レンズ３の傾斜自在な支持を固定すると共に、研磨皿５を回転傾斜自在に保持して引き続きレンズ３と研磨皿５の回転運動と揺動運動による研磨加工を行う第２の研磨工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】従来より面取りの品質を安定させることが可能なコイルばね面取加工機を提供する。
【解決手段】本発明のコイルばね面取加工機１０によれば、面取り加工中に、コイルばね９０はばね収容貫通孔３５Ｆに収容されて巻回軸９０Ｊと直交する全方向への移動が規制されるので、従来のものに比べて面取り加工中のコイルばね９０の位置が安定する。しかも、コイルばね９０は砥石車２０，２１から受けた研削抵抗力Ｆ１，Ｆ２により回転するので、従来のようにコイルばね９０を挟持する必要がなくなり、コイルばね９０の変形を抑えることができる。これらにより、従来よりコイルばね９０に対する面取り加工の品質が安定する。 （もっと読む）

【課題】
簡易な機構の異常検出センサにより、誤認識無くノッチ用砥石の異常の有無を確認することが可能であるウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法を提供すること。
【解決手段】
面取り装置１０のノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１の近傍に位置し、噴射するエアーの背圧の変化により砥石の異常の有無を確認する異常検出センサ１により、ノッチ用砥石に発生する、破損、脱落、又は変形等の異常を誤検出することなく確認する。 （もっと読む）

【課題】従来のものよりコンパクトな光学素子用研摩機を提供することにある。
【解決手段】光学素子を回転駆動するように構成されたスピンドルと、該スピンドルに対して移動できる研摩工具と、スピンドルおよび研摩工具へのアクセスを可能にする扉が設けられた前面とを有し、研摩工具が本体上に取付けられ、該本体が第一軸線の回りで回転できるように摺動手段に取付けられ、該摺動手段は前記前面に対して実質的に垂直であることを特徴とする光学素子用研摩機。 （もっと読む）

【課題】被加工物の案内部分の長さが短い場合でも、被加工物をしっかりと保持することができ、高精度な加工が可能な研削装置を提供する。
【解決手段】本発明の研削装置１は、前工程からの被加工物８を受け取り保持し、加工が行われる固定案内部４へと搬送する搬送部３の被加工物保持部３２と、被加工物を位置決め保持する固定案内部４の被加工物案内部（扇形部材）４１とが、互いに入れ込み可能であるように構成されている。この場合、被加工物案内部４１と被加工物保持部３２とで、被加工物をＮ箇所（Ｎ≧３）で案内または保持しているようにする。 （もっと読む）

【課題】加工精度と加工効率を同時に向上させることができるシャフト加工装置を提供する。
【解決手段】ベルト５６が各ローラ５０により回転駆動されると、ベルト５６がピニオンシャフト１の切欠き部３の角部Ｃに対して摺動する。これにより、セット治具本体２４に保持されたピニオンシャフト１の切欠き部３の角部ＣがＲ形状に加工される。このように、従来のように作業者が手作業で加工するのではなく、ベルト５６により機械的（自動的）にピニオンシャフト１を加工するため、切欠き部３の角部Ｃの加工精度を高めかつ安定させることができるとともに、角部Ｃの加工効率を高めることができる。 （もっと読む）

基板の縁を研磨するように適応される装置及び方法は、研磨膜と、該研磨膜に張力及び荷重をかけて、膜の少なくとも一部分を平面内に支持するように適応されるフレームと、研磨膜の平面に対して基板を回転して、研磨膜が基板に力を付与し、少なくとも外縁及び第１斜面を含む基板の縁に輪郭合わせし、更に、基板回転時に外縁及び第１斜面を研磨するように適応される基板回転駆動装置と、を備えている。多数の他の態様も提供される。 （もっと読む）

【課題】端面の研磨量を減らし、面取部の研磨量を増やすことにより、隣接した面取部により形成される溝の奥まで確実に鏡面研磨し、かつ面取部角度を規格内に納めることのできる研磨用ブラシ、およびブラシ調整用治具と研磨用ブラシの調整方法を提供することを目的としている。
【解決手段】端面１０に面取部１２と側壁部１１とを形成したガラス基板１を複数枚積層し、該端面を研磨するための調整ブラシ４であって、外形が略円柱状であり、かつ外周面が研磨面であり、ブラシを形成する繊維４０が、毛先に向かって径が小さくなる形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 面精度の高い光学レンズを効率良く高精度に研磨することができるレンズ研磨装置及びレンズ研磨方法を提供すること。
【解決手段】 本実施形態に係るレンズ研磨装置１は、被加工レンズ２と面接触する球面状の研磨面３ａを有する研磨皿（研磨部）３と、被加工レンズ２をレンズホルダー５を介して保持して研磨面３ａに被加工レンズ２を押圧する保持押圧部６と、保持押圧部６を研磨皿３に対して研磨面３ａの球芯７を通る第一揺動軸Ｃ１回りに揺動させる第一揺動機構８と、研磨皿３を保持押圧部６に対して球芯７を通る第二揺動軸Ｃ２回りに揺動させる第二揺動機構１０と、球芯７が研磨皿３側に配される場合には、第一揺動機構８を駆動させ、球芯が保持押圧部６側に配される場合には、第二揺動機構１０を駆動させる制御部１２と、球芯７が研磨皿３側又は保持押圧部６側の何れに配されているかを識別する検出センサ（検出部）１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】玉型形状眼鏡レンズの大きさや周縁形状にかかわらず加工干渉を回避することが容易なレンズ研削加工方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】眼鏡レンズＭＬのレンズ軸２３，２４に沿ってヤゲン砥石１１３，穴開けスピンドル１１４との相対的位置関係を移動するための第１の位置制御手段（演算制御回路８０の機能の一部）を有する。更に、ヤゲン砥石１１３，穴開けスピンドル１１４の回転軸に沿って眼鏡レンズＭＬを挟持するレンズ軸２３，２４との相対的位置関係を移動するための第２の位置制御手段（演算制御回路８０の機能の一部）を有する。また、２種類の位置制御手段（演算制御回路８０の機能の一部）の移動ＭＬ方向によって形成される平面に対してほぼ直交する方向に眼鏡レンズＭＬの挟持用のレンズ軸２３，２４とヤゲン砥石１１３，穴開けスピンドル１１４との相対的位置関係を移動するための第３の位置制御手段（演算制御回路８０の機能の一部）を有する。 （もっと読む）

【課題】玉型形状眼鏡レンズの大きさや周縁形状にかかわらず加工干渉を回避することが容易なレンズ研削加工装置及び眼鏡レンズ加工方法を提供する。
【解決手段】眼鏡レンズＭＬの挟持軸２３，２４に沿って回転切削手段１１４又は研削手段１１３との相対的位置関係を移動するための第１の位置制御手段、また、回転切削又は研削手段の回転軸に沿って眼鏡レンズＭＬの挟持軸との相対的位置関係を移動するための第２の位置制御手段、また、前記２種類の位置制御手段の移動方向によって形成される平面に対してほぼ直交する方向に眼鏡レンズＭＬの挟持軸と回転切削又は研削手段との相対的位置関係を移動するための第３の位置制御手段を有する。しかも、眼鏡レンズを挟持する軸と平行な軸周りに回転可能に保持された第２の回転切削又は研削手段を前記第２の位置制御手段の移動方向に対して、眼鏡レンズＭＬを挟持軸を中心に相反する方向に配置している。 （もっと読む）