【課題】研摩設備における配管、研摩装置の各部材の腐食を極力抑制することが可能であるとともに、高精度の被研摩面を実現可能な、セリウム系研摩材スラリーを提供する。
【解決手段】本発明は、Ｌａを含有する混合希土酸化物より得られたセリウム系研摩材スラリーにおいて、２つ以上のカルボキシル基と少なくとも１つの水酸基を有する有機化合物又はそれらの塩、もしくは縮合数が２以上の酸性リン酸塩から選ばれる少なくとも１種を添加剤として含有し、ｐＨが４．０〜９．５であり、該セリウム系研摩材スラリーに標準酸化還元電位が−１．７Ｖ以上の金属を２４時間以内の条件で浸したときに、該金属の質量減少率が１％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】銅汚染を防止したワイヤソー用スラリーを提供する。
【解決手段】分散媒として金属被膜形成物質またはキレート剤を０．０１〜１ｗｔ％含むスラリーをワイヤソー用スラリーとして用いる。金属被膜形成物質やキレート剤がワイヤのブラストメッキから侵出した銅を捕獲し、銅のウェーハバルクへの侵入を防止する。被膜形成物質はリン酸塩を含むもの、キレート剤はエチレンジアミン四酢酸やエチレントリアミン五酢酸を含むものでもよい。分散媒はグリコール系や鉱物油系でもよい。 （もっと読む）

【課題】 本体側壁に装着され、本体より突出する集塵アダプタ１３であっても、邪魔にならず作業効率が低下しない、集塵アダプタ付き電動工具を提供する。
【解決手段】 本体に内蔵されたモータによって出力軸に取り付けられた先端工具を回転又は往復運動させることにより、被加工対象物を切断または研削または穿孔また削る集塵アダプタ付き電動工具において、作業中に発生した粉塵は前記モータに連結されたファンによる吸引力および排気風、又は外部に設置した集塵装置の吸引力により前記本体内部に設けられた風路を通り、前記風路に接続する集塵袋を有した集塵アダプタまたは、集塵装置のホースに接続された集塵アダプタが風路の相対する壁にそれぞれ設けられた本体外部に貫通した対称な穴に本体外部からどちら側からでも接続可能なことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨を行っている状態で高精度の光学終点検知を可能とし、長期間使用した場合であってもスラリー漏れを防止し得る研磨パッドを提供すること。
【解決手段】中間層１２を介してクッション層１３上に研磨層１０を積層した研磨パッド１であって、研磨層１０は、第１開口部１１が形成された研磨領域８と、第１開口部１１内に配設され、中間層１２と当接した光透過領域９とを備えるものであり、中間層１２及びクッション層１３は、光透過領域９よりも小さく、かつ光透過領域９と重なるように形成された第２開口部１４を備えるものであり、中間層１２は、樹脂フィルムにセラミックを蒸着した複合フィルムであることを特徴とする研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】クランプシャフトの重量増と作業性の低下の双方を回避しながら、蓋部材を確実に閉蓋状態に保持できるようにする。
【解決手段】クランプシャフト２６を閉蓋姿勢にすると、クランプシャフト２６の両端部では、第１偏心カム３０Ｆ，３０Ｒが受圧部２３を下から押圧し、受圧部２３からの反力によりクランプシャフト２６が蓋部材１３の上面を押圧する。クランプシャフト２６の中央側部分では、第２偏心カム３１がクランプ部材３７を下から押圧して押し上げるので、フック４５，４６が槽本体１１に係止し、それ以上のクランプ部材３７の上動が規制され、クランプ部材３７からの反力により、クランプシャフト２６が蓋部材１３の上面を押圧する。 （もっと読む）

【課題】ハンドル握り部を把持した後にトリガスイッチをオンしない限りモータが駆動しない、安全性に優れた電動工具を提供する。
【解決手段】駆動源であるモータ２と、モータ２を収容する本体胴体部と、本体胴体部と一体に設けられるハンドル握り部１と、電源からモータ２への電力供給の入り切りを操作するトリガスイッチ３と、を備えた電動工具において、ハンドル握り部１が把持されたことを検出する接触センサ４と、接触センサ４により、ハンドル握り部１の把持が検出がなされていない場合における、モータ２への電力供給を遮断する補助スイッチ７と、補助スイッチ７の駆動を制御する補助スイッチ駆動手段８を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面の超仕上げを行う超仕上げ加工工程において超仕上げ加工の間にその仕上げ状態を判定する。
【解決手段】仕上げ状態判定装置１６は、ワークＷの表面に超仕上げ加工を施す加工装置１に設けられるＡＥセンサ１５と、対象となるワークＷの超仕上げ加工の前に行われる他のワークに対する超仕上げ加工の際にＡＥセンサ１５から出力されるＡＥ信号をマスタ信号１００として記憶するマスタ信号記憶部３４と、対象となるワークＷの超仕上げ加工の際にＡＥセンサから出力されるＡＥ信号である検査信号２００をマスタ信号記憶部３４に記憶されたマスタ信号１００と比較する信号比較部３６と、信号比較部３６による比較結果に基づき仕上げ状態の良否を判定する判定部３７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードのばたつき量を簡単に検出可能な切削ブレードのばたつき検出方法を提供する。
【解決手段】切刃５０を備えた切削ブレード２８によって板状物を切削する切削手段と、該切削ブレードの回転軸方向の一方側に配設され該切削ブレードまでの距離を検出するブレード検出手段８０とを具備する。切削ブレードばたつき検出方法は、該切削ブレードのばたつき許容値Ｔを設定する許容値設定工程と、該切削ブレード２８を回転させながら前記切削ブレード検出手段８０で回転中の該切削ブレードまでの距離を複数回検出する距離検出工程と、該距離検出工程で検出された距離のうち最大値Ｍと最小値ｍとの差を算出するばたつき量算出工程と、該ばたつき量算出工程で算出された（Ｍ−ｍ）値と該許容値設定工程で設定したばたつき許容値Ｔとを比較し、（Ｍ−ｍ）値がばたつき許容値Ｔより大きい場合に不良と判定する判定工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】エアーベアリングによって回転軸が支持される構成のスピンドルユニットにおいて、噴出されて使用済みとなったエアーが高温となることによりスピンドルユニットに連結されたコードやチューブが劣化するのを防止する。
【解決手段】回転軸２０の先端部に切削ブレードが装着され後端部に回転駆動部２２が連結され回転軸２０がスラストベアリング２１２及びラジアルベアリング２１４から噴出されるエアーによって回転可能に支持された構成のスピンドルユニット２において、噴出され回収したエアーを回転駆動部２２の後部側で開口する排気口２１９から排気することによりエアーが高温とならないようにしてコード２２ｃやチューブ２１６ａの劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】
先端工具と被削材の接触面から刃具接線方向へ粉塵、火花が飛散してしまうことを防止し、周囲への粉塵、火花の飛散を防止する動力工具を提供することである。
【解決手段】
モータと、モータからの駆動力により回転される先端工具７と、先端工具７を覆う保護フード２とを有する動力工具において、動力工具に先端工具７と被削材との接触により生じる飛散物を遮蔽する遮蔽部材（３、４、５、６）を設けた。
また、遮蔽部材（３、４、５、６）において動力工具と接続される一端は非弾性体で構成され、他端は弾性体で構成した。
また、遮蔽部材（３、４、５、６）は動力工具に着脱自在とした。
また、遮蔽部材（３、４、５、６）使用位置と収納位置を有する。
また、遮蔽部材（３、４、５、６）は飛散物の飛散方向に合わせて配設位置を変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置に故障が発生した場合、特に重大な故障でない限り、装置全体を停止させることなく、基板に対する一部の処理を継続して、基板を洗浄・回収したり、装置内の基板を容易に外部に排出したりすることで、基板が処理不能となるリスクを低減できるようにする。
【解決手段】研磨部３、洗浄部４及び搬送機構７，２２を有する基板処理装置の運転方法であって、研磨部３、洗浄部４及び搬送機構７，２２のいずれかで異常を検知した際に、異常を検知した場所及び基板の基板処理装置内の位置によって基板を分類し、異常検知後における基板に対する処理を分類した基板毎に変えて行う。 （もっと読む）

【課題】工具を用いることなくホイールガードを動力工具本体に取り付け、取り外しを可能とすると共に、動力工具使用時の振動などでホイールガードの着脱レバーが動作した場合でもホイルガードが動力工具本体から外れることのないホイルガード保持構造を有する動力工具を提供することにある。
【解決手段】締付けバンド３を有するホイルガード１を有する動力工具において、締付けバンド３またはホイルガード１に着脱レバー８を設け、着脱レバー８を操作することでホイルガード１の着脱が可能となることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を平坦に保持し、安定した加工を行うことができる基板研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る基板研磨装置１００は、基板Ｗが載置されるステージ２と、ステージ２に設けられ、基板Ｗを吸着する第１吸着部及び第２吸着部と、第１吸着部及び第２の吸着部のＯＮ／ＯＦＦを切替える切替部３と、基板Ｗにオペレーションを行うための加工プローブ２０とを備え、切替部３は、加工プローブ２０の位置に応じて第１吸着部と第２吸着部の一方をＯＮし、他方をＯＦＦする。 （もっと読む）

【課題】分割構造を有するガイドローラにおいて、切断用ワイヤのガイド溝が形成される樹脂層の剥離を有効に防止する。
【解決手段】ガイドローラ２４Ａは、内側ローラ４０と、回転周方向に分割される複数の分割片５１Ａ，５１Ｂからなり、内側ローラ４０の外周面上に固定される外側ローラ５０とを備え、この外側ローラ５０の外周面にワイヤＷのガイド溝５６を有する。分割片５１Ａ，５１Ｂの外周面上には、樹脂層５４Ａ，５４Ｂが形成されておりこの樹脂層５４Ａ，５４Ｂにガイド溝５６が形成されている。そして、分割片５１Ａ，５１Ｂの外周面であって前記周方向における少なくとも両端近傍の位置に、前記樹脂層５４Ａ，５４Ｂの周方向変位を規制する溝５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】バレル槽が上下動したまま研磨が続けられるのを防止する。
【解決手段】蓋部材３４には、蓋部材３４がハウジング３０の開口部３１を閉塞する閉蓋位置にある状態で、バレルケース１３内のバレル槽１４が抑制部材１８による抑制を受けずに上方へ変位したときに当接可能な当接部４１が設けられ、ハウジング３０には、蓋部材３４が閉蓋位置から上方へ変位したことを検知して、回転部材１２及びバレルケース１３の回転動作を停止させるための検知信号を出力する検知部材５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒式ワイヤソーにおけるワークの切断精度を向上。
【解決手段】芯線の周囲に砥粒を固着したワイヤソーを一定間隔で設けられた溝を有する複数本のガイドローラの前記溝内に巻き掛けてワイヤソー列を形成し、ワイヤソーを往復走行させ、前記ワークを複数のウェーハに切断するワイヤソーによるワーク切断方法において、下記工程（ａ），（ｂ）を繰り返すサイクル走行を行うことを特徴とするワイヤソーによるワーク切断方法。
（ａ）ワイヤソー上の基準点Ｐが、往方向の走行長さＦ₁より復方向の走行長さＢ₁が小さくなるようなワイヤソーの往復運動を、第１基準位置Ｐ₁から出発し、第２基準位置Ｐ₂に到達するまで繰り返す。
（ｂ）ワイヤソー上の基準点Ｐが、復方向の走行長さＢ₂より往方向の走行長さＦ₂が小さくなるようなワイヤソーの往復運動を、前記第２基準位置Ｐ₂から出発し、前記第１基準位置Ｐ₁に到達するまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】取っ手の変形を防止する。
【解決手段】水平に回転する回転部材２１と、回転部材２１における回転中心から偏心した位置に回転可能に設けた有底筒状のバレルケース２５と、バレルケース２５内に収容されたバレル槽２６とを備え、バレル槽２６は、有底筒状の槽本体２７と、槽本体２７の上面の開口を塞ぐバレル蓋３１とを備えており、バレル蓋３１には、バレル蓋３１の上面から立ち上がる一対の脚部３８と、一対の脚部３８の上端同士の間に差し渡される把持部３９とから構成された取っ手３７が設けられているバレル研磨機において、取っ手３７には、取っ手３７よりも剛性の高い材料からなる補強部材４０を設けた。 （もっと読む）

【課題】幅方向両端部が反対側に傾斜するクラウンモールド材を傾斜切りする場合に、従来はテーブルに寝かせた状態で切断機本体を一定角度斜め切り方向に傾斜させる必要があり、この種の切断加工が面倒であり、精確に行うことが困難であった。本発明では、切断機本体は直角切り位置のままでテーブルを回転させるだけで、この種の切断材について迅速かつ精確に傾斜切りできるようにすることを目的とする。
【解決手段】固定カバー１１ｂのスピンドル１６よりも後ろ側の下端部１１ｃを前側の下端部１１ｄよりも上側へ寸法Ｌ０だけ逃がして切り込み深さを大きくすることにより、切断材Ｗ２を斜めに立てかけて切断できるようにする。 （もっと読む）

【課題】作業衛生上の問題がなく、引火点もなく、研磨レートが向上したラップ剤組成物を提供すること。
【解決手段】本発明のラップ剤組成物は、（ａ）炭素数３〜８のアルカンジオール、（ｂ）ダイヤモンド砥粒及び（ｃ）水を含み、
組成物中の（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成分の含有割合Ｘ、Ｙ及びＺが以下の数式を全て満足する：
８０＜Ｘ≦９６．９９９
０．００１≦Ｙ≦５
３≦Ｚ＜１９．９９９
［式中、Ｘは、組成物中の（ａ）成分の含有割合（重量％）を示す。
Ｙは、組成物中の（ｂ）成分の含有割合（重量％）を示す。
Ｚは、組成物中の（ｃ）成分の含有割合（重量％）を示す。］ （もっと読む）

【課題】作業者の負担を軽減する。
【解決手段】可動フレーム１１には、バレル槽３０の軸線と略平行に変位可能であり、固定槽３２に対し固定槽３２を回転槽３１側へ押圧し得る形態での係止が可能な係止部材５５が設けられている。可動フレーム１１には、係止部材５５を固定槽３２に係止させることで固定槽３２に対して回転槽３１への押圧力を付与する押圧状態と、係止部材５５の係止作用による固定槽３２の回転槽３１への押圧を解除する解除状態との間で変位するエアシリンダー５１（駆動機構）が設けられている。係止部材５５を固定槽３２に係止させる動作及び係止部材５５を固定槽３２から解離させる動作が、いずれも、エアシリンダー５１によって行われるので、作業者による手作業が不要である。 （もっと読む）