【課題】マルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法を得ること。
【解決手段】シリコンブロック１の下部端面１ｃの高さおよび角度を調整する高さ・角度調整機構と、シリコンブロック１の奥行き方向１７全域に亘って、加工開始時に最初にワイヤー４に当接する部分１ｃとワイヤー４との隙間ｄを、ワイヤーガイドローラ溝６ａの深さｄ１からワイヤー４の直径ｄ２を差引いた長さｄ３よりも小さい長さの隙間になるように前記高さ・角度調整機構を調整して加工を開始させる制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】手持ち式のディスクグラインダにおいて、粉塵飛散防止のため砥石の側方を覆う砥石カバーを位置調整する場合あるいは取り外す場合に、固定ねじを緩め過ぎる等して固定部から脱落させると、その後再度締め付ける場合に面倒であり、また紛失するおそれもあった。本発明では、砥石カバーの固定ねじを緩めてその位置調整等する場合に固定ねじの脱落を防止してその後の締め付け作業を迅速かつ楽に行えるようにし、またその紛失のおそれをなくすことを目的とする。
【解決手段】砥石カバーの取り付け部２２の両端部２２ａ，２２ｂ間に固定ねじ２５を締め付けて固定する構成において、両端部２２ａ，２２ｂ間において固定ねじ２５のねじ軸部２５ａにゴムリング２６を装着しておくことにより、当該固定ねじ２５の端部２２ｂからの脱落を防止する。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの回転規制を容易で確実に行なうことができるディスクグラインダ等の動力工具を提供する。
【解決手段】ハウジング２に収容されるモータ８と、一方の端部近傍に砥石６を取付けるための雄ネジ部１６を有するとともに側面に凹部２６を有し、ハウジング２に隣接するギヤカバー３の内側に回転可能に支持され、モータ８により回転駆動されるスピンドル１１と、スピンドル１１と離間してギヤカバー３に回動可能に支持される基部２０と、基部２０の回動により凹部２６に抜き差し可能な基部２０から突出する突出部２１とを有するロック部品２２とを備える。ロック部品２２は、凹部２６内に挿入された突出部２１が凹部２６に当接することにより、スピンドル１１の回転を規制する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、上述した粉塵などが座面１ｂに蓄積した場合でも、安定して先端工具７の取り替えが可能となる動力工具を提供することである。
【解決手段】
ギヤカバとパッキングランドを有し、ギヤカバ内に固定された軸受とパッキングランドに固定された軸受に支承されたスピンドルと、スピンドルに固定された傘歯車を有し、スピンドル先端にネジ部を有し、そのネジ部に先端工具を固定する動力工具において、
前記傘歯車に穴を設け、前記ギヤカバにはスピンドルの軸中心と平行な穴を設け、ギヤカバの前記穴を貫通するロックピンを有し、前記ロックピンに圧入されたプッシュボタンを有し、前記プッシュボタンと前記ギヤカバの間にお互いを突き放す方向に弾性力を働かせるバネを有するスピンドル固定構造に関して、前記ボタンに面する前記ギヤカバ側の座面に溝を設けたことを特徴とする動力工具により、解決することができる。 （もっと読む）

【課題】研磨中に塗膜及びバフのほぼ全体が冷却され、塗膜の昇温が効果的に抑制される空冷式ポリッシャーを提供する。
【解決手段】バフ（１３）を回転させるためのエアーモータ（２）を駆動するために使用される作動気体を利用してバフ（１３）及び塗膜（１４）を冷却する。エアーモータの回転軸に連結したディスクパッドの周囲を包囲するように円筒状のカバー（１５）を設け、当該カバーとディスクパッド（１１）との間に環状のエアー流路（１６）を形成する。エアーモータに連結した排気ポートと上記環状のエアー流路との間をホース（１７）により接続する。ポリッシャーの動作中、エアーモータ（２）から排気される作動気体は、ホースを介して常時バフに形成した貫通孔に流入し、バフと塗膜との間を流通し、その間にバフ及び塗膜が冷却される。 （もっと読む）

【課題】砥石を使用して包丁の刃の研磨角度を任意の一定の角度にして包丁を研磨するのを容易にするために、一対の挟持片の各々に取り付けた円柱形の回転体が砥石上で滑らかに回転し、この円柱形の回転体が回転している時に指が接触するのを防止し、また、側面の形状が三角形の板バネの開閉範囲を任意の範囲に設定することで一対の挟持片が任意の開き幅以上に開かないようにすることと力を入れて研磨する時に一対の挟持片が前述の開閉範囲の任意の範囲内で開こうとするのを保護部に指を添えて挟持部の先端部が閉じる方向に向かう形と方法が課題となりました。
【解決手段】表面が合成ゴムなどの弾性を有する物質からなる円柱形の回転体を取り付けた一対の挟持片に、手の指を保護し、挟持片が開かないよう補助することを兼ね備えた保護部と開き止めを有する包丁研磨補助具を包丁に取り付けることにより砥石で任意の一定の角度で研磨できるようにしました。 （もっと読む）

【課題】 専門的な業に携わる人に限らず一般家庭において誰でも簡単で手軽に、しかも鋭利に包丁等の刃物を研ぐことができる刃物研ぎ具を提供する。
【解決手段】 前部に２本の角度調整ボルトを設けた長方形の台板の中央部に横長で後方へ緩やかに傾斜突出した所定高さの刃物載置台を設け、この刃物載置台の上面に板状の磁石を設けると共に、刃物の位置を決めるための３個の設定突起を設けた研ぎ具本体と、これとは別に、ー端にロ−ラ−を設けた長尺板の他方の下面所定長さの板状の研磨材を設けた研ぎ板をー組としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 砥石カバーに物が当たっても下ギアケースの回転を阻止する手段を提供する。
【解決手段】 上ギアケース２の凹部２ａとそれに対向する下ギアケース３の凹部３ａの間に回り止め部材７を配置し、上ギアケース２に対して下ギアケース３が回転しようとすると、回り止め部材７がくさびのように働いて下ギアケース３の回転を阻止する構成とした。また、回り止め部材７のリブ７ｂが上ギアケース２の突出部２ｄに当接して、回り止め部材７の移動を阻止する構成とした。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤによりシリコン材料を切断する際の切断性能を大幅に向上させることができ、同時に、切断スラリから分離されるクーラントと固形分を略全量回収して再利用できるようにする。
【解決手段】ワイヤ芯材表面にダイヤモンド砥粒を固着させた固定砥粒ワイヤ２にクーラント７を供給してシリコン材料４を切断するワイヤソーのクーラント管理方法であって、シリコン材料４を切断した切断スラリ１３を遠心分離機１５に導いて粗粒固形分２０と分離液２２とに分離し、遠心分離機１５で分離した分離液２２を膜濾過装置２８に供給して微粒混合液２９と回収クーラント３０とに分離し、遠心分離機１５で分離した分離液２２の一部と膜濾過装置２８で分離した回収クーラント３０とを調合タンク８により調合して再び固定砥粒ワイヤ２に供給する。 （もっと読む）

本発明は、エンドレスソーワイヤーを駆動するソーワイヤー駆動滑車（２）と、駆動滑車（２）に直接または間接的に接続されたモーター出力シャフトを有するモーターを有するワイヤーソーに関連し、エンドレスソーワイヤー（１）への、またはソーワイヤーへの急な引っ張りのねじれ抑制するまたは吸収するための、モーター出力シャフトおよび駆動滑車（２）の間の少なくとも１つのねじれサスペンション装置（２７）を特徴とする。
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【課題】ワークの切断完了時点でも、ワークを接着層により拘束できるようにして、ワイヤに対する端材の干渉や、メインローラの溝に対する端材の入り込みを無くする。
【解決手段】複数の平行なメインローラ２の間に多重に巻き掛けられたワイヤ３を走行させ、走行状態のワイヤ３に、接着層６によりホルダー５に固定されているワーク４を押し当てることによって、ワーク４を目標の厚みｔに切断するワイヤソー１において、ワーク４の目標の厚みｔ方向で、ワーク４の両端部に接着層６を部分的に残しながら、ワーク４について必要な寸法（切断高さＨ、切断長さＬ、切断幅Ｗ）を確保できる範囲に、ワーク切断域Ａを設定しておき、このワーク切断域Ａ内でワイヤ３のワイヤピッチＰを目標の厚みｔに対応する値に設定するとともに、ワーク切断域Ａ以外をワイヤ飛ばし域Ｂとし、このワイヤ飛ばし域Ｂでワーク４と干渉する範囲にワイヤ３を不存在とする。 （もっと読む）

【課題】研磨加工中の積層ウエーハのリテーナリング外方への飛び出しを防止する。

【解決手段】基板保持ヘッド１の円盤状キャリア５に保持されたウエーハｗを研磨プラテンの研磨布に押圧し、回転するウエーハを回転する研磨布に摺擦させてウエーハ面を研磨加工する際、前記ウエーハがリテーナリング６内より外方へ飛び出さない高さ位置であって、ウエーハ下面の高さ位置よりリテーナリング下面高さ位置が常に上方に位置するようコントローラの制御により圧空を第三流体通路溝１１ａ内に供給する。 （もっと読む）

【課題】 研磨粉（錆）の飛散を確実に防止しながら、レールの錆取り作業を行えるレール錆取り機を提供する。
【解決手段】 レールＲ上を転動して前進する前後の車輪２，３に受支された機台１に、集塵装置５を搭載し、該集塵装置５の集塵ダクト５ｃを、前記車輪の前進方向と反対方向に回動して前記レール上の錆を除去する研磨材８ａの前方の隣接位置に配置する。 （もっと読む）

本発明は、切断プロセスの前、その間、または、その後にワイヤソーの各構成要素を洗浄すべく、または、自浄式ワイヤソー切断装置の切断領域を湿潤すべく適合された洗浄機構を含むという自浄式ワイヤソー切断装置を提供する。本自浄式ワイヤソー切断装置は、ワイヤソーの種々の構成要素上へと水性流体を供与すべく適合された少なくとも一個の供与器を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 個々の砥石（刃具）の径方向の突出量を簡単に調整することができる内径加工工具を提供する。
【解決手段】 アーム２１の形状はツールホルダ７の周方向の一部を抱持する形状をなし、基端側に設けた取付穴２２にボルト２３を挿通してツールホルダ７に結合され、先端側に刃具としての砥石２４を交換可能に取付けるためのネジ穴２５が形成されている。アーム２１の基端寄りの部分には幅方向に溝部２６が形成されている。この溝部２６はアーム２１をツールホルダ７に取付けた状態で、ツールホルダ７の軸と平行になっており、外部から力が作用することでアーム２１は弾性ヒンジとして作用し、砥石２４をツールの軸との平行度を保ちながら拡径または縮径する。 （もっと読む）

【課題】研磨工具を被加工面に圧接して回転させ、微粒子を含むスラリー状の研磨液を供給しながら研磨加工を行う研磨装置において、研磨液が装置内部へ侵入して回転精度の低下等を招くのを防ぐ。
【解決手段】研磨工具１の回転軸に形成された中空部１ａから微粒子を含むスラリー状の研磨液１１を導入し、被加工物２２との圧接部位２３に供給しながら研磨する。他方、研磨工具１を回転支持する軸受の隙間８ａ、８ｂには、研磨液１１の溶媒と同じ液体１６を供給し、研磨液１１の微粒子が軸受の隙間８ａ、８ｂに侵入するのを防ぐ。研磨液導入穴３と軸受の隙間８ａとは連通しており、液体１６の供給圧力は、研磨液１１の供給圧力より高くする。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドとの接触部において面接触となるようにして使用時の摩耗を軽減すると共に、研磨パッドを研磨する際に発生する研磨粉等がベース部材の内側部分から外部に排出し易くする。
【解決手段】回転する円形平盤状のベース部材２９の外周部を所定幅で円周方向に盛り上げた凸形の円弧状曲面の表面に研磨グリッド３４を略均一に分布させて固着した研磨面３１を、研磨盤の研磨パッドの表面に上方から押し付けて該研磨パッドを上記研磨面の凸形の円弧状曲面に倣った形で弾性変形させ、上記研磨面と研磨パッドとの接触において面接触の状態として研磨し、上記円周方向に盛り上げられた研磨面に等間隔で形成され、上記ベース部材の中心Ｏから外方に延びる半径方向に対して該ベース部材の回転方向Ｒと反対側に傾斜して延びる複数の凹溝３３により、上記研磨パッドを研磨する際に発生する研磨粉等がベース部材の内側部分２９ａから外部に排出し易くしたものである。 （もっと読む）

【課題】研磨圧力を検出するための研磨圧力検出センサーが正常に機能するとともに研磨圧力検出センサーによって検出された研磨圧力信号が制御手段に正常に送られているか否かを確認する機能を備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】検出信号確認手段１２は研磨パッド４５２が作用するパッド受け板１２３と、パッド受け板１２３の上面より所定距離上方において研磨パッド４５２が作用した時点を検出するタッチセンサー１２４とを具備し、制御手段は検出信号確認手段１２を研磨パッド４５２の下方に位置付けて研磨圧力検出センサー５３ａ、５３ｂによる検出信号を確認する際に、研磨手段の研磨パッド４５２がタッチセンサー１２４に接触した時点から所定距離研磨送りした状態で研磨圧力検出センサー５３ａ、５３ｂからの圧力信号が所定値以上の場合には正常と判定し、研磨圧力検出センサー５３ａ、５３ｂからの圧力信号が所定値未満の場合には異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】フロートガラス研磨システム用下部ユニットに関し、フロートガラスが支持されたキャリアを下部ユニットから分離した後、コンベアーなどを用いてキャリアを後工程に移送することで、研磨工程で発生し得るフロートガラスのスクラッチを最小化する。
【解決手段】回転自在のターンテーブル１１２に設けられたサポート１１６、及び研磨対象であるフロートガラスＧを支持可能な支持部１１１と、前記支持部１１１との対向面に設けられ、前記サポート１１６に固定されて載置される載置部１１３とを含むキャリア１１８を備える。 （もっと読む）

【課題】車輪踏面の状態を改善するための新たな装置等を提供すること。
【解決手段】車輪踏面状態改善装置１において、車輪踏面Ｔに摺接する摺接面側に研磨子１８と電極部１６とを有する摺接部１０と、電極部１６を通電する通電回路部２０と、車輪踏面Ｔの汚損状態を判定する判定部２７と、摺接部１０を車輪踏面Ｔに押し付けるアクチュエータ３０と、制御部４０とが具備されている。そして、制御部４０は、摺接部１０が車輪踏面Ｔに摺接した際に判定部２７により判定された汚損状態に基づいて、摺接部１０の車輪踏面Ｔへの押し付け力を増加させて、研磨子１８による車輪踏面Ｔの研磨を行わせる。 （もっと読む）