【課題】ウレタン樹脂の収縮に起因してセラミックリングの内周面とウレタンライニングの外周面との間に隙間が発生するのを抑える。
【解決手段】回転盤３０は、外周縁が立ち上がった形態の回転盤本体３１と、回転盤本体３１の外周縁の内周に沿って固着されたセラミックリング３２と、回転盤本体３１の内面及びセラミックリング３２の内周面を覆うように形成されたウレタンライニング３３と、保持リング３４とを備えている。保持リング３４は、ウレタンライニング３３とセラミックリング３２との間に配され、ウレタン樹脂の金型成型時の収縮力を上回る剛性を有し、且つセラミックリング３２に比べてウレタンライニング３３との親和性が高い材料からなる。 （もっと読む）

【課題】高精度のホーニング加工が可能であり、かつ、ワーク全体の精度を保証できるホーニング加工方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本実施形態のホーニング加工方法は、外周部に、径方向に向けて出没可能な砥石１１・１１・・・を有するホーニングツール１０を用いて、各砥石１１をコンロッド２の大端孔３内で拡張させて芯出しした後、コンロッド２を治具２０により所定のクランプ力でクランプした状態で、ホーニングツール１０の主軸１３を回転させることによってホーニング加工を開始する。このとき、主軸１３の初動回転時の各砥石１１の拡張圧を、治具２０によりクランプされたコンロッド２が、初動回転時に相対変位を生じない圧力（芯出し圧Ｐ１）に設定する。 （もっと読む）

【課題】研磨加工中において、研磨面に形成された溝に研磨剤等が溜まりにくい定盤を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる定盤１０は、環状の研磨面１２と、研磨面１２に形成された複数の溝１４と、を含み、複数の溝１４の各々は、一方の端が研磨面１２の外周に接続し、他方の端が研磨面１２の外周または内周に接続しており、複数の溝１４の各々は、一方または両方の端に向かって幅が漸増している。 （もっと読む）

研磨要素または建築用要素は、少なくとも部分的に失透しているガラス材料から本質的になる。研磨要素または建築要素を形成する方法は、複数のガラス材料の破片を設けるステップと、複数のガラス材料の破片を熱処理し、これによって、失透材料を含む少なくとも一部を有する固形成型部材を形成するステップと、を含む。
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【課題】断線が低減されるワイヤーソー装置およびワイヤーの巻きつけ方法を提供すること。
【解決手段】平均直径Dの砥粒が固着したワイヤーと、前記ワイヤーを送り出す供給リールと、前記供給リールから送り出された前記ワイヤーを走行させる複数のメインローラと、
前記複数のメインローラからのびた前記ワイヤーを巻き取る巻取リールと、を備えるワイヤーソー装置において、前記供給リールの一端から他端に向けて巻きつけられる前記ワイヤーの間隔Pが、２．３Ｄ＜Ｐ＜４Ｄの関係を満たし、他端から一端に向けて巻きつけられる前記ワイヤーが、既に巻きつけられた前記ワイヤー間に巻きつけられることを備える。 （もっと読む）

【課題】保持キャリアへの回転力の伝達を、折損する（壊れる）ことなどを減少して常に安定して行える両面研磨装置を提供する。
【解決手段】両研磨盤１９，３９を、同一状線上に位置される回転軸心１０Ａ，２０Ａの周りに回転自在に設け、両研磨盤を回転軸心の周りに各別に回転させる一対の研磨盤駆動手段１４，２５を、各別に駆動制御自在として設けた。保持キャリア８０を、本体フレーム１側に支持案内されて回転軸心に対して変位させた偏心軸心５０Ａの周りに回転可能なリング状の回転体５０に、連結具７０を介して着脱自在に連結するとともに、この回転体を回転させる回転体駆動手段６０を設けた。回転体の偏心軸心の周りでの回転（自転）は、破損など生じることなく剛体化して確実に行え、また保持キャリアへの回転力の伝達は、連結具を介して回転体と一体状として行えて、保持キャリアが折損する（壊れる）ことなどを減少して常に安定して行える。 （もっと読む）

【課題】キャリア本体の内壁の内側に取り付けられた被研磨物を保護するためのインサートの磨耗や変形を減らす。
【解決手段】半導体ウェーハの平面研磨などで使用される被研磨物キャリア１００Ａは、被研磨物保持穴１０５Ａを囲む内壁１０６Ａに、研磨物を保護するための樹脂製インサート１０４Ａを有する。インサート１０４Ａの摩耗や変形を減らすために、インサート１０４Ａの径方向の幅（内壁１０６Ａの最小内径とインサート１０４Ａの最小内径との差）は、１ｍｍ未満で、望ましくは０．５ｍｍである。内壁１０６Ａの径方向断面形状は、その上端部と下端部が中央部より径方向内方へ突出した凹形であり、それにより、インサート１０４Ａの摩耗部分である上面部と下面部の径方向長さが最小になる。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド厚測定方法及び研磨パッド厚測定装置を提供する。
【解決手段】定盤１２上面に貼付された研磨パッド１４の厚みを測定する研磨パッド厚測定方法であって、前記研磨パッド１４面の鉛直線上の基準位置から前記研磨パッド１４上面までの第１距離と前記定盤１２上面までの第２距離を測定し、前記第１距離と前記第２距離との差分から前記研磨パッド１４の厚みを算出する。 （もっと読む）

本発明は、アルファアルミナ、フュームドアルミナ、シリカ、ニッケル−リンを酸化する酸化剤、シュウ酸、場合による酒石酸、場合によるノニオン性界面活性剤、場合による殺生物剤、および水を含む化学機械研磨組成物を提供する。また、本発明は、基材を、研磨パッドと、該化学機械研磨組成物とに接触させること、該研磨パッドと研磨組成物を該基材に対して動かすこと、ならびに該基材を研磨するように該基材の少なくとも一部を研摩すること、を含む化学機械研磨方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】電動工具のスイッチレバーをオン状態にロックするためのロックオン機構と、オフ状態にロックするためのロックオフ機構を備えたスイッチにおいて、従来ロックオフ機構を解除するための操作方向とロックオン状態に切り換えるための操作方向が同じであったので、使用者が意図しない場合にもロックオン状態になってしまう場合があった。本発明では、両機構の操作が明確に区別されて使用者の操作意志が確実に反映されるようにする。
【解決手段】ロックオフ状態を解除するための操作とロックオン状態に切り換えるための操作を別の操作部材により行う構成とすることによって、両操作が無意識のうちに連続してなされてしまうことを防止する。 （もっと読む）

【課題】ディスクグラインダーを使用する際、スイッチがオンの状態で電源プラグを差し込んでも、使用中に本体を誤って落としたとしても、高速回転する砥石を瞬時に覆う回転可動式安全カバーを提供する。
【解決手段】既設安全カバー（１）に回転可動式安全カバー（２）を取り付け、中心のバネ（３）により、本体より手が離れたら瞬時に高速回転する砥石全面をカバーが覆い安全を確保するのを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電動工具のスイッチレバーをオン状態にロックするためのロックオン機構と、オフ状態にロックするためのロックオフ機構を備えたスイッチにおいて、従来ロックオフ機構を解除するための操作方向とロックオン状態に切り換えるための操作方向が同じであったので、使用者が意図しない場合にもロックオン状態になってしまう場合があった。本発明では、両機構の操作が明確に区別されて使用者の操作意志が確実に反映されるようにする。
【解決手段】１つのロック操作部材１５について、ロックオフ機構を解除する操作方向と、ロックオン状態に切り換えるための操作方向を反対にすることにより、両操作が無意識のうちに連続してなされてしまうことを防止する。 （もっと読む）

【課題】手持ち式のディスクグラインダやマルノコであって、電動モータを起動状態にロックするロックオン機構を備えた電動工具において、従来誤って落下させた場合に床面に衝突した際の衝撃を検知することにより電動モータを停止させていたので、床面の傷つき等が発生する場合があった。本発明では、ロックオン状態のまま落下させた場合に床面等の傷つきがより少なくなるようにする。
【解決手段】自由落下中の加速度ｇを加速度センサ２０により検知して、電動モータ５を停止させることにより、砥石等の先端刃具が停止した状態で床面等に衝突するようにする。 （もっと読む）

本発明は、ワイヤーソー切断プロセスの間に生成する水素の量を低減する、水性のワイヤーソー切断用流体組成物を提供する。この組成物は、水性担体、粒子状研磨材、増粘剤および水素抑制剤を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】研磨工程の結果を短時間で予測・評価し、もってレイアウト修正を高速化して短時間で歩留まりを向上すること。
【解決手段】研磨予測評価装置２０は、回路レイアウトをメッシュ分割部２１がメッシュ分割した後、ＥＣＰ演算部２２が各メッシュの堆積高をシミュレーションする。危険度評価部２３は、周辺のメッシュの堆積高との差が大きいメッシュについて、危険度が高いと判定する。メッシュ毎最大危険度抽出部２４は、同一メッシュ座標に積層するメッシュの危険度の最大値を当該メッシュ座標の最大危険度値とし、最適化処理部２６は、最大危険度が閾値以上のメッシュ座標に蓄積する各メッシュの危険度の配分を最適化する。最適化は、各層調節範囲算出部２５が算出した、ダミーメタルの変更で調節可能な危険度の範囲内で行なう。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの巻き回圧力により円筒状のボビン本体が変形することを抑制できるようにすること。
【解決手段】ワイヤソーの駆動軸３３を挿入可能な中心孔３７ｂを有し、外周面にワイヤソーのワイヤ１４を巻き回状態でスタックするための円筒状のボビン本体３７を備える。ボビン本体３７の長さ方向の中央部において中心孔３７ｂの内周には、その中央部を閉鎖状態で補強する補強壁３８を形成する。補強壁３８の軸心位置には、駆動軸３３上の連結凹部３３ａに係合可能な連結凸部４０ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】光学要素を仕上げるため、特に、マイクロレンズを経済的に製造する。
【解決手段】表面を研磨性液体スラリー１４にて被覆する手段と、気体又は液体の何れかの流体ジェット３１をスラリーに対して衝突させ、基板表面２０に高せん断加工領域を形成し、これにより該表面の形状を所定の形状及び（又は）滑らかになるように変化させる手段とを備えている。該表面２０は、該表面上を流動するスラリー層を滝状に流すか又はスラリーを加工領域に衝突させ又は基板２０をスラリー内に浸漬させることにより、被覆することができる。ジェット流体を分配するノズル２６は、仕上げるべき表面から所定の距離にて及びある角度を成して正確に配置される。ノズル先端２６を基板表面２０から第一の距離に配置することにより粗除去機能が提供され、ノズル２６を基板表面２０により近い位置に配置することにより、精密な除去機能が提供される。 （もっと読む）

【課題】リールによるワイヤの巻取りを長期的に適切に行えるようにする。
【解決手段】ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａは、ワイヤＷを巻取るリール９Ａと、トラバーサ１２Ａとを有する。トラバーサ１２Ａは、ワイヤＷを案内するガイドプーリ４０とこれを移動させるトラバースモータ５４等の駆動手段と、この駆動手段を制御するコントローラ６０と、ガイドプーリ４０に対するワイヤＷの位置を検出するリニアセンサ５６等とを含む。コントローラ６０は、トラバースモータ５４を駆動制御してガイドプーリ４０を往復始動させると共に、リニアセンサ５６により検出されるワイヤＷの位置とその基準位置との偏差に基づきリール９Ａの所定の巻取りエリア内にワイヤＷが巻取られるようにガイドプーリ４０の移動範囲を変更する。 （もっと読む）

【課題】 回転式作業工具のハンドルにつき、防振構造を簡素化する上で有効な技術を提供する。
【解決手段】 本発明の回転式作業工具１０１は、作業工具本体１０３と、作業工具本体１０３に配置され、回転運動を行うことで被加工材に所定の加工作業を行う先端工具１１５と、作業工具本体１１５における所定の初期位置に結合されるとともに、当該作業工具本体１１５の長軸方向に延在するハンドル１０９とを有する。ハンドル１０９は、作業工具本体１０３に対し、当該作業工具本体１０３との結合領域１２１を回動支点とする作業工具本体１０３の長軸方向と交差する任意の方向への相対回動動作が可能とされる。また作業工具本体１０３とハンドル１０９との間には、当該ハンドル１０９の作業工具本体１０３に対する相対回動動作に対して初期位置に戻すように弾発力を作用する弾性体１２９が介在されている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの張力を所定の目標張力に近付けるための張力調節装置を利用して巻取側のワイヤの張力のみを有効に低減しながら効率よくかつ高精度でワークの切断を行う。
【解決手段】ワイヤソーにおいて、ワイヤＷを前進させながらワーク２８を切断する前進駆動切断工程と、ワイヤＷの駆動方向を反転させるための第１の切換工程と、ワイヤＷを後退させながらワーク２８を切断する後退駆動切断工程と、ワイヤＷの駆動方向を反転させて前記前進駆動切断工程に復帰するための第２の切換工程とを順に繰り返す。前記両切断工程では張力操作装置１８Ａ，１８Ｂを用いて巻取り側のワイヤ張力のみ下げる。そのためのワイヤ目標張力の低下は各切換工程においてワイヤＷの減速が終了してから行う。 （もっと読む）