【課題】卓上切断機において、回転刃具の下側を覆う可動カバーを切断機本体に連動して開閉させるためのリンクプレートを備える場合に、従来リンクプレートの特にガイド溝に切断粉が堆積することにより動作不良を起こすおそれがあった。本発明では、リンクプレートの防塵化を図ることにより可動カバーのスムーズな動作を確保する。
【解決手段】本体ケース１１の側壁１１ｂに沿って配置したリンクプレート１００と回転刃具１２との間に遮蔽板１１０を配置して、切断部位から集塵口１０５に向かって巻き上げられた切断粉がリンクプレート１００のガイド溝１００ｂに吹き付けられないようにする。 （もっと読む）

【課題】 被加工物への加工屑の付着を防止可能な被加工物の加工方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物の加工方法であって、被加工物を保持テーブルで保持する保持工程と、該保持テーブルに保持された被加工物を加工液を供給しつつ加工手段によって加工する加工工程とを具備し、該加工液中には廃水処理剤が混入されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】化学機械研磨における処理条件の安定化に寄与する化学機械研磨装置の運転方法を提供する。
【解決手段】化学機械研磨装置の運転方法は、回転するパッドに回転するウエハが接触してウエハが研磨され、研磨中にパッドの回転に伴いパッド周方向に関するウエハの位置が相対的に移動し、ウエハを保持して回転させるヘッドを有する化学機械研磨装置の運転方法であって、ヘッドの回転トルクに対応する物理量を、パッド上の周方向の複数の位置で測定する工程と、パッド上の複数の位置で測定されたヘッドの回転トルクに対応する物理量に基づき、パッド上の異常箇所を特定する工程とを有する。 （もっと読む）

工作機械が、緊締つばを備えたフード状の保護カバーを備えており、該緊締つばが、緊締装置によって工作機械側のフランジに固定可能である。保護カバーとフランジとの間の相対回転運動を制限するために、ストッパ装置が設けられている。
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【課題】ワークの切断に用いられるマルチワイヤソーのワイヤの断線の予兆を検知するようにしたマルチワイヤソーのワイヤ断線予防装置を得る。
【解決手段】スラリ供給弁４からスラリが供給され、シリコンインゴッドのワーク３を切断中のワイヤ１の反射光をビジョンセンサ５によって撮像し、この撮像された画像をワイヤ異常検知部１２により、グレイレベル化し、このグレイレベル化された画像を解析し、平均値と標準偏差が設定閾値内であり、かつグレイレベルの強度が閾値を超えたとき、ワイヤの乱れ線として検出するとともに、この検出された乱れ線を時系列に蓄積して出現頻度が閾値を超えたとき、断線の予兆と判断して、ワイヤによる切断作業を制御する加工制御装置２０へ制御信号を出力して、断線を予防するようにした。 （もっと読む）

【課題】コンディショニングにより薄くなった研磨パッドを、適切なタイミングで新たな研磨パッドと交換することが可能となるＣＭＰ装置を提供する。
【解決手段】回転可能な研磨テーブル１０と、研磨テーブル１０上に配置された研磨パッド２０と、研磨パッド２０の研磨面上にスラリーを供給するスラリー供給部３０と、研磨パッド２０の研磨面に基板５０の被研磨面を押し当てる研磨ヘッド４０と、研磨パッド２０の研磨面をコンディショニングするコンディショナー６０と、廃液を排出するための廃液ライン７０と、前記廃液に含まれる粒子を測定する粒子測定部８０と、粒子測定部８０の測定結果を利用して、研磨パッド２０の交換タイミングを通知する通知部９０と、を有するＣＭＰ装置。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤードラムへのワイヤー巻き付け状態の異常を検出する装置を提供する。
【解決手段】
ワイヤードラムのワイヤー巻き付け面に螺旋状のワイヤー溝が設けられ、該ワイヤー溝にワイヤーが導入され一層をなして巻き付けられ、導出されるようにしたワイヤー巻き付け装置と、前記ワイヤードラムの外円周面の近くで、ドラムの溝から露出するワイヤーの高さの範囲内で、ドラム回転軸線に平行な仮想直線上を進む光線を発射する投光器と、該光線を受ける受光器と、前記投光器と受光器とを取付けるセンサー取付部材を備える。 （もっと読む）

【解決手段】 パイプ壁を有するパイプ３２を切断する切断装置１０が開示される。切断装置１０は、動力工具と係合可能な工具側端１２．１及び対向する自由端１２．２を有する細長いキャリア１２を含む。前記キャリア１２の前記自由端１２．２に配置され、前記キャリア１２に対して回転するように前記キャリア１２に遊嵌され且つ前記キャリア１２の長手方向の軸線に平行に伸長する当接面３４を有する案内ホイール１６を含む。前記案内ホイール１６に隣接して配置された外縁切断刃３６を有すると共に前記案内ホイール１６と前記工具側端１２．１との中間に位置決めされた切断体１４を含む。前記切断体１４の横断方向の寸法は、前記案内ホイール１６より大きくされて、前記当接面３４が、前記パイプ３２の内側面に当接すると、前記切断体１４の前記切断刃３６と前記当接面３４との距離により前記切断体１４が前記パイプ壁を切断貫通することが可能となる。
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【課題】グラインダーや従来の包丁とぎ器では、刃物が回転研磨体に対して跳ね返り易く、刃物を研磨する角度が安定しにくいという不具合があった。
【解決手段】回転運動する回転軸の両端に一対の研磨面を有する研磨体と、一対の研磨面のそれぞれに対向して設けられた一対の側面板と、研磨体と側面板とを包み込むように設けられた筐体とを備えた刃物を研磨するための研磨機であって、一対の研磨面と一対の側面板とのそれぞれの間に一対の案内溝を有するとともに、該案内溝に刃物を挿入した場合に刃物が側面板により押圧されること。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーの溝飛びを抑制しつつ、ローラーの再利用を可能とする溝を有するワイヤーソー用ローラーを提供する。
【解決手段】周方向に複数の周方向溝が形成されたワイヤーソー用ローラーであって、該ローラーの周面と、前記周方向溝の溝壁とのなす角度が、ローラーの回転軸線を含む平面で見て９０度であり、該周方向溝の深さが、周方向溝の溝幅の０．８３〜３倍であることを特徴とするワイヤーソー用ローラーである。ここで、周方向溝は、断面がＵ字状であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】表面処理により生じた切屑などを簡単な構成で回収するとともに、処理対象の形状に関わらず効率良く処理できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１０は、回転ブラシ２２を備えたワークスペース２０，モータ収納部４０，回収部８０により構成される。回収部８０には、回転ブラシ２２の後方に配置されたフィルタ９４と、底面側に設けられた回収トレー８４が着脱可能に保持され、上面カバー９８には通気孔１００が形成されている。回転ブラシ２２の後方には、上面カバー９８とフィルタ９４の間を塞ぐ遮蔽板９９が設けられる。回転ブラシ２２にワークを押し当てると、表面処理によって生じた切屑は、回転ブラシ２２の回転によって生じた気流に乗り、大きなものは回収トレー８４に落下する。一方、細かい切屑は、吹き上げられた気流がフィルタ９４を通過する際に分離し、回収トレー８４に落下する。 （もっと読む）

【課題】板状被加工物に変形が生成されている場合には、変形を自動的に強制して吸引保持させることができる加工装置を提供する。
【解決手段】搬送機構１２は搬送プレート３２と、搬送プレート３２の下面に配設され、板状被加工物２を吸引保持する吸引保持板３４、及び吸引保持板３４を囲繞し且つ吸引保持板３４の下面を越えて突出する弾性囲繞部材３６と含む。吸引保持された板状被加工物２が支持機構１０の吸引支持板２６上に位置されると、搬送機構１２の弾性囲繞部材３６の下端が支持テーブル２４の上面に接触されて、密閉空間Ｒが形成され、板状被加工物２の裏面と吸引保持板３４の表面との間に間隙が生成されている場合には、吸引されることによって密閉空間Ｒに負圧が生成され、これによって大気圧により搬送プレート３２が下降し弾性囲繞部材３６が収縮され、板状被加工物２が吸引支持板２６上に押圧され、板状被加工物２の変形が矯正される。 （もっと読む）

【課題】卓上切断機において、スピンドルに対する回転刃具の取り付け部位を、本体ケースに取り付けたガード部材でガードする場合に、このガード部材をガード位置に固定する固定具を緩め過ぎて脱落させないようにすることで、回転刃具交換等のメンテナンス作業の作業性を高める。
【解決手段】固定具３０の頭部３０ａをリーフスプリング３１の係合孔３１ａに進入させて、その付勢力を締め込み方向に作用させる。このリーフスプリング３１によって固定具３０の不用意な緩めすぎが防止されて、本体ケース１１からの脱落が防止される。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド２０は、湿式成膜法により連続的に形成され内部にセル３が形成されたウレタンシート１２を備えている。ウレタンシート１２は、湿式成膜後に成膜基材の成膜樹脂が形成された面の反対側の面を圧接ローラに圧接させ、スキン層側にバフ処理が施されている。スキン層はバフ処理により除去され研磨面Ｐに開孔５が形成されている。バフ処理時に使用されるサンドペーパは、ＰＥＴ等の可撓性のフィルム基材を有しており、フィルム基材の表面にはウレタン樹脂で砥粒が固定されている。バフ処理による砥粒の脱落が低減する。 （もっと読む）

【課題】スラリー流通経路の内壁面に堆積した遊離砥粒のアルカリ性水溶液による洗浄に伴い、遊離砥粒から溶出した金属イオンによるシリコンウェーハの金属汚染を防止可能なスラリー流通経路の洗浄液およびその洗浄方法を提供する。
【解決手段】ｐＨ９以上のアルカリ性水溶液に、キレート剤が添加されたスラリー流通経路用洗浄液を使用してスラリー流通経路を洗浄する。これにより、スラリー流通経路の内壁面に堆積した遊離砥粒をアルカリ性水溶液により洗浄する際、遊離砥粒から溶出した金属イオンによるシリコンウェーハの金属汚染を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】砥石の面圧をほぼ一定に保持することに加えて、軸線方向に対して平行からずれた部分の内面形状にも砥石が倣うことのできるホーニングヘッドの砥石台を提供する。
【解決手段】ホーニングヘッドの砥石台は、ホーニングヘッド１０のホルダ１１に対して、外側に砥石１５を備えた複数の砥石台１２が放射方向へ拡開可能に装着される。砥石台１２を、前記放射方向内側に位置する支持部１３と、砥石１５を有し、前記放射方向外側に位置する砥石部１４とに分割して構成する。支持部１３に対して砥石部１４を、ホルダ１１の軸線方向に間隔を隔てて配置される１または複数のコイルばね１６を介して揺動可能に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】ベースワイヤの表面に有機皮膜または無機皮膜が被覆されており、砥粒を吹きつけながら切断するときに用いる被覆ソーワイヤとして、耐摩耗性に優れた被覆ソーワイヤを提供する。また、ワーク切断面の精度を良好にできる被覆ソーワイヤを提供する。
【解決手段】ベースワイヤの表面に有機皮膜または無機皮膜を被覆したソーワイヤであり、ナノインデンテーション法で測定したときに、皮膜表面のヤング率（ＧＰａ）と皮膜表面の硬さ（ＧＰａ）の比（ヤング率／硬さ）が６〜２５である被覆ソーワイヤ。 （もっと読む）

【課題】スラリーの分離を低減できる研磨装置を提供する。
【解決手段】砥粒を含んだ流体であるスラリー（２）を用いて研磨を行う研磨装置において、スラリー（２）を供給するスラリー供給源（３）と、研磨を行なう研磨部（１３）と、スラリー供給源（３）より研磨部（１３）へとスラリー（２）を供給する配管（４、８）と、スラリー（２）を圧送する圧送シリンダ（５）と、配管（４、８）および研磨部（１３）の間にて流通を遮断するパーツバルブ（９）と、配管（４、８）内の流体を逆流させる逆流手段（１１）とを備え、逆流手段（１１）は、パーツバルブ（９）を閉じた状態で配管（４、８）内の流体をスラリー供給源（３）へと逆流させることで、配管（４、８）内のスラリー（２）を配管（４、８）外へ排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塵埃および破片による故障を起こしにくいオン／オフスイッチ機構を提供する。
【解決手段】スイッチ機構は、支持構造物７３６と、電気スイッチ９１８がオンに切り換わる第１の位置とオフに切り換わる第２の位置との間で移動可能なアクチベータ９２０を備える電気スイッチ９１８と、第１の作動器７５８と、カム表面を有し、第１の作動器の移動がカムの移動に帰結するように第１の作動器に接続されたカム９２４と、第２の作動器７６６と、第２の作動器に接続されたバー９３８とを備え、第１の作動器の移動によるカムの移動がアクチベータの２つの位置の間の移動に帰結するようにカム９２４がアクチベータに係合可能であり、第２の作動器の移動によるバーの移動がアクチベータの２つの位置の間の移動に帰結するようにバーがアクチベータに係合可能であり、アクチベータに係合する時バーがカムの表面またはその横を通過する。 （もっと読む）

【課題】車のボディー等のような曲面を呈する被研磨面でも均一に研磨することができる、内部に研磨粉あるいは塵埃や粉塵等を集塵する集塵質を備えた手動研磨装置を提供する。
【解決手段】スポンジ状のラバーゴム等の柔軟性を有する素材から製せられ、内部に空洞状の集塵室４を設け、根元側の端面には掃除機等の集塵機と接続されるパイプ６を有してその上下方向において湾曲可能に形成される略台形状の本体部１と、本体部１の底面に保形性を有する合成樹脂製のシール材３を介して取替え可能に張着され、本体部１と一体的に湾曲される研磨シート２とよりなり、本体部１と研磨シート２の対応位置に研磨によって生じる研磨粉を吸入して集塵室４に集塵する複数の研磨粉吸入口を穿設し、かつ、本体部１の先端側の端面および両側面には長手方向に沿って複数の吸入調節口７を形成してなる。 （もっと読む）