【課題】スピンドルに内側部材を取り付けた上で、ブレーキ装置の作動時にスピンドルに螺合させたナット部材の緩みを阻止する電動工具を提供する。
【解決手段】ブレーキ装置５０を備えた本体１０からスピンドル１６を突出させ、スピンドルに、ブレーキ装置によるスピンドルへの制動に伴い、スピンドルへ一体に設けた押圧部１６Ａ、１６Ｂと干渉してスピンドルの先端側へ押圧される内側部材を備え、スピンドルの先端にナット部材４０を螺合可能として、スピンドルに直交状に貫通させた円盤状工具４５を内側部材とナット部材とで挟持可能としたグラインダ１であって、内側部材を、制動時に押圧部と干渉して円盤状工具側へ押圧される緩み止め部材２０と、緩み止め部材へ一体回転可能且つ着脱可能に組み付けられてスピンドルに貫通され、緩み止め部材への組み付け状態で円盤状工具をナット部材との間で挟持可能なインナフランジ３０とで形成した。 （もっと読む）

【課題】配線金属を含有する半導体ウェーハのケミカルメカニカルポリッシングに有用なケミカルメカニカル研磨組成物。
【解決手段】水、アゾールインヒビター、アルカリ金属有機界面活性剤、ハイドロトロープ、リン含有剤、水溶性セルロース、場合によっては、非糖類水溶性ポリマー、又は、式Ｉ（式中、Ｒは水素等、ｘは１又は２）の水溶性酸化合物、又は、錯化剤、又は、酸化剤、又は、有機溶媒、又は、砥粒を含むケミカルメカニカル研磨組成物が提供される。研磨パッド上にケミカルメカニカル研磨組成物を注入することを含み、ケミカルメカニカル研磨組成物が、リン酸等の添加により２〜６に調節されたｐＨを示す方法が提供される。
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【課題】携帯型のディスクグラインダへの集塵カバーの着脱作業を容易にすることである。
【解決手段】集塵カバー３１に、遠心ファン３２を着脱不能に収容するボリュートケース部３４と、ボリュートケース部３４から突出してダイヤモンド砥石ホイール１９の全周を覆うカバー部５１とを設ける。また、ボリュートケース部３４にディスクグラインダ１１のボス部１６ａへの取付部４２を設ける。ボリュートケース部３４の天壁３６の内面に円形凹部６１を設け、この円形凹部６１に遠心ファン３２の基板３２ｂを配置することにより、ディスクグラインダ１１から取り外された状態でも、遠心ファン３２がボリュートケース部３４の内部で径方向に位置決めされるようにする。これにより、遠心ファン３２とボリュートケース部３４とを一体として集塵カバー３１をディスクグラインダ１１に装着することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハの研磨を支援すること。
【解決手段】ウェハを研磨する研磨機構の特性を表す複数の物理量を式の要素とする統計モデルに基づいて研磨レートを推定し、その推定結果を用いてウェハの研磨処理を行うウェハ研磨装置２００における研磨部材の劣化の推定を行う研磨部材劣化推定部１６０と、研磨部材劣化推定部１６０が推定した研磨レートと、研磨部材の劣化の推定結果とに基づいて、研磨部材の交換を判定する研磨部材交換判定部１７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板を吸着保持する吸着シートの破れを自動で確認できる基板の研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置１２は、３台の光電センサ４０〜４４を備えた検査装置１０を有する。光電センサ４０〜４４は、貼着ステージ２２から研磨ステージ２６に向けて搬送中の膜体１６の破れを検出する。光電センサ４０〜４４は、光を投光する投光部４６と光を受光する受光部４８とを備えている。投光部４６及び受光部４８は、膜体１６の吸着シート３２に対向配置され、投光部４６から光を吸着シート３２に投光し、吸着シート３２から反射した前記光を受光部４８によって受光する。前記受光量の変化に基づいて膜体１６に破れが発生したと検知部５０が判定する。 （もっと読む）

【課題】真円度、円筒度及び研削能率を向上させる配置の砥石を有する研削工具を提供する。
【解決手段】複数スリットを有する円柱状ホルダと、ホルダと同軸的に内包されるテーパコーンと、コーンに支承され複数スリットの各々に内包されるシューと、シューに取り付けられホルダから突出する砥石を備え、コーンの軸方向の進退によりシューが進退自在な研削工具で、ホルダは、ホルダ内部にクーラントを供給する流入口と、ホルダ内に流入したクーラントを排出するスリットに形成された複数の排出溝とを備え、隣接する砥石がなす角のうち少なくとも一箇所は角度が大きく、それ以外の箇所は角度が小さくなるようホルダの回転軸を中心とする円周上に砥石が配置され、砥石数は６枚であり、そのうち４枚の砥石は、回転軸に関して向かい合う９０度以上の二領域を区画するように配置され、残りの２枚の砥石は、各々９０度以上の領域以外の領域に１枚ずつ配置される。 （もっと読む）

【課題】研磨中のドレッシングによる研磨部材表面が削り取られる現象を考慮することのできる変形解析方法および変形解析装置を提供する。
【解決手段】多数の微小要素で表現されるモデルを用いてコンピュータによりあるスカラー値の拡散と、前記スカラー値に依存する膨張による変形とを解く解析手法であって、予め所定の時間における各節点の変形量を解析し、前記各節点の変形量を元の形状における節点から差し引いた形状を初期形状として変形解析することを特徴とする変形解析手法。 （もっと読む）

【課題】好適に粉塵を回収することができる研削用集塵カバー及び研削用集塵カバーを備えた動力工具の提供。
【解決手段】回転駆動されて被加工面Ｃを研削する研削刃９周りに配置され、被加工面Ｃと対向する下端が開口する環状の周壁部２１と、周壁部２１の上端側に位置して周壁部２１と共に研削刃９が収容される収容空間２０ａを画成し、研削刃９を回転駆動する動力工具１に装着される端壁部２２と、環状に構成されて周壁部２１の下端側に装着され被加工面Ｃに当接する布体リング４２と、を備え、布体リング４２は、被加工面Ｃとの間に隙間を形成すると共に周壁部２１の下端側から上端側へと向かう方向に気流を発生させる斜面４２Ｂを備えた研削用集塵カバーを提供する。 （もっと読む）

【課題】作業性に優れ、かつ後片付けの手間を省くことが可能なボルト磨き装置を提供する。
【解決手段】本ボルト磨き装置１０は、ボルトＢＴを固定するチャック装置６０と、前記チャック装置６０を回転させる回転軸８１を軸受けする軸受け装置８５と、前記回転軸８１を回転させる動力源となるモータＭと、前記チャック装置６０及び前記軸受け装置８５を囲む箱型をなすと共に、前記チャック装置６０の正面にあたる前面壁を作業口として開口させた防塵ボックス２０と、前記防塵ボックス２０に設けられた集塵器１００とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸に対する着脱を容易にした円盤状工具、円盤状工具を備えた電動工具を提供する。
【解決手段】回転軸６３への螺合用のネジ孔３０を中心に備えた円盤状工具であって、ネジ孔を中心とする円周上に、複数の貫通孔４０を円周方向に所定間隔をおいて形成すると共に、少なくとも一部の貫通孔の間隔Ｃを、回転軸への着脱操作用の工具７０に設けた一対の係合部７２、７２が係合可能な間隔とした。さらに貫通孔４０を、使用時に発生する粉塵を集塵する集塵孔と兼用した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ラッピング装置、研削装置、または研磨装置の２つの加工盤の間での両面処理のために１つまたは複数の半導体ウェハを受け入れるのに好適な挿入キャリアに関する。
【解決手段】この挿入キャリアは、第１および第２の表面を有する第１の材料から構成されるコアを含み、第１および第２の表面の各々は第２の材料から構成されるコーティングを有し、コーティングは第１および第２の表面を完全にまたは部分的に覆い、挿入キャリアはさらに半導体ウェハを受け入れるための少なくとも１つの開口部を含み、コーティングにおいてコアから離れた側の表面は、凸部と凹部とからなる構造を有し、構造の凸部および凹部の相関長は０．５ｍｍ〜２５ｍｍの範囲内であり、構造の縦横比は０．０００４〜０．４の範囲内である。本発明はさらに、挿入キャリアが用いられる、半導体ウェハの同時両面材料除去処理のための方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】粉塵漏れを抑制した研削用集塵カバー及び研削用集塵カバーを備えた電動工具の提供。
【解決手段】回転駆動されてコンクリート表面Ｃを研削する研削刃９周りに配置され、コンクリート表面Ｃと対向する一端が開口する環状の周壁部２１と、周壁部２１の他端側に位置して周壁部２１と共に研削刃９が収容される収容空間２０ａを画成し、研削刃９を回転駆動するディスクグラインダ１に装着される端壁部２２と、布体であって環状に構成され周壁部２１に設けられる布体リング４２と、を備え、布体リング４２は、周壁部２１に沿い、一端側が周壁部２１の開口位置からコンクリート表面Ｃ側へと向けて突出するように、他端側で周壁部２１の開口に装着されている研削用集塵カバー１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】粉塵等をより効率的に吸引できる研削用集塵カバー及び研削用集塵カバーを備えた動力工具の提供。
【解決手段】研削刃９周りに配置され、被加工面と対向する一端が開口する環状の周壁部２１と、周壁部２１の他端側に位置し周壁部２１と共に収容空間２０ａを画成する端壁部２２と、収容空間２０ａ内を外気に対して負圧にするファン３０と、周壁部２１の開口に装着されて収容空間２０ａ内外を遮断するシール部４２と、を備え、シール部４２には、収容空間２０ａ内外を連通する連通路４３ａが形成され、研削刃９の回転軸と直交する断面において連通路４３ａは、その通路方向が回転軸を始点とする半径方向と交差し研削刃９の回転方向に沿って回転軸に向かう方向に形成されると共に回転軸からの矢視においてシール部４２外が視認不能になるように形成されている研削用集塵カバー１０及び動力工具１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ワークを精度よく研磨することのできる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】供給孔７６の一方の端部である、研磨布３４が貼付された定盤３６面側の開口縁がテーパー面７６ａに形成されて、当該部位の供給孔７６が定盤面に向けて広がる拡径孔に形成され、研磨布３４の、供給孔７６を覆う部分に、供給孔対応孔が形成され、該供給孔対応孔の開口縁が供給孔７６内に押し込まれると共に、一端部に、前記拡径孔のテーパー面７６ａに対向するフランジ部８４ａが形成された固定パイプ８４が供給孔７６に挿入された状態で定盤３６に固定され、前記供給孔対応孔の開口縁が、前記拡径孔のテーパー面７６ａと固定パイプ８４のフランジ部８４ａとの間で挟圧、保持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性部材の永久変形を抑制し、長期間に渡って振動の低減効果が持続する動力工具を提供することにある。
【解決手段】スピンドル１７に装着されたホイルワッシャ２２とダイヤモンド砥石ホイール１２の基板１２ａとの間に弾性部材としてリングゴム２５を配置し、スピンドル１７の先端にねじ結合させたロックナット２７でこれらを固定することにより、研削作業時にダイヤモンド砥石ホイール１２が受ける振動をリングゴム２５により吸収する構成とする。ホイルワッシャ２２の外周端に外側円筒部２３を設けるとともに内周端に内側円筒部２４を設ける。また、ダイヤモンド砥石ホイール１２の基板１２ａの軸心に円筒状のボス部２６を設ける。このボス部２６を外側円筒部２３と内側円筒部２４の間に嵌め合わせ、ダイヤモンド砥石ホイール１２の傾斜を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡易な構成によって載置面に研削屑等が入り込むことを抑制することができる載置用部材を提供する。
【解決手段】 載置用部材は、試料を載置する載置面（２ａ）を備えた多孔質体からなる載置部（２）と、該載置部（２）を取り囲んで支持する支持部（３）とを有する。載置面（２ａ）の外周部に凹部（７ａ）が設けられ、該凹部（７ａ）の内面に沿って多孔質体の気孔を覆う被覆層（８）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易な制御でありながら、精度よくフィレットローラの欠損を判定する。
【解決手段】逐次算出した所定時間あたりの電力変化量ΔＰｉを用いて電力変化量積算値ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊを算出し（ステップＳ１０２〜Ｓ１０８，Ｓ１１４）、電力変化量積算値ΔＰｊと電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊとを含む直近２０ケの電力変化量積算値ΔＰｊ−１９〜ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊ−１９〜ΔＰｍａｘｊを用いて許容値範囲ΔＰｊｍａｖ±３σｓｊおよびΔＰｍａｘｊｍａｖ±３σｍｊを設定して（ステップＳ１１２〜Ｓ１１８）、電力変化量積算値ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊが許容値範囲ΔＰｊｍａｖ±３σｓｊおよびΔＰｍａｘｊｍａｖ±３σｍｊの範囲内であるか否かによってフィレットローラＲが欠損しているか否かを判定する（ステップＳ１２０）。この結果、簡易な制御で欠損判定をすることができる。 （もっと読む）

【課題】
グラインダ等の研削工具を用いて切断と研削の両方の作業に対応できる２分割式で、コンパクトな保護カバーを提供すること。
【解決手段】
駆動源であるモータと、前記モータを収容する本体と、前記本体より突出するスピンドルと、前記スピンドルに固定され、円形をした切断刃具と、前記本体に固定され、前記切断刃具の少なくとも一部を覆う第１のカバーと、前記第１のカバーに固定され、前記切断刃具の少なくとも一部を覆う第２のカバーと、前記第２のカバーに固定され、前記切断刃具で研削した切粉を排出可能な排出可能な排出口と、有することを特徴とする研削工具によって、解決することができる。 （もっと読む）

【課題】 ステンレス鋼スラブの表面をグラインダーによって手入れするにあたり、研削バリの除去作業を設けなくても、製品の表面品質を確保することができる、生産性に優れた表面手入れ方法を提供する。
【解決手段】 熱間圧延時にスラブ幅が圧下されるステンレス鋼スラブをグラインダーによって手入れする方法において、回転方向がスラブ長手方向に対して傾斜したグラインダー砥石２を、固定したスラブ１の一方の端部から他方の端部に向かって移動させて研削し、スラブ端部に到達したなら、グラインダー砥石を１回の研削面の幅に相当する長さ分またはそれよりも少ない長さ分だけ幅方向にずらし、当該砥石を前回の移動方向とは逆方向に移動させて表面を研削し、この操作を反復繰り返しする表面手入れ方法であって、グラインダー砥石の回転方向下流側に位置するスラブコーナー部は、研削を行わずに未研削のままとする。 （もっと読む）

【課題】 研磨層とクッション層が剥離し難い積層研磨パッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 貫通領域を持たない研磨層とクッション層とが接着部材を介して積層されている積層研磨パッドにおいて、前記研磨層の裏面側に、研磨層の中心領域から外周端まで連続する非接着領域Ｘが少なくとも１つ設けられている及び／又は前記接着部材に、接着部材の中心領域から外周端まで連続する非接着領域Ｙが少なくとも１つ設けられていることを特徴とする積層研磨パッド。 （もっと読む）