【課題】 工具本体の振動低減を図りつつ、使用性を向上できる手持式の回転工具を提供する。
【解決手段】 回転工具は、工具本体１０３と、工具本体に設けられた駆動軸１１２と、先端工具１２５が取付けられる被動軸１２１と、駆動軸１１２と被動軸１２１との間に介在され、駆動軸１１２の回転を被動軸１２１に伝達するオルダム継手１２３と、被動軸１２１と工具本体１０３との間に介在された弾性体１４１と、を有する。被動軸１２１は、当該被動軸１２１の長軸方向については、工具本体１０３に対する相対移動が規制され、当該被動軸１２１の長軸方向と交差する方向については、工具本体１０３に対する相対移動が許容されるとともに、当該相対移動時にオルダム継手１２３を介して駆動軸１１２からの動力伝達が維持される構成とし、被動軸１２１の工具本体１０３に対する相対移動は、弾性体１４１によって緩衝される構成とした。 （もっと読む）

【課題】フィレットローリング加工時に発生するフィレットローラに欠けなどの異常を精度よく判定可能なフィレットローリング加工装置及びフィレットローリング装置の異常判定方法を提供する。
【解決手段】フィレットローリング加工装置（１００）は、フィレット溝部Ｆにフィレットローラ（５）を圧接しながら、クランクシャフトＳを回転することによりフィレットローリング加工を行う。フィレットローリング加工後、低圧力値でフィレットローラ（５）をフィレット溝部Ｆに圧接しながら、低回転速度でクランクシャフトＳを回転駆動して検出した振動振幅にフィレットローラ（５）における異常の有無を判定する判定手段（１５）を備える。 （もっと読む）

【課題】手持ち式のグラインダにおいて、粉塵飛散防止のため砥石の側方を覆う砥石カバーの位置調整範囲を規制するストッパ突起部及びストッパ当接部の耐久性を高める。
【解決手段】砥石カバー２０側のストッパ突起部２７が当接される、ギヤハウジング８側のストッパ当接部８ｅの当接面を放射軸線Ｊ２に対して傾斜させた傾斜ストッパ面８ｆとすることにより、ストッパ突起部２７が傾斜ストッパ面８ｆに対して当接面を徐々に増大させながら当接するようにして衝撃Ｆが吸収される構成とする。 （もっと読む）

【課題】 厚み２０〜８０μｍと極薄肉の半導体基板の研磨加工時に、半導体基板がキャリア部の保持リング内壁から研磨装置外への飛び出しの無い基板キャリアヘッドの提供。
【解決手段】 ゴムチャック１９形式の基板キャリア部４を球面軸受け３で支持し、前記基板キャリア部４を環状ベローズ１１０で吊るしてこの環状ベローズ１１０の内壁と基板キャリア部４上部の凹状空間部とで基板キャリア部４背面を加圧する加圧室１８を形成させた基板キャリアヘッド構造１。 （もっと読む）

【課題】ディスクグラインダには、起動時の衝撃を緩和するための衝撃緩和機構を内装したものが提供されているが、スピンドルとこれに回転支持された従動ギヤの支持孔との間の摩耗によって従動ギヤに振動が発生しやすくなる。本発明は、衝撃緩和機構により起動時の衝撃を緩和するとともに、従動ギヤの支持孔とスピンドルとの間の摩耗を低減して電動モータの耐久性を高めることを目的とする。
【解決手段】電動モータ２の回転出力を衝撃緩和機構３０を経て起動ショックを緩和しつつ従動ギヤ１７からスピンドル１１へ伝達するとともに、従動ギヤ１７をスピンドル１１に対して第３の軸受け１９を介して相対回転可能に支持することにより両者間の面圧を低下させて摩耗を低減する。 （もっと読む）

【課題】水−グリコール系切削媒体を用いた脆性材料の切削乃至は切断工程において排出される水溶性切削廃液の再生処理に際し、かかる廃液の臭気成分を効果的に除去せしめて、そのような切削媒体を有利に回収することの出来る手法を提供すること。
【解決手段】水−グリコール系切削媒体を用いた脆性材料の切削乃至は切断工程において排出される水溶性切削廃液の再生処理に際し、かかる水溶性切削廃液に対して、直接に、又は該水溶性切削廃液の固液分離工程で生じた濾液に対して、アンモニア誘導体を添加せしめ、該切削廃液又は該濾液中に存在する臭気成分と反応させて、かかる切削廃液又は濾液の臭気を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおけるワイヤの脱線を防止して断線を防止すると共に、溝ローラの磨耗を低減する。
【解決手段】溝ローラ７ａ、７ｂ間にワイヤ４を多列に巻き掛けて形成されたワイヤ列に加工物２５を押し付けて、前記ワイヤ４を一方向走行又は往復走行させることにより、前記加工物２５を多数枚の薄板に切断するワイヤソーにおいて、少なくとも一方の溝ローラ７ｂを他の溝ローラ７ａよりも摩擦係数が低い金属製ローラとする。また、溝ローラ７ａ、７ｂの溝形状を逆台形状にし、溝ローラ７ｂの回転速度を溝ローラ７ａよりも僅かに速くする。 （もっと読む）

【課題】開放型格子構造からなる研磨層が研磨スラリーによって剥離することを抑制する研磨パッドを提供する。
【解決手段】本発明の研磨パッドは、研磨層が開放型格子構造からなり、研磨層と隣接する粘着層がシリコーン系粘着剤からなるものである。また、本発明の基板の製造方法は、開放型格子構造からなる研磨層とシリコーン系粘着剤からなる粘着層とが、直接又は支持層を介して定盤に貼り合せてなる研磨装置を用いて、研磨対象物を研磨することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ディスクグラインダにおいて、砥石の周囲を覆うカバーの位置をねじ回し等の工具を用いることなくツールレスで変更できるロック機構が提供されている。従来は、ロック機構の操作部位が使用者から目視しづらい部位に配置されていたため、本発明では、操作部材を見えやすい部位に配置してその操作性を高めることを目的とする。
【解決手段】ギヤヘッド部の上部から下部にスライダ２２を掛け渡して、その下部側にカバー１５の位置をロックするロック爪２２ｃを設け、上部に操作部材２１を結合して、モータ軸Ｊ０より上側であってカバー１５の支持部とは反対側の見え易いギヤヘッド部４の上面に操作部材２１を配置して遠隔操作可能とする。 （もっと読む）

【課題】研磨ヘッドに残留した異物を効率よく除去することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置１は、回転可能に構成された研磨定盤と、前記研磨定盤上に配置された研磨パッドと、前記研磨パッド上に研磨剤を供給する研磨剤供給機構と、被研磨物Ｗを保持しながら前記研磨パッドに該被研磨物Ｗを押し当てるチャックプレート１２と、前記チャックプレート１２の外周に前記チャックプレート１２と間隙Ｇを介して配置されたリテーナーリング１４と、間隙Ｇに連通する送液管１６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドの寿命を正確に決定することができ、研磨パッドの交換頻度を少なくすることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本研磨装置は、研磨テーブル１２を回転させるテーブル回転モータ７０と、トップリング２０を回転させるトップリング回転モータ７１と、研磨パッド２２をドレッシングするドレッサ５０と、研磨パッド２２の高さを測定するパッド高さ測定器６０と、研磨パッド２２の高さから研磨パッド２２の減耗量を算出し、研磨パッド２２の減耗量と、テーブル回転モータ７０のトルクまたは電流と、トップリング回転モータ７１のトルクまたは電流とに基づいて研磨パッド２２の寿命を決定する診断部４７とを備える。 （もっと読む）

【課題】グラインダー、サンダーなどの回転軸に固定し、金属、コンクリート、樹脂、石、木材などの部材（研削対象）を、効率的かつ平坦に削り、研磨し、また切断し、さらに研削対象を深く削ることもできる研削盤を提供する。
【解決手段】回転軸に固定される連結部２と前記連結部に固定される回転盤３とからなり、前記回転盤の底面には前記回転盤の回転中心角を偶数個に略等分した区画１を設け、１の区画には前記回転中心を中心とする同心円上に略同高さの複数の凸部３ａと前記凸部と凸部の間には複数の凹部３ｂを形成し、かつ、前記１の区画と隣り合う他の区画には１の区画の凸部の同心円に相当する位置には凹部を、前記１の区画の凹部の同心円に相当する位置には凸部を形成したことを特徴とする研削盤の構成とした。 （もっと読む）

【課題】切断時に発生した切粉等の粉塵が被切断物の表面に残留するのを防止できる切断方法及び切断装置を提供する。
【解決手段】切断ブレード１０１を回転駆動しながら基板９００に対して相対的に移動させるときに、基板９００に対する切断ブレード１０１の相対移動方向における下流側及び上流側の少なくとも一方で、基板９００の表面に対して気体を吹き付け、切断ブレード１０１の周辺から気体を吸引して排出する。更に、切断ブレード１０１の側面側で、基板９００の表面に対して気体を吹き付けるようにしてもよい。また、切断ブレード１０１の回転で生じた気流の外部への飛散を遮蔽するように前記気体を面状にして吹き付けてもよい。また、切断ブレード１０１の被切断物側で回転移動している外周部分の移動方向と、被切断物に対する切断ブレード１０１の相対移動方向とが同じ方向になるように、切断ブレード１０１を回転駆動してもよい。 （もっと読む）

【課題】吸引保持パッドの吸着面とチャックテーブルの保持面との平行度が許容範囲であるか否かを容易に確認することができる平行度確認治具を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、下面に被加工物を吸引保持する吸着面を有する吸引保持パッドを備えチャックテーブルに被加工物を搬入または搬出する搬送手段とを具備する加工装置における、吸引保持パッドの吸着面とチャックテーブルの保持面との平行度を確認する平行度確認治具あって、第１の厚みを有する第１の厚み確認部と第２の厚みを有する第２の厚み確認部とを具備し、第１の厚み確認部の第１の厚みは該吸引保持パッドを基準待機位置に位置付けた状態においてチャックテーブルの保持面と吸引保持パッドの吸着面との基準間隔に設定されており、第２の厚み確認部の第２の厚みは第１の厚みより僅かに厚い許容できる平行度の上限値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】ダブルの供給系を設けることなく、ダブルの供給系と同様にスラリーの供給エンジンがダウンしても、処理中のウエハを完全に処理することができ、初期投資のコストを低減したまま、処理中のウエハの損害を出すことなく処理できるスラリー供給装置及び方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも一つのスラリー供給タンクと、スラリーをＣＭＰ装置に供給する供給エンジンと、供給タンク内のスラリーをＣＭＰ装置に供給し供給タンクに循環する循環ラインと、循環ライン内のスラリーをＣＭＰ装置に供給する分岐ラインと、分岐ラインに設けたバルブと、ＣＭＰ装置内にセットされているウエハを処理するのに充分な量のスラリーを保持できる容量を有する分岐ラインに接続したバッファー部材と、供給エンジンが停止したときバッファー部材内の残留スラリーを加圧し、ＣＭＰ装置に供給する加圧部材とよりなるスラリー供給装置及びスラリー供給方法。 （もっと読む）

【課題】バルブの開閉操作部材を誤操作するおそれを少なくして操作性も良好とする。
【解決手段】ホース１４と、レバー１３を有するバルブ１２とを備えてホース１４から供給される水を回転軸４から噴出可能としたディスクサンダ１において、ハンドル８の下部に、トリガー９を含むハンドル８の下側空間を囲んでハンドル８とループ状に繋がるガード部１０を延設して、ガード部１０内にホース１４の一部を挿通させると共にバルブ１２を収納して、レバー１３を下側空間内に突出させた。 （もっと読む）

【課題】可動カバーの動きを安定かつスムーズにすることを可能にした切断機を提供する。
【解決手段】被切断材を載置するベース１０と、被切断材に対して上方から切り込む方向Ｚへ移動可能に設けた本体３０と、を備え、本体は、回転駆動する切断刃３２と、本体に固定されて切断刃の上部を覆う固定カバー３３と、固定カバーに装着されて本体を切り込む方向へ移動させるに従って切断刃の下部を露出させるように可動する可動カバー３４Ａ、３４Ｂと、を有し、ベースの上面には、本体を切り込む方向へ移動させる際に、切断刃の進入を許可するスリット１５を形成し、可動カバー３４Ａの下端には、切断刃がスリットに進入する際に、ベースの上面を転動する転動体３５を設けた切断機１において、ベースの上面には、転動体を転動可能に案内する案内部１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】柔軟性に優れながら、耐久性にも優れる研磨パッドを提供すること。
【解決手段】表面に開口部を有する多孔層が存在する研磨パッドであって、多孔層が高分子弾性体とシリコーン系化合物からなることを特徴とする研磨パッド。さらには、シリコーン系化合物が変性シリコーンオイルであることや、多孔層が湿式凝固法により形成されたものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおけるガイドプーリの磨耗を早期に検出する。
【解決手段】ガイドプーリ７の案内溝２７を経由してワイヤ２を複数の溝ローラ１１間に巻き掛け、ワイヤ２を走行させて溝ローラ１１間のワイヤ２にワーク１５を押し付けることによってワーク１５を切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤ２の所定走行速度及び前記ガイドプーリ７の案内溝２７の初期外径ｄ１を設定することで、予め前記所定走行速度におけるガイドプーリ７の所定範囲の回転数を設定する制御部と、ガイドプーリ７の回転数を検出するセンサ３２とを備えるガイドプーリの磨耗検出装置１９。前記ワイヤソーを駆動してワイヤ２が前記所定走行速度に達した時点でのガイドプーリ７の回転数をセンサ３２で検出し、この回転数と予め制御部に設定された所定範囲の回転数とを比較し、ガイドプーリ７の回転数が所定範囲外となったことを前記制御部で判断する。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードを径方向に伝達される超音波振動によるスピンドルシャフトの破損を防止しつつ、被切削物の加工を効果的に行うことができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削ブレード２７と、先端側に切削ブレード２７が取り付けられたスピンドルシャフト２６と、スピンドルシャフト２６の軸方向に超音波振動を発生させる超音波振動子４３と、切削ブレード２７とスピンドルシャフト２６との間に介在されたスペーサ部材２８とを備え、スピンドルシャフト２６は、スペーサ部材２８側の端面３６を超音波振動の軸方向圧力が最小となる最大振動振幅点Ｐ１に位置付けており、スペーサ部材２８は、スピンドルシャフト２６の端面３６に当接して、切削ブレード２７を振動変換点となる最小振動振幅点Ｐ２に位置付ける構成とした。 （もっと読む）