【課題】スイベルジョイントの胴部本体の嵌合部の奥部に位置するパッキン接触面を簡単にかつ均一に研磨することが可能なスイベルジョイントのパッキン接触面研磨装置を提供する。
【解決手段】胴部本体２の嵌合部４の内径と略同一の外径を有し、前記胴部本体２の嵌合部４の奥部に位置するパッキン接触面９に当接可能な円板２２と、該円板２２の中心を通り該円板２２に直交するように取付けられたハンドル取付棒２４と、該ハンドル取付棒２４に取付けられたハンドル３４と、該ハンドル３４が取付けられた側の面と反対側の前記円板の面に着脱可能に取付けられた、前記パッキン接触面９を研磨する研磨布紙４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の超音波を研削砥石に対して十分かつ均一に伝達させることができ、難研削材であっても効率よく研削できる研削ホイールを提供する。
【解決手段】ホイールマウントと連結するリング状の連結部５１１と、連結部５１１の内周部に連結された円盤形状の砥石装着部５１２とからなるホイール基台５１について、砥石装着部５１２が、ホイールマウント側となる上面は該ホイールマウントに対して相対的に非接触に構成され、下面側に研削砥石５２が装着され、研削砥石５２よりも内周側で研削ホイール５の中心周りに研削砥石５２と同心円をなす位置に配設された円環状の超音波振動子６を有し、連結部５１１と砥石装着部５１２との境界部に位置させて、周方向に形成された複数の円弧状スリット５１３を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】砥石の形状をそのまま維持して硬質部分を部分的に配設し、切刃の耐久性を向上させた構成とする研削砥石を提供する。
【解決手段】外周端面部に切刃１４が形成されたリング型砥石１０において、砥石本体１１の外周１５部にその砥石本体１１形成部分よりも硬質の部分１６が周方向に断続して分配形成され、前記切刃１４を形成する部分が硬質の部分１６とそれより軟質の部分１８が交互に形成されているようにする。 （もっと読む）

【課題】研削砥石をウェーハに接触させて研削を行う場合において、研削開始時の衝撃力や研削中における研削砥石の微振動がウェーハに伝達されないようにする。
【解決手段】ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを研削する砥石部２３０ｂがホイールベース２３０ａに固定されて構成される研削砥石２３０とホイールベース２３０ａを支持するホイールマウント２１０とを備えた研削手段１９と、研削手段１９をチャックテーブルに対して接近及び離反させる研削送り手段とを少なくとも備えた研削装置において、ホイールベース２３０ａとホイールマウント２１０との間にＪＩＳ Ｋ６２５５に規定される反発弾性が２％〜４％の制振ゴム２２０を介在させ、研削開始時の衝撃力や研削中における研削砥石２３０の微振動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】ワーク裏面側のバリ取り加工や、ワーク裏面側の凹凸面の研磨加工などに適した研磨工具および加工方法を提供すること。
【解決手段】ワークＷの裏面側に発生したバリＷ１０を除去する際、ホルダ３０内にコイルバネ５０を備えた研磨工具１を用いる。砥石１０がワークＷの裏面側で貫通穴Ｗ１の周りに引っ掛かるように、ホルダ３０を上方に移動させると、コイルバネ５０はシャンク２１を上方に付勢し、砥石１０は常にワークＷの裏面側に弾性をもって適正に当接するので、手間のかかる調整を行なわなくても、ワークＷの裏面側の被加工領域を好適に研磨することができる。 （もっと読む）

【課題】 ブラシの当り面がスリップリングの外周に密着可能な形状となるようブラシの当り面を研磨することができる発電機励磁装置用ブラシ研磨器を提供する。
【解決手段】 発電機の励磁装置に用いられる柱状形のブラシ２を、発電機のスリップリング３の外周面に密接可能な形状に研磨する発電機励磁装置用ブラシ研磨器１であって、ブラシ２の軸方向がスリップリング３の外周面に対して垂直の向きとなるようブラシ２を保持する保持部９と、保持部９に設けられ保持部９をスリップリング３の外周面上を周方向に移動可能とする移動部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
先端工具を固定する固定用ナットが必要以上に締まり込んでしまうのを防止し、先端工具を交換する際に先端工具の取り外しが容易に可能であり、作業性に優れた電動工具を提供する。
【解決手段】
モータと、該モータの動力が伝達される出力軸と、該出力軸に設けられる先端工具と、を有する電動工具において、該出力軸に対して該先端工具が回動しないように該出力軸と該先端工具を嵌合する嵌合部材を設けた。 （もっと読む）

【課題】ブラシを頻繁に交換してもブラシの回転時に芯ぶれの発生を防ぐことができる加工用ブラシを提供する。
【解決手段】加工用ブラシ１は、回転軸２ａと固定面２ｂとからなる基台ユニット２の固定面２ｂに固定部材３ａと雄ねじ３ｂとによって、同心円状に連結されたチャンネルブラシ４からなるブラシユニット５が固定されているものである。チャンネルブラシ４は、ブラシ片４ａが芯線４ｂ及び帯状体４ｃにて挟みつけられた長尺な１本のチャンネルブラシ４を円形に形成した後、帯状体４ｃの４箇所を溶接して連結することによって、ブラシユニット５が形成される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面を改質して、処理前の表面ウェーハと比較して、より”平坦で”、および／またはより”均一で”、および／またはより”粗面でない”表面を得ること。
【解決手段】半導体ウェーハ３４の露出面を改質する方法であって、（ａ）該表面３６を、多数の研磨剤粒子と結合剤とを所定のパターン形状で含む３次元的に加工された研磨表面を有する固定された研磨物品３９と接触させるステップと、（ｂ）該ウェーハと該固定された研磨物品とを液状媒体４３の存在下で相対的に移動させて、該ウェーハの前記表面を改質するステップとを含む方法。 （もっと読む）

【課題】超砥粒ホイールの寿命を向上させる。
【解決手段】本発明の超砥粒ホイール１０は、台金１２と、台金１２の表面に超砥粒を固着して形成されたリング状の研磨部２０と、台金を回転させる駆動装置１８とを備えており、研磨部２０を、内周側に形成された研磨層２０ａ,２０ｂと、研磨層２０ａ,２０ｂより粒度の粗い超砥粒により形成された外周側の研磨層２０ｃ,２０ｄとで構成する。そして、研磨層２０ａ〜２０ｄを、外周側から内周側に向かうにつれて階段状に順次高くなり、かつ粗粒研磨層に向かって高くなる段差ΔＨｃが、細粒研磨層に向かって高くなる段差ΔＨｂ,ΔＨａより大きくなるよう形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハのような加工部品を研磨または平坦化するために改良された方法および装置を提供すること。
【解決手段】加工部品上の精密な表面を研磨するために使用される、研磨機に取付けられた圧盤を覆う研磨パッド１２６を調節するための装置２００を提供し、この装置が以下：研磨パッドと接触することによりこの研磨パッドを調節する手段であり、ここでこの調節手段が、調節手段の底表面に固定される切削要素２０５と共に配置され、ここで固定された切削要素が、この切削要素の破損を減少させる組成物でコートされる手段；および調節手段と研磨パッドと係合させ、そして調節手段を回転させ、そして調節手段を、研磨パッドの頂表面にわたって振動させるための手段、を含む。 （もっと読む）

【課題】被加工物の環状部を効果的に研削加工することができる研削ホイールを提供する。
【解決手段】研削装置の回転スピンドル４２に取付けられたホイールマウント４４に装着されチャックテーブルに保持された被加工物を研削加工するための研削ホイール５であって、ホイールマウントの下面に着脱可能に取付けられる装着面と砥石取付け面とを有する円盤状のホイール基台５１とホイール基台の砥石取付け面にホイール基台の回転中心を中心として環状に配設された第１の研削砥石５２と、ホイール基台の砥石取付け面に第１の研削砥石を囲繞しホイール基台の回転中心を中心として環状に配設された第２の研削砥石５３とからなり、第１の研削砥石の研削面が第２の研削砥石の研削面より軸方向に突出して構成されている。 （もっと読む）

【課題】ブラシケースの小径化を図った場合でも、線状砥材を保持するホルダを確実にブラシケース内に保持でき、かつ、ブラシケースからの線状砥材の突出寸法を容易に調整することができる研磨機用ブラシを提供すること。
【解決手段】研磨機用ブラシ１０において、ブラシケース２の円筒状の周壁部２１には、軸線方向に延びた長穴状の開口部２１ａが形成され、線状砥材１１を保持するホルダ１２には、軸線方向と直交する方向にねじ穴１２ｂが貫通形成されている。固定ねじ３の先端部３０が周壁部２１の内周面に突き当たるように開口部２１ａの側から締め込んで、ホルダ１２を周壁部２１の開口部２１ａ側の内周面に押し付け固定する。周壁部２１には、外周面が削れた形状の薄肉部２１ｃが形成されており、ブラシケース２の重心は、周壁部２１の中心軸線Ｌ上に位置する。 （もっと読む）

【課題】キャリアの破損を防ぎつつ、効率よく研磨を実施する。
【解決手段】ガラス板が嵌め込まれているキャリアの表裏を上下一対の平行な回転定盤３の摺り合せ面１１で挟み込み、それぞれ逆方向に回転させることによりキャリア１に自転運動及び公転運動を与えながらガラス板９の表裏を摺り合せ面１１との摺接によって同時に研磨する両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面１１の内側周縁２１と外側周縁２２に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有する長方形をなした研磨片２３を、相互にこれら研磨片２３の横巾と同等かより狭い巾の空隙１６を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定したと共に、内側周縁２１寄りの研磨片２３と外側周縁２２寄りの研磨片２３に挟まれた中間領域に、同じく長方形の研磨片２３をその長手方向軸芯がこの摺り合せ面１１の直径方向に対してそれぞれ斜めになる様に傾けて固定した。 （もっと読む）

【課題】高速度研削においても、研削液のキャリィ効果や速やかな切屑排出が得られると共に、研削点つまり接触円弧内への研削液の到達量を多くして十分な冷却効果が得られるダイヤモンドホイールを提供すること。
【解決手段】ダイヤモンドホイール１は、台金２の外周に、ダイヤモンド砥粒とボンド材との焼結からなる砥粒層８が周方向にセグメント状に隙間６をもって配列形成され、これら砥粒層８のセグメントとセグメントの間の上記各隙間６にボンド材の焼結からなるボンド層７Ａ、７Ｂ、７Ｃ・・・が充填され、研削作用面４が周方向において、砥粒層８とボンド層７Ａ、７Ｂ、７Ｃ・・・とが交互に配列して連続に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド粒を使用した鉄鋼加工用工具を提供する。
【解決手段】シャンク２０とダイヤモンド砥粒３１とを有し、前記シャンク上に前記多数のダイヤモンド砥粒が分散配置され、ろう付け固定された鉄鋼加工用工具であって、前記シャンクは、平面円形で、８００℃〜１１００℃の加熱処理後の降伏点が３００N／mm^２以上である耐熱性材料で構成され、前記ダイヤモンド砥粒は、＃１４０以上の大きさの粒径で結晶形がよく、ろう付け温度８５０℃以上の高熱を経ても高強度を保つ合成ダイヤモンドであって、前記ダイヤモンド砥粒は前記シャンク上に平均粒径の０．５〜３倍の距離にて単層に分配配置され、溶融タイプのＮｉロウ４０にて固定保持される。 （もっと読む）

コーティングされた研磨材積層ディスク（１００）が、約１４０℃〜１９０℃の範囲の溶融開始温度を有する、並びにポリアミド及び／又はポリウレタンを含む熱可塑性接着剤（１２２）で積層された、ガラス布地（１２５）と織布（１２４）を有する裏材（１２０）を有する。コーティングされた研磨材積層ディスク（１００）の製造方法も開示される。
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【課題】ドレッサの砥粒の偏摩耗を抑制することにより、ドレス能力の低下を抑制可能なドレッサを提供し、また、上記ドレッサにより、半導体基板の表面のＣＭＰ工程において、スクラッチの発生および研磨量ばらつきの発生を抑制可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ用ドレッサおよび半導体装置の製造方法において、ホルダの外周に沿って台金が複数装着されるドレッサの場合に、ホルダ１０の外周側に位置する台金１の湾曲部２の曲率３を、ホルダ１０の中心に近い側に位置する台金１の湾曲部４の曲率５と比較して等しいか、もしくは大きくする。特に、台金１の湾曲部２，４の曲率３，５を１５０ｍｍから６００ｍｍの範囲とし、また、台金１の外周部に配置される砥粒７の砥粒間隔８を台金１の内部に配置される砥粒７の砥粒間隔９よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】従来にないダイヤディスクを提供する。
【解決手段】ディスクにダイヤモンド粒片２を複数個固着した研削用ダイヤディスクにおいて、該ダイヤディスクの共通の回転軌跡上にあって回転方向Rにおいて前後するダイヤモンド粒片２間の離隔距離ｍ１を、径方向において隣り合う回転軌跡上にあって近接するダイヤモンド粒片２との離隔距離ｍ２より長く設定した。 （もっと読む）

【課題】従来の穴開け用工具は、先端面に固定された超硬質砥粒のうち一部分のみに負荷がかかり、その部分の砥粒が剥がれ工具寿命に達してしまうという問題、寿命に達した工具に残った砥粒はまだあまり摩耗していないにもかかわらず廃棄せざるを得ないという問題があった。
【解決手段】少なくとも一方端を凸曲面２０とした柱状体１６と、少なくとも前記凸曲面２０に固定した砥粒１４とを有する穴開け用工具１０であって、前記凸曲面２０は前記柱状体１６の直径Ａよりも曲率直径Ｂが大きいこと。 （もっと読む）