【課題】研磨パッドをあまり偏摩耗させることなくドレッシングし、かつドレッシング荷重を軽荷重とすることができるドレッシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るドレッシング装置は、研磨パッド１０に摺接されるドレッシング面を有するドレッシング部材４２と、回転可能かつ上下動可能なドレッサ駆動軸３２と、ドレッサ駆動軸３２に連結され、ドレッシング部材４２が固定されるドレッサフランジ４１Ａ，４１Ｂと、ドレッサフランジ４１Ａ，４１Ｂ内に配置され、ドレッシング部材４２をドレッサ駆動軸３２に対して傾動可能とする球面軸受４５と、ドレッシング部材４２の傾動に抗する力を発生するばね機構４９とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学素子本体に形成した面取り部の角部の角度を所定角度以上にして、ピリ、欠け等の微細欠陥の発生を防止する。
【解決手段】レンズ本体の外周面Ｓと光学機能面Ａの最外周部Ｌｂとの間に面取り部Ｂが形成されたレンズＬにおいて、光学機能面Ａの最外周部Ｌｂに引いた接線Ｃと面取り部Ｂを構成する面Ｌａ−Ｌｂとのなす角度α１、及びレンズ本体の外周面Ｓと面取り部Ｂの面面Ｌａ−Ｌｂとのなす角度α２が、１０５°以上、１８０°未満である。 （もっと読む）

【課題】ワークピースの少なくとも１つの表面領域を機械加工できる可能性を与える工具を提供する。
【解決手段】本発明による実施の形態は、スピンドルに接続され、このスピンドルを駆動させるための駆動部を具備し、このスピンドルに着脱可能に取着される、ワークピース（２４）の表面機械加工のための工具（１０）において、この工具（１０）には、少なくとも２つの作業面が設けられており、これら作業面は、ワークピース（２４）を同時に機械加工する目的のために、前記駆動部により駆動されることを特徴とする工具（１０）である。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、内周側面、外周側面及び該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台の少なくとも該マウント装着部を除く面に研削屑の付着を防止する樹脂がコーティングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ドレッシング処理を比較的長期間、安定して実施する。
【解決手段】 研磨パッド表面に摺接され、前記研磨パッド表面の目詰まりを除去するドレッシング工具であって、第１主面から第２主面に延びる複数の貫通孔を備えるプレートと、前記貫通孔内に配された砥粒と、を備え、前記貫通孔は、前記第２主面の側の開口径よりも小径の縮径部を有し、前記砥粒は、前記縮径部において前記貫通孔の内面と当接し、一部が前記第１主面から突出した状態で、前記貫通孔の内面に配された結合材を介して前記プレートと接合していることを特徴とするドレッシング工具を提供する。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台は研削屑の付着を防止する材料から形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、内周側面、外周側面及び該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台の該マウント装着部にのみ回転バランスを調整するための窪みが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスや化合物半導体材料の加工において、平滑な研磨面を得るとともに、研磨工程におけるダメージを軽減する。
【解決手段】軟質系金属定盤１の表面の表面処理を行う第一の工程と、軟質系金属定盤表面上に研磨スラリーを用いて微細な研磨粒子４を固定化する第二の工程と、更に該定盤１全体を洗浄及び乾燥させる第三の工程を有し、更に、固定化された微細な研磨粒子４の固定力を増加させるための相変換処理の工程を備えている。形成された相変換材料５は、研磨スラリーの溶媒をゲル化剤によってゲル化したものによって形成されている。 （もっと読む）

本発明は、平坦なワークピースの両面研削加工のための装置に関し、これは上方および下方の加工ディスクを有し、これらはそれぞれ研削層を有する加工面を有し、加工面が相互の間に加工間隙を形成し、この中でワークピースが研削されることが可能であり、加工ディスクの少なくとも１つが駆動機構により回転可能に駆動されことができ、さらにワークピースを加工間隙内で案内するための装置を有している。本発明に係り、加工ディスクの少なくとも１つにバリ取り手段が配置され、これが装置内におけるワークピースの加工時にワークピースのバリ取りを行うよう設計されている。 （もっと読む）

研磨工具用の研磨チップおよびそれを形成し交換する方法を開示する。この研磨チップにより、研磨工具への容易かつ迅速な取付けが促進される。
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【課題】研磨に要する装置の簡素化および低コスト化、並びにガラス基板の端縁に施される面取り面周辺の品位向上を図りつつ、当該端縁の面取り処理に要する時間を大幅に短縮して、生産性の向上を図る。
【解決手段】研磨具１が、ガラス基板７の表裏面７ａ、７ｂと端面７ｃとが交差する端縁７ｘ、７ｙに対して相対的に直線移動しながら回転軸８廻りに回転することにより、ガラス基板７の端縁７ｘ、７ｙに面取り処理を施すに際して、研磨具１の研磨面は、外周側の研磨面３ａの粗度が内周側の研磨面４ａの粗度よりも小さく、研磨具１がガラス基板７の端縁７ｘ、７ｙに対して相対的に直線移動する際には、外周側および内周側の両研磨面３ａ、４ａによってガラス基板７の端縁７ｘ、７ｙにそれぞれ面取り面が形成されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】研磨効率が高く、かつ、作業者の作業負担の小さい回転砥石を得ることのできる円板基体の製造方法及び円板基体を得る。
【解決手段】グラスファイバー製のシートに樹脂を含浸させる工程１と、前記樹脂を含浸させたグラスファイバー製のシートを熱乾燥する工程２と、前記熱乾燥されたグラスファイバー製のシートから、略中央に砥石軸挿通孔を有する大円板を形成する工程３と、前記大円板を複数枚重ね合わせ、熱間でプレス成形する工程４と、前記大円板の砥石軸連通孔を連通するフランジを取り付ける工程５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰパッドにペレットの切刃を均一に押し当てるとともに研削精度を確保し、部品点数を削減して製造が簡便に行えるＣＭＰパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】基板１に形成された複数の切刃１２を用いて、前記基板１に対向配置されたＣＭＰパッドに研削加工を施すＣＭＰパッドコンディショナーであって、前記基板１には、前記ＣＭＰパッド側を向く表面１１Ａに前記切刃１２を有するペレット１１が設けられ、前記ペレット１１は、弾性を有する接着剤１５を介し前記基板１に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研削速度を速めることができ、生産性の向上を図ることのできるウエーハの研削方法を提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブル５４と、ウエーハ１１を研削する回転可能な研削ホイールを有する研削手段と、保持面に対して垂直方向に研削送りする研削送り手段とを備えた研削装置であって、前記研削ホイールは、ホイール基台と、基台の自由端面に環状に配列された第１の研削砥石８０と、該第１の研削砥石８０の半径方向内側で該第１の研削砥石８０と半径方向の間隔が研削すべきウエーハ１１の半径よりも短い間隔を有し、該第１の研削砥石８０と同心円状に配列された第２の研削砥石８２とを含み、ウエーハの１１回転中心Ｐ１に該第１の研削砥石８０が通過するように該研削ホイールを位置付け、該チャックテーブル５４を回転するとともに該研削ホイールを回転させて、該第１の研削砥石８０と該第２の研削砥石８２とによってウエーハを研削する。 （もっと読む）

【課題】そこで本発明は、被加工物の加工面のうねりや加工具の摩耗等に拘らず、レンズ成型用凹部を均一に加工形成することができる。
【解決手段】本発明は、回転する被加工物Ｅに加工具Ｄ１を押圧することにより、その被加工物Ｅにレンズ成型用凹部２０を加工形成するレンズ型の加工装置において、上記加工具Ｄ１に、被加工物Ｅに対する押圧力が一定となるように弾性変形する弾性変形部３０を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ペレット化のための押出機のダイプレートを機械加工するための装置を提供する。
【解決手段】研削面３を有する研削ホイール２を備え、前記研削ホイール２は、前記押出機に面するカッターヘッドの駆動装置の駆動シャフト５上に回転装置４を介して配置されており、前記研削ホイール２が前記駆動シャフト５に取り付けられるときに前記ダイプレート１に位置合わせされる少なくとも前記研削面３が、ハードコーティング６を有する。 （もっと読む）

【課題】粉末成形体に生じているバリをバリ取り用ブラシで確実に効果的に除去できるようにすることを課題としている。
【解決手段】粉末成形体１０に生じているバリ１５にバリ取り用ブラシ１の毛材３ｂを、その毛材の進行方向前方から見た図において傾斜するように接触させて前記バリ１５を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハのデバイス領域に対応する裏面のみを研削して円形凹部を形成し、外周余剰領域に対応する裏面にリング状補強部を残存させる研削を行った場合に、円形凹部とリング状補強部との境界部に円弧状の未研削部を形成するのを抑制可能な研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが表面に形成されたウエーハの裏面を研削する研削装置の研削ホイールであって、リング状のホイール基台と、該ホイール基台の自由端部に環状に固定された複数の研削砥石とから構成され、各研削砥石はその縦断面が鋭角を有する平行四辺形に形成されていて、該平行四辺形の鋭角が外方に突出するように前記ホイール基台に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの被加工面が湾曲している場合であったとしても、複雑なロボットティーチング作業を必要とすることなく自動加工を行うことができ、加工コストの低減を実現することが可能であるカップ型ブラシを提供する。
【解決手段】全体でカップ形状を成すカップ型ブラシであって、回転力が伝達される軸部２ａを有するブラシホルダ２と、ブラシホルダ２の軸部２ａを中心にして環状に配置された複数のセグメントブラシ部３を備え、先端にセグメントブラシ部３が装着されてブラシホルダ２に軸方向に移動可能に支持されるブラシ支持棒１１と、セグメントブラシ部３とブラシホルダ２との間においてブラシ支持棒１１に嵌装されてセグメントブラシ部３に対してブラシホルダ２から離間する方向の力を常時付与するコイルばね１２を具備したブラシ支持機構１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】基盤の弾性を保持しつつピンの飛散を防止する。
【解決手段】表層切削回転工具２は、弾性を有するリング状の基盤２０と、基盤２０に保持されるピンユニット３０とを備えており、ピンユニット３０は、基盤２０に埋設されるリング状のプレート３１と、先端にダイヤモンドの切刃３４が取り付けられて先端部が基盤２０の下面２２から突出しているピン３２とを備えている。そして、プレート３１は、基盤２０よりも剛性が高く、弾性（可撓性）を有する部材で形成されおり、基盤２０の内部において、複数のピン３２を連結している。これにより、基盤２０の回転により切刃３４が被切削面Ｓの段差に引っ掛かるなどしても、複数のピン３２がプレート３１により連結されているため、ピン３２が基盤２０から脱落して飛散するのを防止することができる。 （もっと読む）