【課題】微小な加工圧力で被削材の研削を行うことができると共に、砥粒部の剛性を確保でき、摺動によるチップ穴の側面の摩耗を抑制することが可能な砥石チップ、およびその砥石チップを使用した研削砥石を提供する。
【解決手段】研削部３は、チップ穴４と、チップ穴４に摺動可能に設けられた砥石チップ５と、砥石チップ５の駆動機構６とから構成され、砥石チップ５は、金属製の基台７と、この基台７の一端部に砥粒９を結合材１０で結合した砥粒部８が設けられている。砥粒部８の側面８ａおよび長手方向端面８ｂはＮｉめっきなどの金属層からなる厚み５〜１５００μｍの保護層１１で覆われている。保護層１１によって、砥粒部８の側面から突出した砥粒９ａが被覆されるため、砥石チップ５をチップ穴４に対して摺動させてもチップ穴４の壁面が摩耗することを回避できる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物である脆性材料からなる板状部材に過大な応力を発生させることなく、端面を研磨することができる板状部材の端面の加工方法を実現する。
【解決手段】 研磨ブラシ１０のフィラメント１１は、研磨ブラシ１０の回転方向の逆方向に向かって一様に傾斜して植毛されている。ガラスパネル２０は、搬送機構によりＸ方向に搬送され、端面２０ａと略平行に回転駆動されている研磨ブラシ１０のフィラメント１１により端面２０ａが摺接される。これにより、端面２０ａが研磨され、端面２０ａに導入された亀裂を強度に影響を及ぼさない状態まで除去することができる。フィラメント１１は剛性が低く、斜めに植毛されているため、フィラメント１１のガラスパネル２０に対する当たりを柔らかくすることができ、ガラスパネル２０に過大な応力が負荷されるおそれがない。 （もっと読む）

【課題】両面ラップ盤用回転定盤においてキャリアの破損を防ぎつつ、効率よく研磨を実施する。
【解決手段】両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面（１１）の少なくとも内側周縁（２１）と外側周縁（２２）に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有し、断面が矩形をなした棒状の研磨片（２３）を、相互にこれら研磨片（２３）の横巾と同等かより狭い巾の空隙（１６）を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して研磨片環状配列群（２９）（３０）を形成すると共に、内側周縁（２１）寄りの研磨片（２３）と外周周縁（２２）寄りの研磨片（２３）に挟まれた中間領域に、金属紛とダイアモンド粉とを焼結せしめて所定の厚さと直径を有する円柱状をなしたダイアモンドペレット（１０）をほぼ均等かつ同心円状に固定した。 （もっと読む）

【課題】研磨粉が溝に堆積することを防止できる研磨ホイールを提供する。
【解決手段】本発明の研磨ホイールは、円環状に形成された台金４と、台金４の上面に設けられた研磨領域６を周方向に沿って複数に区画した表面に砥粒を固着して形成された砥粒層８とを備えてなり、砥粒層８の境界に複数の溝１０が形成され、肩部は丸みを帯びてなり、肩部には砥粒層８が一部延在している。溝１０の横断面の底部１８を曲面状に形成し、また、砥粒層８の端の下面２０と側壁２２との差を収容する段差２４を形成し、段差２４によって砥粒層８の端の上面２６と側壁とを面一とする。さらに、溝１０の延在方向における断面を、両端に向かって溝深さが浅くなるように形成する。 （もっと読む）

【課題】鉄−アルミ複合材料など硬質材料と軟質材料の複合材料を加工した時に、ワークの硬質材料部分から発生する切粉を細かくすると共に、砥粒脱落を防止することが可能なフライス工具を提供する。
【解決手段】カップ状の台金１１の端面１１ｂにろう付けによりダイヤモンドからなる砥粒１２ａ，１２ｂが固着され、前記台金の端面１１ｂの外周寄りの部分である外周部２と、内周寄りの部分である内周部１との境界に溝１３が設けられ、前記内周部１の平坦面１ａが前記外周部２の平坦面２ａよりも高く形成され、前記外周部２の最外周部２ｂは傾斜面または曲面に形成されたフライス工具において、前記最外周部２ｂには、３個以上８個以下の略同一粒径の砥粒１２ｂを略一定間隔で略同一円周上に配置した砥粒集合体１６が、所定の間隔をおいて配置されていることを特徴とするフライス工具。 （もっと読む）

【課題】セルフ研磨への切換の作業能率を向上することを目的とする。
【解決手段】上砥石車７に於て、ワーク研削砥石３を固定するクサビ状取付具４には、余備ネジ孔10, 10を設ける。この余備ネジ孔10, 10を利用して、セルフ研磨作業のためのセルフ研磨砥石を固着する。 （もっと読む）

【課題】研削痕を確実に付けることができ、かつ、研磨能力の限度まで使用できる研磨ホイールを提供すること。
【解決手段】本発明の研磨ホイール２は、円環状に形成された台金４と、台金４の上面に設けられた研磨領域６を径方向及び周方向に沿って複数に区画した表面に砥粒を固着して形成された砥粒層８とを備えている。研磨領域６の内周側の区画の一つは、砥粒層８が設けられていない研削痕用凸部１０であり、頂部に砥粒を固着して形成された砥粒層２４を備えた研削痕用ボルト２２を、研削痕用凸部１０に形成された孔２５に挿入し、台金４に形成されたボルト孔２６に螺合する。 （もっと読む）

【課題】超硬合金をも研削可能な研削工具を提供することを課題とする。
【解決手段】多結晶焼結ダイヤ層１３の前面には、放電加工により、多数個の島１４が残るように溝１６が彫られている。島１４には、研削エリアを明確にする長い島１４Ａと、大多数の円柱状の島１４Ｂとからなる。
【効果】島の材質は多結晶焼結ダイヤである。ダイヤであるから超硬合金も研削可能となる。加えて、島は溝で囲まれており、発生した微細な切粉は溝を介して排出される。切粉の排出が極めて円滑に行われるため、研削面は綺麗になる。さらに、研削部と研削面との間に摩擦熱が発生するが、この熱は溝を通じて逃がされるため、研削部の温度上昇を抑えることができ、研削部の寿命を飛躍的に延ばすことができる。したがって、難しいとされてきた超硬合金を効率よく研削することができる研削工具を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 消耗したり破損したりした砥石チップを容易に交換できる研削工具、及び当該研削工具を備える研削加工装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、砥石によって形成された砥石チップ７０を有し、モータ４０により回転させられることによって板状のウエハ１０を研削する研削工具５０であって、モータ４０と連結される工具本体部６０と、工具本体部６０に取り付けられ、砥石チップ７０を保持するチップ保持部８０とを備え、砥石チップ７０には、締結部材９０が挿通されるチップ側挿通孔７６が形成され、チップ保持部８０には、締結部材９０が挿通される保持部側挿通孔８１が形成され、チップ保持部８０が、砥石チップ７０が有する複数の面（例えば、背面７２や側面７４）に当接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】その工具に関連する情報を認識し易くすることができる工具及び砥粒層チップを提供する。
【解決手段】ラップ定盤１は、砥粒層チップ７を備える工具であって、砥粒層チップ７は、所定の標章の形状をなしている。そして、当該ラップ定盤１に関連する情報である工具情報が、上記標章によって示される。従って、このラップ定盤１の使用者は砥粒層チップ７の形状を見て、視覚的に当該ラップ定盤１に関連する情報を認識することができる。 （もっと読む）

【課題】 砥石層の摩耗過程の高精度な検出が可能な研削砥石を提供する。
【解決手段】 工作物を砥石層６２の研削面６２ａにより研削加工する研削砥石６０は、前記砥石層の研削方向厚さに応じて研削面の面性状が変化するように砥石層を形成して該砥石層の摩耗過程を検出可能に構成されている。このため、砥石層の研削面の面性状の変化を例えばツルーイング毎に検出することにより、砥石層の摩耗過程を検出して砥石層の研削方向厚さを高精度に補正することができる。よって、研削砥石の研削先端位置を常に正確に求めることができ、研削砥石を早送り速度から研削送り速度に切り替えた後、研削開始までのエアーカット量を減少させて研削加工時間を短縮させることができる。さらに、研削砥石を早送りする際に工作物との砥石衝突を未然に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】クーラント中に分散した研削屑や脱落砥粒を外部に効率良く排出することができ、砥石表面での目詰まりの発生を回避することのできる湿式研削装置を提供する。
【解決手段】本発明の湿式研削装置は、第１面を有し、第1方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第1面に取り付けられる、第１研削砥石セグメント；そして、各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第２面に取り付けられる、第２研削砥石セグメント；を有し、各該２砥石セグメントには、該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とした円に沿って、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される。 （もっと読む）

研磨パッドであり、また研磨パッドを作製する方法。該方法は第１の空洞と第２の空洞とを有する金型を用意するステップであって、該第１の空洞は凹部を画定するステップと、該凹部にボイド形成要素を含むポリマーマトリクス材料を供給するステップと、研磨パッドを形成するステップと、化学的／機械的平坦化工程で使用される前に、研磨パッドから該要素の少なくとも一部を取り除き、化学的方法あるいは機械的方法のどちらか一方によって研磨パッドの中にボイドスペースを形成するステップとを含む方法。
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【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置１０は、上側表面に研磨対象物１１を支持する支持テーブル１２、支持テーブル１２の上方に、支持テーブル１２に対して垂直に配置された回転軸１３ａ、そして回転軸１３ａの下端部に支持テーブル１２と平行に接続されている、電源１４に電気的に接続する環状超音波振動子２７ａ、２７ｂ、２７ｃを固定した砥石保持部材２８と、砥石保持部材２８の周縁部の下端に備えられた環状の砥石２９とを含む研磨具３３などから構成されている。この研磨装置は、砥石保持部材２８の外周部の溝３０ａと内周部の溝３０ｂがあり、その溝３０ａと３０ｂはほぼ等しい深さＴ１、Ｔ２を持つ。溝の無い部分Ｓの中心を振動の節円３２とする溝３０ａ、３０ｂから下部の径方向の振動をさせることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの外周部分を高精度に外周研削することができるウェーハエッジ研削方法、ウェーハエッジ研削ユニット及びウェーハ裏面研削装置を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成された表面にＢＧテープ１３が貼り付けられているウェーハのエッジを研削するウェーハエッジ研削方法であって、表面が上向きになるようにウェーハ１０をテーブル５に保持することと、鉛直方向ないしこの鉛直方向に対して所定角度傾けた方向に回転軸Ｇを有するカップ砥石８をウェーハ１０の周囲に配置することと、ＢＧテープ１３から露出しているウェーハ１０の外周部分に沿って段部１４を形成するように、カップ砥石８を回転させながらウェーハ１０の外周部分に接触させてウェーハ１０の外周部分を外周研削することと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ブラシヘッドの着脱が容易、迅速に行なえるようにする。
【解決手段】ブラシ３２を植設した磁性体からなるブラシヘッド３３をマグネット２４を介してブラシホルダー３１に着脱するようにしたバリ取り用ブラシにおいて、ブラシホルダー３１は２つの保持板２３、３０よりなり、一方の保持板２３にマグネット２４を固着し、他方の保持板３０にマグネット２４に対向してブラシヘッド３３が装着可能な装着孔３０ａを形成し、バリ取り研磨時には、付勢手段２２を上方へ付勢させることにより、保持板２３を保持板３０から離間させることによってブラシヘッド３３をブラシホルダー３１に装着保持し、ブラシの交換時には、付勢手段２２を下方へ付勢させることにより、保持板２３を保持板３０に接近させることによってマグネット２４によりブラシヘッド３３をブラシホルダー３１から突出させるようにして、ブラシヘッド３３を着脱可能とした。 （もっと読む）

【課題】内径部を有する円板状の研磨材を備えた研磨工具でガラス基板を研磨後、研磨材の内周の摩耗量が極端に小さかったり、大きかったりすることがあり、研磨材の表面を修正加工する必要が生じ、またガラス基板を目的形状に研磨できない場合がある。
【解決手段】中心に内径穴１５ｃが形成された円板状の研磨材１５ｄを工具保持円盤１５ｂの片面側に固定し、工具保持円盤１５ｂを研磨装置により回転させて研磨材１５ｄに当接する被研磨部材の表面を研磨する研磨装置用の研磨工具において、円板状の研磨材１５ｄは、前記内径穴１５ｃの内径に対する外径の比である内外径比を１０％以上、２０％以下とした。 （もっと読む）

【課題】スクラッチやダメージ変質層の発生を防止した研削用砥石を提供する。
【解決手段】本発明に係る砥石６３は、ウェハ５の裏面側を研削するための研削用砥石であって、略平面状の表面を有するリングベース６４と、リングベース６４の表面に重なって設けられた弾性体からなるクッション層６５と、クッション層６５の表面に重なって設けられた金属薄板からなる薄板層６６と、電着もしくはメタルボンドにより薄板層６６の表面に重なって設けられた研削を行うためのダイヤモンド砥粒６８を含む砥粒層６７とを有して構成される。 （もっと読む）

本発明は、セラミック材料と好ましくは未反応の炭化物形成材料から形成された、種々の構造のおよび多様な用途のための複合基材に施されたＣＶＤダイヤモンド被覆を含む、非平面幾何学形状およびエッジシェービング表面を有する複合材料に関する。
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【課題】
本発明では従来の不織布製等の研磨パットよりも耐久性が高く、かつ従来のブラシパットよりも微小な凹み部分の研磨性能が高くしかも摩滅交換時の廃棄物の量を削減できるブラシパットを提供することを目的とする。
具体的には、耐久性と研磨性の高いブラシの実現することと、バックアップ部材を交換不要とするためにブラシとバックアップ部材を容易にかつ十分な把持力で脱着可能とすることである。
【解決手段】
シート状の基材の片面に短繊維が前記基材表面とほぼ垂直に複数接着されており、かつ前記基材の前記短繊維が接着されている面とは逆面に、雄型のフックを備える面ファスナーが接着されていることを特徴とする、面ファスナー付きブラシパット。 （もっと読む）