【課題】 両面平面研磨装置において、大がかりな制御機構や剥離機構を必要とせずに、上側砥石ユニットの固形砥石の表面に対する被研磨体の貼付きを防いで、被研磨体の取出し作業を容易にする。
【解決手段】 上下の砥石ユニット１００，２００のラッピング定盤１，１に保持させた固形砥石２，２を、第１溝部３１によって砥石セグメント２１に分割する。それぞれの砥石セグメント２の表面に第２溝部３２を形成し、上側砥石ユニット１００の砥石セグメント２１の第２溝部３２，３２ａの総本数を、下側砥石ユニット２００の砥石セグメント２１の第２溝部３２の総本数よりも多くする。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドのパッド面におけるスラリーの保持力を高めて、ポリッシング能率と寿命を向上することが可能なＣＭＰパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】コンディショニングディスク１の外周側に研削部２が設けられ、研削部２は、台金３に砥粒４が電着によってメッキ層が形成されることによって固定されて形成されており、砥粒４として、ダイヤモンド等を用いることができ、結晶形状の整った六・八面体の砥粒であることが好ましい。メッキ層の厚みを厚くした凸部７が所定の割合で形成され、この凸部７と、凸部７以外の領域である平坦部８とに砥粒４が固着されている。 （もっと読む）

本発明は、物品を研磨するように構成された研磨ホイール（１０）に関する。研磨ホイールは、軸（２６）と同軸の軸方向の空洞（１８）が設けられたハブ（１２）を備える。研磨ホイールは、さらに、ハブ（１２）に固定され、軸（２６）と同軸の、高分子弾性体材料から作られている下地層（１４）を備える。下地層（１４）は、軸（２６）に対して略対称の形状を有している外面（２０）を有する。研磨ホイール（１０）はさらに、外面（２０）に固定され、軸（２６）と同軸の連続被覆層（１６）を備える。連続被覆層（１６）は、高分子弾性体材料から作られ、外面（２０）のほぼ全体を覆う。
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【課題】 導電性のある硬質粒子のＭＥＡに対する接触面積を増やし、導電性に優れた燃料電池用金属セパレータの加工方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 ＳＴ０１：ステンレス母材に、粒状の導電性のある硬質粒子を含有させたステンレス鋼材を準備する。ＳＴ０２：ステンレス鋼材を所定の厚さに圧延する。ＳＴ０３：圧延したステンレス鋼材をセパレータ半完成品にプレス成形を施す工程である。ＳＴ０４：セパレータ半完成品をベルト研削し、表面の変質層を除去し、硬質粒子の露出面を平坦化する。ＳＴ０５：ベルト研削後のセパレータ半完成品を砥石研削し、ステンレス母材のみを削って仕上げる。
【効果】 導電性のある硬質粒子の被接触部材に対する接触面積を増やし、導電性のある硬質粒子の突出表面を被接触部材に確実に接触させることで、導電性のある硬質粒子の被接触部材に対する接触抵抗を下げることができるという利点がある。 （もっと読む）

【課題】高い回転速度で操作されても摩耗しにくく、破損の危険の少ない処理歯をもった回転工具を提供する。
【解決手段】ゴム又はゴム状プラスチック製リングディスク１であって、弾性処理歯４をもった外側リム２と内側リム３とからなり、所定の幅及び高さの安定化ウェブ６が外側リム２の円周方向に沿って処理歯４の間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】切断面形状が楕円形または半楕円形をなすコイル状スプリングの外周面に、硬ろうを用いるろう付けにより硬質砥粒を予め固着させ、合成樹脂又はゴムで被覆されるワイヤーロープの外周面に連続して接続され、巻回わされ、さらに、ループ状の形態に形成されることにより、切削刃具の切れ味が良く高寿命で、コイル状スプリングのばね定数が高く、たわみ量が少ないことにより、ワイヤーロープ被覆層の損傷、及びワイヤーロープの発錆、腐食、破断が回避される耐用寿命が長く、コストの安いワイヤーソーを提供する。
【解決手段】ワイヤー素線２から構成されるワイヤーロープ３と、ワイヤーロープ３の全長に亘って被覆される被覆層４と、ワイヤーロープ３が所定長毎に連続して接続されて巻回わされ、硬質砥粒５から成る切削刃具６が外周面８に固着されて被覆層４に埋設され、切断面形状が楕円形または半楕円形を成す複数個のコイル状スプリング７とから成る。 （もっと読む）

【課題】 複列の玉軸受の内・外輪や自動車の車軸用のハブ軸受ユニットの外輪やハブなど、複雑な形状を一度に研削するに当たり、従来のように被加工物の種類に応じた形状のロータリードレッサーを用いることなく、かつ、ロータリードレッサーを用いる場合に比して砥石の切れ味を向上させることができ、もってロータリードレッサーを用いた総型研削方法に比して研削コストを低減させることのできる研削加工方法を提供する。
【解決手段】 ディスク３１の外周に、当該ディスク３１の軸平行断面が円の一部をなすＲ面形状に沿うように微小ダイヤモンド３２ａを分散配置したＲ面形状部３２を備えた多石のディスクタイプのドレッサー３を用い、そのディスクドレッサー３を回転駆動しつつ、数値制御により砥石２の幅方向（ｘ軸方向）および砥石外周面に接近／離隔する方向（ｙ軸方向）の２軸方向に同時に位置制御して砥石２の表面を所要の輪郭形状に成形することで、数値制御のプログラム変更により被加工物Ｗの形状に対応可能とし、ディスクドレッサー３をトラバースさせることにより砥石２の切れ味を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 複数の砥石セグメントの角度を微小量で正確に、しかもすべての砥石セグメントについて規則的に変更することが容易であるシリコンウエハー加工用カップ状セグメント型砥石を提供する。
【手段】 本発明は、台金の周縁部２ａに複数の砥石セグメント３が配置されるシリコンウエハー加工用のカップ状セグメント型砥石であって、砥石セグメント３がその研削面を回転面とする各々の自転方向Ｘにおける所定の角度ピッチで台金上に位置決めされる位置決め機構（凹凸形状５ａ，５ｂ）を有するシリコンウエハー加工用カップ状セグメント型砥石に関する。 （もっと読む）

本発明は、被研磨面を所望の表面粗度に仕上げることができ、かつ耐久性に優れた回転研磨具を提供することを目的とする。その手段として、両端部の一対の研磨ユニット９と、一対の研磨ユニット９の間に設けた中間部１０とから略円柱状の研磨部材３を構成する。研磨部材３をその中心軸の周りに回転自在に支持し、その周面で被研磨面を研磨するようにする。研磨ユニット９は、複数枚の研磨布紙７を内金具８で挟圧保持したものであり、研磨布紙７の周縁を蛇行状に型付けする。中間部１０は、多数枚の研磨布紙７を重ね合わせて研磨ユニット９で軸方向に挟圧したものである。中間部１０を研磨ユニット９に沿ってなじませることにより、各研磨布紙７の周縁を蛇行状に型付けする。研磨布紙７の間に隙間ができないので、被研磨面の表面粗度が安定し、かつ、研磨部材３の耐久性が向上する。
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丸く球形の二酸化チタン研磨媒体およびこの媒体を作製する方法が開示される。上記研磨媒体は、二酸化チタン反応容器の壁上の二酸化チタン積層を除去するのに効果的である。上記方法は、高強度ミキサー中で、市販の二酸化チタン粉、水、および界面活性剤を混合することによって未焼成二酸化チタン・ペレットを形成することからなる。高強度ミキサーで、ほぼ丸く球形の未焼成ペレットを作製し、続いてサイズ調節し、キルン中で焼結して、研磨媒体として適した丸く球形の二酸化チタン焼結ペレットを形成する。高強度ミキサーは、成型プロセス中にオペレーターが、ほぼ丸く球形の未焼成ペレットが作製されるようにペレットのサイズおよび形状を厳密に制御することを可能にする。焼結された二酸化チタン・ペレットは、形状がほぼ丸く球形であるため、反応容器の壁の磨耗が格段に少なくなる。更に、ペレットは、それ自体が磨耗してなくなるので、二酸化チタン製品を汚染せず、丸く球形の研磨媒体に再加工することさえ可能である。 （もっと読む）

少なくとも２つの取外し可能の相互に連結された部分（５，７）からなる研削工具（１）が提供される。両部分（５，７）は円周領域で中断した研削面を備える研削砥石車状の物体を形成し、前記部分（５，７）は調整機構を用いて、前記研削砥石車状の物体が該物体の研削幅を基準として調節可能であるように相対的に互いに調整可能であり、かつ各調整時に固定可能である。前記調節は、好ましくは無段階で行われる。研削幅調節は、研削されるべき可変研削幅と、ワンパス研削方式において後調整可能の研削されるべき研削幅とに対して有利に適用することができる。
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研磨物品は、突出研磨材ユニット（４００）のアレイを含む。各ユニットは、基部と、基部と同一平面である平面上に投影されると基部から中心が外れる遠位の頂端部とを有する。研磨物品は、上記の研磨材ユニット（４００）を含むように形成された研磨コーティングに結合されたバッキングを含む。研磨物品の製造方法は、製造ツール、研磨スラリー、およびバッキングを挟持することを含む。スラリー中のバインダーは、製造中に硬化される。研磨物品は、ワークピースを研磨するために使用することができる。

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基板（４５６）と支持アセンブリ（４００）の間に介在された固定砥粒物品（４１０）を含む装置。支持アセンブリ（４００）は、基板と固定砥粒物品（４１０）の間の界面に高低侵食力の領域を形成する。高侵食力は、固定砥粒物品（４１０）を活性化するのに十分なものである。
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本発明は、明確なＳｉ結晶を含む材料の表面、特に、明確な初晶Ｓｉを含むアルミニウム材料から製造されたシリンダ壁を露出させるための物質に関する。本発明の露出物質は、特に好ましい形として、４μｍ〜０．１μｍの範囲の粒径の炭化ケイ素粒体及び／又はＡｌ_２Ｏ_３セラミックファイバーから構成されるきわめて微粒の露出材料を好適に含んでおり、この露出材料は粘弾性体のプラスチック担体コンパウンドの中に埋入されている。本発明のこの露出物質を使用する本発明による方法及び対応する装置も開示される。 （もっと読む）