【課題】研磨中に研磨パッドからの研磨粒子の離脱に起因するスクラッチの発生がない半導体ウエハの化学的−機械的研磨用研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、本体１１、分子結合リンク３０、および本体全体に実質的に均一に分散した研磨粒子２０を有する。本体１１はポリマー性マトリクス材料１２から作製され、分子結合リンク３０はマトリクス材料１２に共有結合される。実質的に全ての研磨粒子２０は、少なくとも１つの分子結合リンク３０に共有結合される。分子結合リンク３０は、研磨粒子２０をマトリクス材料１２に確実に固定し、パッド全体への研磨粒子２０の分布の均一性を増強し、実質的に研磨粒子２０がパッドから脱離するのを防止する。 （もっと読む）

不規則に配列された繊維から構成される不織布と；該不織布の繊維に接着された接着剤と；該接着剤によって不織布に接着された研磨粒子とを、有する実質的に嵩高な不織布研磨材において、該研磨粒子が軟質大寸法粒子と硬質小寸法粒子とを含有してなる不織布研磨材。 （もっと読む）

丸く球形の二酸化チタン研磨媒体およびこの媒体を作製する方法が開示される。上記研磨媒体は、二酸化チタン反応容器の壁上の二酸化チタン積層を除去するのに効果的である。上記方法は、高強度ミキサー中で、市販の二酸化チタン粉、水、および界面活性剤を混合することによって未焼成二酸化チタン・ペレットを形成することからなる。高強度ミキサーで、ほぼ丸く球形の未焼成ペレットを作製し、続いてサイズ調節し、キルン中で焼結して、研磨媒体として適した丸く球形の二酸化チタン焼結ペレットを形成する。高強度ミキサーは、成型プロセス中にオペレーターが、ほぼ丸く球形の未焼成ペレットが作製されるようにペレットのサイズおよび形状を厳密に制御することを可能にする。焼結された二酸化チタン・ペレットは、形状がほぼ丸く球形であるため、反応容器の壁の磨耗が格段に少なくなる。更に、ペレットは、それ自体が磨耗してなくなるので、二酸化チタン製品を汚染せず、丸く球形の研磨媒体に再加工することさえ可能である。 （もっと読む）

研磨ディスク（１２）と波形ディスク（１０）とを有するパッドコンディショナー、およびその使用方法。波形ディスク（１０）は、少なくとも１つの隆起部分（２６）と、少なくとも１つのくぼみ部分（２８）とを有する。研磨ディスク（１２）は、くぼみ（２８）部分の少なくとも一部に解除自在に取り付けられて、波形研磨表面（１６）が形成される。波形ディスク（１０）によって、複数のプロセスおよび種々の工作物に使用できるようにパッドコンディショナーを改質することができる。
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目詰まり防止剤組成物は第１の有機化合物を含む。その化合物は、ステアリン酸亜鉛に対する水の接触角Ｗ^０_ｚよりも小さい水の接触角基準Ｗ^０_ｇを有する。その第１の化合物は、さらに約４０℃より大きい融点Ｔ_melt、約０．４より小さい動的摩擦係数Ｆおよび約０．２より大きい目詰まり基準Ｐからなる群より選ばれる少なくとも１つの条件を満足する。もう１つの態様は第１の有機化合物と異なる水接触角を有する第２の有機化合物を含む。組成物であり、その組成物は、少なくとも部分的に、組成物中の各化合物の独立したＷ^０_ｇおよび各化合物の割合により決定される、特定の水接触角Ｗ^０_ｐを有する。さらに、研磨用製品は目詰まり防止剤を含む。基板の研削方法は有効量の目詰まり防止組成物を用いることを含む。さらに、目詰まり防止化合物を選択する方法を含む。 （もっと読む）

構造化研磨物品（２０）、研磨物品の製造法、および研磨物品の使用法。研磨物品（２０）を形成する研磨複合材料（２２）は、少なくとも５００マイクロメートルの高さを有し、そして複合材料（２２）中の研磨粒子（２４）は、少なくとも４０マイクロメートル、いくつかの実施形態においては少なくとも約８５マイクロメートルの平均粒度を有する。

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研磨物品は突出研磨ユニットの配列を含む。各ユニットはベースと、ベースと同一平面上にある平面上へ投影された時にベースの中心から外れている先端頂上とを有する。研磨物品は、前述の研磨ユニットを含むように形成された研磨コーティングに接合されたバッキングを含む。研磨物品の製造方法は製造ツール、研磨スラリー、およびバッキングを締め付ける工程を含む。スラリー中のバインダーは製造中に硬化する。研磨物品はワークピースを研磨するために使用されてもよい。

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本発明は、一実施形態において、化学的機械的研磨用の研磨パッド（１００）を提供する。研磨パッドは、研磨本体（１１０）を備えている。研磨本体は、凹面セル（１２５）を備えた表面（１２０）を有する熱可塑性発泡体基板（１１５）を備えている。研磨剤（１３０）は、凹面セルの内部表面（１３５）を被覆する。研磨剤は、炭化物または窒化物を含有する無機金属酸化物を含む。本発明の別の実施形態は、研磨パッド（２００）を製造するための方法である。

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【課題】主として無機粒子からなる研磨用成形体を用いた研磨用定盤により被研磨材料を研磨するにあたり、その面状態を適正に修正する方法及びそのための面修正材を提供する。
【解決の手段】面修正に用いられる修正材の修正に携わる面の一部または全面に、所定の材質からなる部材を配し、かつ当該研磨用定盤及び／または面修正材を互いに摺擦運動させながら修正液を加えつつ研磨用定盤を面修正する方法及びそのための面修正材を用いる。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバコネクタの端面研磨に好適に使用され、良好な被研磨面を形成することができる研磨フィルムおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材フィルム２と、その基材フィルム２上に少なくとも研磨材粒子４およびバインダー樹脂６から形成されてなる研磨層３とを有する研磨フィルム１において、研磨層３の表面に一定形状の凸部７を有するパターンを形成したことによって、上記課題を解決した。 （もっと読む）