【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】応答性が良好な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の反射膜固定面５１２Ａに設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の可動面５２１Ａに設けられた可動反射膜５５と、反射膜間ギャップを変化させる静電アクチュエーター５６と、を備え、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が対向する反射膜対向領域Ａｒ１には、反射膜固定面５１２Ａ及び可動面５２１Ａが第一ギャップＧ１で対向する第一領域Ａｒ２と、第一ギャップＧ１より第二ギャップＧ２で対向する第二領域Ａｒ３と、が設けられ、固定反射膜５４及び可動反射膜５５は、それぞれ反射膜対向領域Ａｒ１のうち少なくとも第一領域Ａｒ２に設けられ、前記第二領域Ａｒ３を通る光路上に、光を遮光する遮光部５１６が設けられた。 （もっと読む）

【課題】小型で、高速応答性に優れ、大きく変位することが可能なアクチュエーターを提供すること、このようなアクチュエーターを容易に製造可能な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエーターは、複数の電極１１と、複数のカチオン交換樹脂膜１２と、複数のアニオン交換樹脂膜１３と、の積層体で構成され、カチオン交換樹脂膜１２とアニオン交換樹脂膜１３とが交互に積層されており、カチオン交換樹脂膜１２およびアニオン交換樹脂膜１３は、それぞれ、２つの電極１１で挟持されており、隣り合うカチオン交換樹脂膜１２とアニオン交換樹脂膜１３との間の電極１１が、同じ極性となるように電圧が印加されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可変型光偏向装置を提供する。
【解決手段】複数の光反射ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、３４、２６）を有するマイクロメカニカルミラーシステム（１４）と、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）を異なる反射位置へと制御して、光偏向を変化させる制御ユニット（３２）と、を備える可変型光偏向装置（１００）が開示される。この装置（１００）は、ミラーシステム（１４）に合わせて体系的に調整された後方反射構造（６０）を有し、これはミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の一部分から後方反射構造（６０）へと反射された光を、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の他の部分へと、狙いを定めた方法で反射し返す。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】光を走査する際の高速性を損なわずにミラー部の温度上昇を抑制することが可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】光を反射する反射面１ａを有するミラー部１と、ミラー部１の両端部に設けられ、ミラー部１を、反射面１ａに平行に延びてミラー部１の両端部と交差する軸を中心として回転方向に往復振動可能に支持する複数対の捻りバネ５６と、複数対の捻りバネ５６を同時に駆動してミラー部１の往復振動を生じさせる駆動部４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】変形応答特性の向上と発生力の向上を両立するアクチュエータを提供する。
【解決手段】互いに対向し合う一対の電極１３，１４と該一対の電極の間に配置される少なくとも電解質を含む中間層１５は、少なくともポリマー繊維層を有し、またポリマー繊維層を形成している複数のポリマー繊維２１は、三次元的に絡み合って交差しており、ポリマー繊維層は、ポリマー繊維とポリマー繊維が交差する交点２０において、融着している部分を有している。 （もっと読む）

【課題】ＩＭＯＤの或る特定の非アクティブ領域からの反射周辺光の影響を減少させること。
【解決手段】基板と、前記基板上に形成された第１及び第２の光コンポーネントとを有し、前記第１の光コンポーネントは、２つのモードを有し、該各モードは、前記第１の光コンポーネントに入射した光に対する別々の光学的応答を生じ、前記第２の光コンポーネントは、前記第１のコンポーネントからの周辺光の反射を減少させて光学的応答が周辺光の反射によって劣化させられず、前記第２の光コンポーネントがまた膜スタックを有することを特徴とする光デバイス。 （もっと読む）

【課題】スイッチング時間が短いことを特徴とする高周波ＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】 一端が、絶縁体１４を備える高抵抗性の基板１２の上に取り付けられた可撓性スイッチング素子１８と、前記基板１２の中に電荷キャリアを供給するためのコンタクト電極２４とを備え、前記スイッチング素子１８と前記基板１２との間には、前記スイッチング素子１８上に静電気曲げ力を生成するための電界が生成され得る、高周波ＭＥＭＳスイッチ１０であって、実質的に前記絶縁体１４の直下の前記基板１２内に、少なくとも１つのインプラント領域２０が形成されており、前記少なくとも１つのインプラント領域２０は、前記絶縁体１４の開口部２２を通って、前記絶縁体１４の上方に配置されたコンタクト電極２４と接触していると共に、前記基板１２に対してオーミックコンタクトを有している。 （もっと読む）

【課題】粒子等の反応流体における形状、結晶状態、粒子径等の特性を制御することができるマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの反応流体３０を流通させるためのマイクロチャネル２０を有するマイクロリアクター１０であって、マイクロチャネル２０が、反応流体３０の供給部および反応流体３０の排出部を有しており、供給部から排出部に向けて、マイクロチャネル２０内の温度および／または反応流体３０の濃度が連続的に変化している部分を少なくとも一部に有し、当該部分における勾配を制御することが可能である。 （もっと読む）

【課題】静電型アクチュエータのスイッチング時間を短縮する。
【解決手段】基板２０上に設けられた第１の電極２１と、第１の電極２１の上方に配置されかつ上下に可動な第２の電極２３と、第１の電極２１及び第２の電極間に設けられた絶縁膜２２とを有する静電型アクチュエータ１６の駆動方法であって、電源電圧を昇圧して静電型アクチュエータ１６の駆動電圧を生成するステップと、静電型アクチュエータ１６をアップ状態に設定する場合に、第１及び第２の電極２１，２３にそれぞれ駆動電圧を印加するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ミクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）構造体のスイッチ装置が提供される。
【解決手段】スイッチ構造体は基板１０８上に各々それぞれの配置を含む導電性要素１０４を含むことができる。導電性要素１０４は、実質的に金属性材料からなることができ、導電性要素１０４がある分離間隔で接点１０２から離れている第１の位置と、導電性要素１０４が接点１０２と接触し機械的エネルギーを蓄積する第２の位置との間で変形可能であるように構成することができる。導電性要素１０４はさらに、ほぼ室温〜金属性材料の融解温度のほぼ半分の温度において少なくとも１０⁷秒の累積時間で第２の位置に変形された後外力の不在下での分離間隔が累積時間の間２０パーセント未満変化するように構成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の一実施形態は、作動が速く、衝撃と動きに強い微細液体金属液滴を用いたＲＦＭＥＭＳスイッチを提供することである。
【解決手段】本発明の一実施形態にかかる微細液体金属液滴を用いたＲＦＭＥＭＳスイッチは、信号伝達線を備える第１レイヤ部材と、前記第１レイヤ部材上に配置され、前記信号伝達線に対応して微細液体金属液滴の形状変化を誘導するようにチャンバを形成し、前記チャンバで形状変化する前記微細液体金属液滴を前記信号伝達線に接触／非接触させるように前記チャンバの一側に貫通口を形成する第２レイヤ部材と、前記第２レイヤ部材上に配置され、前記チャンバの開放側を介して前記微細液体金属液滴に形状変化力を提供するように前記チャンバの開放側に備えられる作動部材と、前記作動部材の位置を設定し、前記第１レイヤ部材および前記第２レイヤ部材に結合される第３レイヤ部材とを含む。
（もっと読む）

【課題】ムービングマグネット型の駆動部を有する変形可能ミラー装置の応答速度、変形精度を向上する。
【解決手段】ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたり、駆動力発生部により発生した駆動力を駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するものとし、且つ上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着せず当接させる。これによりミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の質量を従来例の場合よりも大幅に削減でき、可動側部の固有振動数の値をより大とすることができる。また上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、ケースにおけるガイド孔に挿入するようにして設ける。これにより、先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができ、ミラー面の変形精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】大型電気機械スイッチおよびソリッドステートスイッチの代替手段で実現したデバイスを提供する。
【解決手段】スイッチ構造１００などのデバイスが実現され、このデバイスは、接点１０２および導体素子の片持ち梁１０４を備える。導体素子の片持ち梁１０４は、導体素子の片持ち梁１０４が接点１０２からいくつかの場合において、約４μｍ以下の距離、他の場合には約１μｍ以下の距離だけ隔てられている非接触位置と、導体素子の片持ち梁１０４が接点１０２と接触し、接点１０２との電気的連通を確立する接触位置との間で選択的に移動可能なように構成される。導体素子の片持ち梁１０４が非接触位置に配置されたとき、接点１０２および導体素子の片持ち梁１０４は、それらの間で３２０Ｖμｍ−１を超える大きさを有する、および／または約３３０Ｖ以上の電位差のある電界を維持するように構成される。 （もっと読む）

【課題】可動板の質量を増やすことなく、配線が比較的な動歪補正手段を備えた光偏向器を提供する。
【解決手段】可動板２０１の裏面に動歪補正手段として、動歪補正用圧電素子２２０、２３０、２３１を設ける。そして、駆動梁２０４の裏面の駆動用圧電素子２１０の上部電極、下部電極をトーション梁２０３を通し、動歪補正用圧電素子２２０の上部電極、下部電極には電極逆転部２４０、２５０を介して接続し、動歪補正用圧電素子２３０、２３１の上部電極、下部電極にはそのまま接続する。可動板２０１上の動歪は、トーション梁２０３と平行な方向では駆動梁２０４の反り変形と同じ方向に発生し、トーション梁に直交する方向では駆動梁２０４の反り変形と逆方向に発生する。該動歪は、駆動用圧電素子２１０と同位相及び逆位相で動歪補正用圧電素子２２０、２３０を駆動することで軽減される。 （もっと読む）

【課題】低い電圧でも効率よく駆動することができる発生力、変位量、動作速度などの性能に優れた高分子アクチュエータとして、あるいは応答性がよくて検知性能に優れ、しかも可撓性に富み耐衝撃性に優れる変形センサとして使用することができる、軽量かつ柔軟で、水が存在しない状態においても安定して機能することができる高分子トランスデューサを提供すること。
【解決手段】一対の電極と、当該一対の電極の間に配設され、イオン液体と高分子とを含む高分子固体電解質とを有する高分子トランスデューサ１０であって、高分子固体電解質と一対の電極のうちの少なくとも一方との間に、アニオンに対してカチオンを優先的に透過させるか、またはカチオンに対してアニオンを優先的に透過させるバリア層が配設されている高分子トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】電界によって流動する異方性流体の移動速度を促進する流体を提供する。
【解決手段】異方性流体８は、誘電率異方体を含み、電界によって流動する誘電性流体と、電界印加により前記誘電性流体を加速することのできる電荷移動錯体とを混合状態で含み、さらに前記誘電率異方体と異なる特性を有する微粒子９を分散した流体。 （もっと読む）

【課題】熱膨張率の相違を利用した湾曲によって駆動力を生じる応答性が良好なアクチュエータ、ならびに該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータは、第１層と、該第１層よりも大きな熱膨張率を持つ第２層と、第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ第３層とを含む複数層が積層されるとともに、加熱に応じて変形する可動部を備える。また、該アクチュエータは、第３層と一体的に構成されるか、または第３層と接触するように構成され、且つ第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ熱伝導部を含む放熱領域を有するとともに、可動部が固定される固定部を備える。 （もっと読む）