内側ドア部と外側ドア部を有するウエハーキャリアドア。内側ドア部はほぼ連続する内面を有している。外側ドア部は内側ドア部の少なくとも一部分の上に延びている。外側ドア部はその中に形成された複数の開口部を有する。外側ドア部は内側ドア部に取り付けられる。
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基板容器および底板は、例えば、コネクタ機構の二つの部材間をねじ式で連結することにより、容器と底板との間の距離を調整する機構で連結されている。同様に、容器に孔を開けるダックビル弁と、衝撃による損傷を最小化する吸収材とが提供される。
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ウェファボックスは、トレイ（１０）とカバー（６２）を含む。トレイ（１０）は、内側（３４、３６、３８、４０）の及び外側（２４、２６、２８、３０）の、壁の配置を含み、その間に水平な半円形の溝（４８，５０，５２，５４）を備えていて、間隔をあける、強度を高める、及び水平方向の衝撃を吸収する機能を遂行する。トレイ（１０）はさらに、内側の壁（３４、３６、３８、４０）の中に形成されたウェファキャビティ（４２）を含む。ウェファキャビティ（４２）は、垂直方向の衝撃を吸収する機能を備えるために、その床の上に隆起線の格子（４６）を含む。カバー（６２）の壁（７６、７８、８０、８２）は、トレイ（１０）の外側の壁（２４、２６、２８、３０）に係合して咬合し、それによって二重の壁の配置を形成する。台座配置（９０、９２）は、カバー（６２）上部の、コーナーと長手方向中央とに形成され、相互の積層配置を介して衝撃と振動の伝播を最小化又は除去するために、相互に積層されたボックスの間で離れた状態にする隙間を提供する。
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基板（２）を水平に載置するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、前記基板搬送用トレイ（１）は、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイ（１）の上方に配置される基板搬送用トレイ（１）と接触する上方接触部と、下方に配置される基板搬送用トレイ（１）と接触する下方接触部とを備え、前記上方接触部及び前記下方接触部の形状が、前記基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、前記他の基板搬送用トレイの重心が前記基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に前記他の基板搬送用トレイ（１）を移動させるように形成されている。撓むことで被積載物同士が接触して破損する恐れがないとともに、安定して積み重ねることができる基板搬送用トレイを実現することができる。 （もっと読む）

搬送器が機械により持ち上げられるように、機械とインターフェース接続するように構成されている筐体、ドアおよびフランジを含み、半導体ウエハ処理操作の際にシリコン半導体ウエハを輸送する搬送器。筐体とドアとの間のシールの完全性を維持するために筐体の歪みを防止すべく、フランジにかかる荷重が筐体の上部以外の一部に移送されるように、リフトサドルはフランジを容器に連結する。
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フォトクロミック性不要電磁放射線露光表示装置を含む半導体ウェハ、基板又はレチクルの保管及び輸送用収納容器（１０，２４）。フォトクロミック材料は収納容器の少なくとも一部を製造するために使用されるプラスチックに組み入れられる。フォトクロミック材料は選択された波長範囲の光の露光に呼応して色又は暗さを変化させる。
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メモリディスクの輸送容器はカセットを含み、カセットは開放上端と及び開放底と、開放上端を覆う上カバーと、底を覆う底カバーとを有する、本体部は対向側壁及び対向端壁を有する。２個の側壁は各々、垂直な上部と、内方に収束する底部とを備える。この側壁は、基板を垂直方向に位置決めし且つ間隔をあけた配列で保持するために切欠を画定する、内方に対向する長手状歯即ちスペーサを有する。各歯は開放上端から開放底まで連続すると共に、各歯は側壁の垂直上部に上垂直部を、また側壁底部に収束下部を有する。
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【課題】半導体ウェハを収容している搬送容器に衝撃力が作用した場合に、半導体ウェハが破損しないようにした半導体ウェハ搬送容器を提供する。
【解決手段】一組の対向する面１７ａ，１８ａに半導体ウェハ２７を収容するウェハ支持溝２６が縦方向に形成され上部に開口部３を有するたボトムケース２にカバー４を着脱自在に係止可能に設け、このカバー４の裏面側に設けた保持部材４１により半導体ウェハ２７の上部外周縁２７ｂを押圧保持させる。ボトムケース２の底部８に配設された弾性を有するクッション部材２９を設け、半導体ウェハ２７の下部外周縁２７ａを前記ウェハ支持溝２６の谷部２６ａから若干離隔させるように保持する。 （もっと読む）

【課題】 より安価で保守メンテナンスと再利用が容易な光学デバイス用梱包ケースを提供する。
【解決手段】 光学デバイス３を搭載し、被覆してなる光学デバイス用梱包ケース４であって、前記ケースは、周壁とこの周壁の一部に連結されてなる主面４２とを具備しており、前記ケースの周壁は、段差部４１２を介して、大きな開口部４１３と小さな開口部４１１が高さ方向に形成されており、前記ケースの主面には、光学デバイスを収容する凹部４２１が形成されてなるとともに、当該ケースを少なくとも２つ用意して、上側ケースの大きな開口部に、下側ケースの小さな開口部を挿入して、下側ケースあるいは上側ケースの段差部に係止させることで、お互いを段重ね一体化してなり、かつお互いを着脱自在に構成されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は回転した状態の半導体チップを吸着ノズルから安定的にポケットに収納でき且つ吸着ノズルにて半導体チップを取り出す際には微少な回転で取り出すことが可能な手段を提供することにある。
【解決手段】 半導体チップのチップトレイ構造は、半導体チップサイズの対角長さ以上を１辺もしくは２辺に持つポケットサイズを上段に、そのポケット内の下方向へチップトレイに縦横の軽い振動を加えることで半導体チップを収納できるサイズで且つ半導体チップサイズに近いポケットサイズを設置する。 （もっと読む）

【課題】嵌合強度および防湿性に優れ、写真感光材料に影響を与えず、廃却時に焼却しても焼却炉を傷めず、自然界において、微生物、光または熱により強度が低下または分解して、環境上の問題を生じるおそれがない写真感光材料用容器の提供。
【解決手段】吸水率が６％以下、かつ曲げ弾性率が１０００〜６０００ｋｇｆ／ｃｍ² である分解性ポリマーを用いて成形されてなる写真感光材料用容器。 （もっと読む）

【課題】 輸送時等において光学デバイスが遊動することにより、光学デバイスのエッジ部分がケースを切削し、ゴミの発生を抑制できる梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上部が開口し、当該開口部に光学デバイスを収納する収容部１１ａが複数に形成されてなる下ケース１と、当該下ケースの開口部、前記光学デバイスを被覆する上ケースとからなる光学デバイスの梱包ケースであって、前記下ケースの各収容部の底面には、凹部１１１ａが形成されており、当該凹部の上面を横架してなる両面接着テープ２が貼り付けられ、当該両面接着テープの上部に前記光学デバイスが貼り付けられてなる。 （もっと読む）