【課題】本発明は、カバーテープの巻回体の輸送、保管、使用時における巻き崩れを防止できる、カバーテープを目的とする。
【解決手段】本発明のカバーテープは、表層として、基材層２０と、シーラント材３６を含むシーラント層３０とが位置した積層体であり、基材層２０の表面とシーラント層３０の表面との静摩擦係数が、０．７０以下であることよりなる。シーラント層３０は、平均粒子径が０．０１〜２０μｍの球状粒子３４を有することが好ましく、球状粒子３４は、ＣＶ値が４５％以下であることが好ましく、シーラント層３０には、球状粒子３４が、１００質量部のシーラント材３６に対して０．５〜１０質量部添加されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高いシール性を確保しながら、ウェーハケースの素材を原因としたシリコンウェーハの有機物汚染を解消可能で、かつ航空輸送時の気圧変化によるウェーハおよびケースの変形、破損を防止可能なウェーハケースを提供することを目的とする。
【解決手段】それぞれ金属製の容器本体と蓋とを、第１の波形シール部と第２の波形シール部と有したシール構造を介して密閉し、第１、２の波形シール部を含む容器本体および蓋の各シール面の表面粗度をそれぞれ０．８Ｓ〜１．６Ｓとしたので、高いシール性を確保しながら、ケースの素材を原因としたウェーハの有機物汚染を解消できる。しかも、航空輸送時の気圧変化によるケースの変形、破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】基板との接触に伴う蓋体の変形を低減して基板の汚染を抑制し、蓋体の開閉や作業に支障を来たすことの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体の開口したリムフランジを蓋体５０により開閉する基板収納容器であって、蓋体５０を、容器本体のリムフランジに着脱自在に嵌合される筐体５１と、容器本体に収納された半導体ウェーハの周縁部前方を保持するフロントリテーナ５９と、回転プレートの回転操作により筐体５１の周壁から出没可能な係止爪７７を突出させて容器本体のリムフランジ内周に係止させる施錠機構７０とから構成する。筐体５１の半導体ウェーハに対向する裏面にフロントリテーナ５９を、筐体５１の表面に施錠機構７０をそれぞれ取り付け、フロントリテーナ５９の前方に施錠機構７０を位置させる。 （もっと読む）

【課題】 収納物の上方突出部を合成樹脂フィルム又はシートに形成した柔軟な上向凸部で被覆することにより苺等の収納物の損傷を防止することを目的とする。
【解決手段】 青果物又は果実等の収納物の各々下部を複数配列収納可能な上面開口有底容器を設け、上記有底容器の上面開口部を被覆するための柔軟性のある合成樹脂フィルム又はシート（被覆材）に、上記配列収納物の各々上部を被覆し得る柔軟性のある上向凸部を塑性変形により複数成形し、上記合成樹脂フィルム又はシートの外周縁を上記有底容器の外側面に垂下附着させることにより構成される。 （もっと読む）

【課題】適度な剥離強度を有し、剥離強度の経時変化が小さく、キャリアテープの再利用を可能とする透明性に優れるカバーテープを提供すること。
【解決手段】キャリアテープにヒートシールされるカバーテープであって、基材層と、前記基材層に積層される中間層と、前記中間層に積層され、かつ前記キャリアテープにヒートシールされるシール層と、を有し、前記シール層が、ポリ乳酸系重合体（Ａ）と、該ポリ乳酸系重合体（Ａ）以外の生分解性ポリエステル（Ｂ）と、の混合物からなるカバーテープ。 （もっと読む）

【課題】容器本体内を適切に密閉でき、汚染物を含んだ気体が容器本体内に流入するのを防ぎ、蓋体の開閉に支障を来たすおそれの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面のリムフランジ２６を開閉する蓋体５０と、容器本体１の開口したリムフランジ２６と蓋体５０との間に介在される変形可能なガスケットとを備える。ガスケットを、容器本体１のリムフランジ２６内周に嵌合されて蓋体５０の周壁に密接するガスケット２８と、蓋体５０に嵌合されて容器本体１のリムフランジ２６内周に密接するガスケット６４とから形成する。リップタイプのガスケット２８・６４を装着して二重シール構造とするので、容器本体１内を適切かつ確実に密閉することができ、しかも、蓋体５０の嵌合の際、抵抗が増大して開閉に支障を来たすおそれがない。 （もっと読む）

【課題】 光学デバイスの収納容器が外力等により変形した場合でも、内部の光学デバイスと収納容器の内壁が接触する機会を抑制した、光学デバイスの品質を低下させない収納容器を提供する。
【解決手段】 ケース１は収納凹部１１と収納凹部の周囲に設けられたケース凸部１２と、収納凹部１１の内底部１１ａに設けられた粘着部１１ｂとを有している。ケース凸部１２は収納凹部の周囲に形成されており、全体として収納凹部を形成した部分以外のケース上面が実質的なケース凸部を構成している。フタ２は全体として下方に開口した逆凹形状であり、天板部２１ａと天板部の外周に設けられた側壁部２１ｂとからなる。天板部２１ａには前記収納凹部間に対応するケース凸部に対応した下凸条部２１ｃが設けられ、天板部２１ａと下凸条部２１ｃとが交互に配置された構成となっている。 （もっと読む）

【課題】食品を損傷させることなく迅速に収容および取出しすることができる使用性に優れた食品用容器を提供する。
【解決手段】本体２および蓋体３の周縁部には、本体側フランジ１１から外側方、かつ水平方向に延設した、折曲部１４を有するフィン１２と、蓋体側フランジ１５に湾状部１７を備える係止部１６とからなる本体２と蓋体３を相互に取外し可能に係止させる一対のロック機構Ｌを２以上複数備えた食品用容器１の本体２に対する蓋体３の固定および固定解除方法であって、凸状部５上に凹状部５´および、本体側フランジ１１上に蓋体側フランジ１５をそれぞれ載置させ、蓋体３に有する湾状部１７に、上方に折曲させた本体２に有するフィン１２を着脱自在に嵌入するとともに、湾状部１７の両側方に設けた蓋体側フランジ１５上の掛止部１８に、フィン１２の両端部を着脱可能に掛止させる。 （もっと読む）

【課題】天板の撓みに伴う容器本体の変形を抑制し、シール性の悪化やパーティクルの発生を防ぐことのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体１と、容器本体１に取り付けられて工場の天井搬送機構に保持される搬送用のトップフランジ１９とを備え、容器本体１を、底板に半導体ウェーハの収納空間をおいて対向する天板１６と、底板と天板１６の後部間を上下に連結する背面壁２４と、底板と天板１６の両側部間を上下に連結する一対の側壁２６とから形成して正面部２８を開口させる。そして、容器本体１の天板１６と各側壁２６との撓みにくい稜線近傍部に、トップフランジ１９の取付部である複数の螺子ボス３Ｂ等を位置させる。 （もっと読む）

【課題】容器本体の長手方向両側縁に連設した二つの覆い体を、容器本体の支柱の上面と嵌合固定または支持させて覆い体どうしを連結させ、積み重ね時には上部容器の荷重を下部容器の支柱に直接支持させるという、極薄フィルムでのシュリンク包装に適しつつ破卵の少ない容器の提供。
【解決手段】鶏卵収容個別凹部１１を備えた容器本体１と、その対向両側縁部１５，１５に連設された二つの覆い体２，３とからなり、容器本体１が、四つの鶏卵収容個別凹部１１…に囲まれた中心部に上方に向かって突出する支柱１２と、その天面１３に形成された凹・凸形または貫通穴とした嵌合部１４を備え、二つの覆い体２，３が、閉蓋姿勢で前記嵌合部１４と嵌合する凸・凹部または貫通穴形の係合部２４を備えている構成、または、両覆い体２，３どうしが相互に係合する係合体２５，３５を備えた構成としたもの。 （もっと読む）

【課題】より効果的にがたつきや破損を防ぐことができる半導体チップトレイを提供することを目的とする。
【解決手段】半導体チップ４を収納するための収納ポケット３１を備えたチップトレイ３と、該チップトレイ３に取り付けられて固定される上蓋２と、を有する半導体チップトレイ１であって、前記上蓋２は、前記半導体チップ４を支持するための変形可能な梁構造のチップ支持部（支持部）２１を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大きな差圧を生じる前に空気を拡散させることなく収納容器内に通気させて外気圧との均衡を図ることができる収納容器を提供する。
【解決手段】上面が開口して内部に精密基板５を収納する容器本体２と、この容器本体２の開口部に被せられる蓋体３と、この開口部と蓋体３の間に介在して容器本体２内に密閉空間を形成するガスケット４とからなる収納容器１であって、ガスケット４による容器本体２と蓋体３との閉鎖部は、ガスケット４が容器本体２および蓋体３に密着する密着部２０ｂと、ガスケット４が容器本体２およびまたは蓋体３に接する漏洩部２０ａとからなり、漏洩部２０ａから気密漏れし、外部圧力の変化によって生じる外部圧力と容器内部圧力との差圧を解消するようになされたものである。 （もっと読む）

【課題】ガスケットを上下逆にして取り付けるおそれを回避し、組立性の向上を図ることのできるガスケット及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】２枚以下の半導体ウェーハを整列収納する背の低い容器本体１と、この容器本体１の横長に開口した正面部７を開閉する着脱自在の蓋体２０と、容器本体１の正面部７と蓋体２０との間に介在して変形する伸縮性のガスケット２８とを備え、蓋体２０の裏面周縁部に嵌合溝２７を形成し、この嵌合溝２７にガスケット２８を嵌合する。ガスケット２８を、蓋体２０の嵌合溝２７に密嵌される横長の枠体２９と、この枠体２９に一体形成されて容器本体１の正面部７周縁に圧接する湾曲片３２とから形成し、枠体２９の上部コーナ３０と下部コーナ３１とを上下非対称に形成する。 （もっと読む）

【課題】蓋の取り付け時・取り外し時に容器本体内の収容物品を損傷させるおそれがなく、また蓋の取り外し・取り付け作業も容易で使い勝手のよい梱包容器を提供する。
【解決手段】梱包容器Ｐは、ヒンジ部５を支点として左右のロックプレート３Ａ、３Ｂを内向きに折り畳むことによって、各ロックプレート３Ａ、３Ｂの下辺が左右のロック用凹凸部６Ａ、６Ｂの凸部６１の先端部前面に当接し、この当接状態で、容器本体１の両側から内向き・左右方向の力で各ロックプレートを押圧することによって、各ロックプレートが弾性変形し、各ロックプレートの下辺がロック用凹凸部６Ａ、６Ｂの凸部６１を越えて凹部６２に入り込んで、容器本体１と蓋２とが固定ロックされるものとする。また、容器本体１の内側から外向き・左右方向の力で左右のロックプレート６Ａ、６Ｂを拡げることによって、各ロックプレートの下辺がロック用凹凸部６Ａ、６Ｂの凹部６２から凸部６１を越えて抜け出し、前記固定ロックが解除されるものとする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ収容容器のカム溝とカムとの間に噛み込みが生じた場合、収容容器からウェーハを取り出すことができず、発塵やウェーハの破損を招くおそれがある。
【解決手段】ウェーハ１００を出し入れする開口部２２が前面に設けられた可搬性の収容容器２０と、収容容器の前面に回転可能に設けられて、開状態において開口部を開放し、閉状態において開口部を閉止するストッパー３０と、軸方向に進退可能な回転軸と、ストッパーと回転軸とを接続するとともに、回転軸の進退運動を回転軸まわりの回転運動に変換してストッパーを回転させる変換機構と、を備えるウェーハ搬送装置１２の、ストッパーを閉状態から開状態に開放する方法であって、閉状態にあるストッパーと回転軸とに対して異なる向きの外力を与える第一工程と、回転軸を軸方向に進退させて、ストッパーを開状態に回転させる第二工程と、をこの順で含むウェーハ搬送装置の開放方法。 （もっと読む）

【課題】半導体処理工程における移載容器中の部品支持構造の改良。
【解決手段】
移載容器は、基台５０及び蓋６０からなり、
該基台上の２つの抵触台５２と抵触部品５８で”コ“の字状にレチクル７０の支持部を構成する。抵触台の内側両端に相対してそれぞれ硬質の支持部品５５を設け、各支持部品はそれぞれ高低差のある高い第一突出片及低い第二突出片を具え、これらの頂上をアーチ状として支持接触面を点接触とし、同一抵触台上の二つの支持部品は、低い第二突出片を相対的に内側に配置して、レチクルが変位して第一突出片から滑り落ちても、第二突出片が受ける。 （もっと読む）

【課題】堆積導電作用を有するマスク移載容器を提供する。
【解決手段】堆積時に静電の発生を防止できるマスク移載容器構造であり、底台１０、殻体２を含み、殻体２が底台１０上に選択的に覆蓋し、マスク５０を置く収容空間を形成し、底台１０および殻体２とマスク５０との間に静電を導通する通路を形成し、殻体上面に該通路と連通する把手２４を設け、底台１０が少なくとも１つの導電構造と触導ユニット４０を有し、そのうち導電構造が通路と連接し、下向きに突出する導電柱３２、３５を有し、触導ユニット４０は移載容器が隣接して堆積時、下層移載容器の把手２４に接触し、隣接する移載容器とマスク５０との静電が該触導ユニット４０と導電ユニット３０を経由して導出でき、マスクパターンを破壊することを減少させる。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクケース内のフォトマスクの支持構造を改良する。
【解決手段】底台２、ケースカバー３及び複数個の押止部品４から構成するフォトマスクケースにおいて、底台の上面には複数個のフォトマスク支持部品を設け、ケースカバーは底台に被せて結合する。
各押止部品は、それぞれケースカバーの内側に配置されて，その一側は下向きに第一弾性片４１を形成し、他側は下向きに第二弾性片４２を形成して、それぞれフォトマスクの上面及び各側面を押さえて位置決めする。第一弾性片及び第二弾性片をそれぞれ押止部品の異なる側辺に形成するため、第一弾性片の押圧作用が第二弾性片を直接連動することなく、第二弾性片が過度にフォトマスクの側面を押さえることによる損傷を有効に防止する。 （もっと読む）

【課題】 マスク移載容器の遮蔽式入出気構造を提供する。
【解決手段】 移載容器は相対蓋合する底台とハウジングを含み、底台頂面には２個のサポート部品と１個の接触支持部品により組成する「コの字型」サポート体を設置しフォトマスクを支え、入出気構造は底台上に少なくとも２個の選択的に気密作用を生じる入出気部品を設置し、入出気部品は中空の底台範囲内に設置し、移載容器置は装置上に設置する開閉部品により移載容器の２個の入出気部品を選択的に開閉し、移載容器内部にクリーンな気体を注入し、移載容器内部の気体を導出し、これにより気体は該移載容器内部で循環流動状態を形成し、移載容器内部環境の清浄度を長期間維持可能で、同時に入出気構造はサポート部品下方に設置するため、気流がフォトマスク表面に直接衝撃を与え、フォトマスク表面に損傷を加える現象を回避可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造歩留まり、生産性を向上させる。
【解決手段】移送用トレイによって、多数の半導体素子を移送する移送方法であって、移送用トレイの素子収納部に半導体素子を収容し、前記半導体素子上に、一方の主面に粘着層が形成されたフィルムを、前記粘着層を前記半導体素子に対向させて配置し、前記粘着層上に前記半導体素子を載置し、前記粘着層上に、前記半導体素子が載置された状態で前記半導体素子を前記移送用トレイにより移送する。このような移送方法によれば、半導体装置の製造歩留まり、生産性が向上する。 （もっと読む）