【課題】位置補正用データの管理負担を伴うことなく搬送台車を高い精度で位置決めする。
【解決手段】リニアコンベアは、複数の電磁石ユニット２６を含み、電磁石ユニット２６毎に個別に通電制御が可能なリニアモータ固定子７と、永久磁石４４からなるリニアモータ可動子８及び位置補正用データが記憶されたＲＦタグ５５をそれぞれ備える複数のスライダ４と、各電磁石ユニット２６の通電制御を個別に行う複数のモータコントローラＣと、ＲＦタグ５５の情報を読み取るリーダライタ６０と、を備える。各モータコントローラＣはそれぞれ、リーダライタ６０が読み取った各スライダ４の位置補正用データを記憶しておき、スライダ４を目標位置で停止させる際には、対象となるスライダ４の位置補正用データを用いて目標停止位置を補正し、この補正後の目標停止位置に基づいて電磁石ユニット２６への通電制御を行う。 （もっと読む）

【課題】効率のよい微粒子搬送や大気汚染微粒子の除去を行うために、微粒子の撹拌搬送及び浄化を可能とする微粒子搬送装置及びそれを用いた微粒子の浄化方法を提供する。
【解決手段】微粒子搬送装置１は、微粒子２を搬送するための搬送管３と、搬送管３に配設される電極４と、電極４に接続されて搬送管３内の雰囲気５を放電させる交流電源６と、を備える。微粒子搬送装置１によれば、キャリアガスを使用しないで、かつ単相の交流電源６による放電を利用した簡単な構成で、静電気力による微粒子撹拌とプラズマ誘起流によって微粒子２の搬送を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】周囲に広いスペースを確保することなく搬送台車の取り外しをより簡単かつ速やかに行えるリニア搬送装置を提供する。
【解決手段】リニア搬送装置は、基台１０に固定されるレール１１と、これに移動可能に支持される搬送台車と、基台１０上に固定される固定子３２及びこれに対向するように搬送台車に設けられる可動子３４とを含む。搬送台車は、上下方向への脱着（固定子３２と可動子３４との並び方向と平行な方向への脱着）が許容される状態でレール１１に支持されている。また、リニア搬送装置は、固定子３２と可動子３４とのギャップＧが搬送台車の駆動時のギャップＧよりも拡大するように、固定子３２と可動子３４とをこれらの間に生じる磁気吸引力に抗して上下方向に相対的に変位させるギャップ可変機構１８を備えている。 （もっと読む）

【課題】走行体を走行レーン上で安定して走行させることができる飲食物搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送駆動体１５を駆動させることによって第１磁性体１８と第２磁性体１９との磁力を介して走行体７を走行レーン１ａ上で走行させる飲食物搬送装置１であって、第２磁性体１９の近傍には、走行レーン１ａに当接して第１磁性体１８と第２磁性体１９との間の磁力に伴う第２磁性体１９の浮き上りを防止し、搬送駆動体１５と一体となって移動する浮上り防止手段３４を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で基板を水平方向に搬送する搬送装置において、キャリア手段とキャリアとの摩擦によるパーティクルの発生を低減し、キャリア手段とキャリアの摩耗によるメンテナンス頻度を低減する。
【解決手段】キャリア６に第１の磁石１５を配置し、キャリア支持手段２１の、該第１の磁石１５に対向する部位に該第１の磁石１５とは間隔を介して、該第１の磁石とは対向面において同極性の第２の磁石２５を配置し、該第１の磁石１５と第２の磁石２５の反発力をキャリア６を上方に浮き上がらせるように働かせ、キャリア支持手段２１のガイドローラ２２にかかるキャリア６の自重を軽減して、ガイドローラ２２とガイドレール部１３との摩擦を低減する。 （もっと読む）

【課題】リニアモータタイプの搬送装置において、鉄粉の大きさに対応できるように構成する切粉・鉄粉の搬送装置を提供すること。
【解決手段】鉄粉搬送装置の鉄芯１１は、鉄粉の搬送方向に沿って複数の溝部１１１及び溝部１１１間に形成するコア部１１２を形成し、溝部１１１にコイル１３を挿通している。複数の溝部１１１に挿通するコイル１３の巻線１３１に三相交流電流を流すことによって合成磁界を形成し、この合成磁界は時間とともに移動する移動磁界を形成する。コア部１１２は胴体部１１３と頭部１１４とを有して、頭部１１４を胴体部１１３に着脱可能に形成する。頭部１１４の搬送方向長さＡを、鉄粉の大きさに合わせてそれぞれの寸法で形成し、選択するいずれかの頭部１１４を胴体部１１３に装着することによって、溝部１１１間の開口幅Ｂを可変とする。 （もっと読む）

【課題】分割して構成する単位リニアモータ間において、切粉・鉄粉のスムーズな受渡し作用を行える切粉・鉄粉の搬送装置を提供すること。
【解決手段】溝部で分割されたそれぞれの単位リニアモータ２０Ａ、単位リニアモータ２０Ｂを搬送方向に沿って順に配列する。単位リニアモータ２０Ａにはコイル組１４Ａ₁とコイル組Ａ₂を配置し、単位リニアモータ２０Ｂにはコイル組１４Ｂ₁とコイル組１４Ｂ₂を配置する。単位リニアモータ２０の右端の半溝部１１１ａにＵ相コイル１３Ｕを巻回し、単位リニアモータ２０Ａと単位リニアモータ２０Ｂとの間の連結溝部１１１ｂには、それぞれの単位リニアモータ２０ＡのＶ相コイル１３Ｖと単位リニアモータ２０ＢのＶ相コイル１３Ｖを共有して巻回する。そして、単位リニアモータ２０Ｂの左端の半溝部１１１ｃには単位リニアモータ２０ＢのＷ相コイル１３Ｗを巻回する。 （もっと読む）

【課題】 正確な浮上位置制御或いは振動抑制を実現することができる磁気浮上装置並びに励磁側を可動子とし金属レールを固定子とする磁気浮上装置を提供するにある。
【解決手段】 磁気浮上装置においては、浮上させるべき導電性の非磁性金属板の面に対して第１の交流磁界が第１の交流電磁石から印加される。また、金属板の周囲に略対称に配置された第２及び第３の交流電磁石から第１の交流磁界の印加によって前記金属板に生じた渦電流に交差するように第２及び第３の交流磁界が前記金属板に印加されて金属板が磁気的に浮上される。金属板が固定子側レールに定められ、電磁石が移動側キャリッジに載置されることによって磁石装置を搬送する磁気搬送装置も実現することができる。 （もっと読む）

【課題】磁石の吸引力を用いて動力を伝達する技術を前提にして、環状の搬送路に適した構成の搬送装置を提供すること。
【解決手段】 搬送装置は、搬送路に沿ってウエハを載せるハンガー１１が台車１２に取付けられ、一定の速度で巡回して走行できるようになっている。前記台車１２に走行力を伝達する伝達機構２として、走行方向に対しＮ極とＳ極が所定角度で交互に、且つ、短冊状に成形されると共に、連結手段３を介して環状に連結されている板状体２０と、これらの板状体２０と非接触で異極同士の吸引力が作用するように、前記搬送路に沿って回転可能に取付けられ、その回転軸に対しＮ極とＳ極が所定角度で交互に、且つ、短冊状に着磁されると共に、前記搬送路の略直線状部分の所定領域に配置されている円柱状体２１を用いている。 （もっと読む）

【課題】進行波により対象物を搬送する上で、十分な搬送性能を実現することができ、構造が簡単であり、かつ小型化に適したアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ基板１１上にフレキシブル基板１４を重ね合わせて固定し、フレキシブル基板１４上に複数の伸縮駆動素子１２を並設して固定し、各伸縮駆動素子１２の上端にシート状の弾性部材１３を載せて係止し、制御駆動部１５をフレキシブル基板１４を通じて各伸縮駆動素子１２に接続している。制御駆動部１５は、フレキシブル基板１４を通じて各伸縮駆動素子１２に電圧を順次印加し、各伸縮駆動素子１２をＺ方向に順次伸縮させて、弾性部材１３を変形させて波打たせ、弾性部材１３に進行方向がＸ方向の進行波を形成する。この弾性部材１３に対象物を載置すると、この弾性部材１３の進行波により対象物がＸ方向とは逆方向に搬送される。 （もっと読む）

【課題】所定の移送経路に沿って検査などを行う際に、その移送を安全に行い得るとともに、比較的、安価な移動体を採用し得る非接触式移送システムを提供する。
【解決手段】トンネル内に配設された管体１と、この管体１内に配置されるとともに空気輸送により管軸方向で移動自在にされた移動体２と、この移動体２に設けられた超電導磁石体３と、この超電導磁石体３に対応する位置で永久磁石体２２が設けられ且つこれら両磁石体３，２２同士の反発力により管体１の外面に浮遊されるとともにそのピン止め力により移動体２の移動に追従するようにされた移送体４とから構成したものである。 （もっと読む）

【課題】 複数のチャンバを備える半導体製造装置で各チャンバ間でのキャリア受渡しを円滑に行い、高速連続搬送を行える磁気搬送装置を提供する。
【解決手段】 隔離可能でかつゲートバルブ１１でつながる３つのチャンバ２Ａ〜２Ｃに付設され、チャンバ内をキャリア１３を搬送する。搬送路ではチャンバの間で渡り部分が形成される。チャンバに対応してキャリアを移動させる駆動軸３２Ａ〜３２Ｃと動力伝達部４２と駆動装置４１Ａ〜４１Ｃを備える。駆動軸はＮ極螺旋部３３ａとＳ極螺旋部３３ｂからなる螺旋状磁気結合部３３を有する。各チャンバに設けた駆動軸の配置間隔（ｄ）が、螺旋状磁気結合部におけるＮ極螺旋部とＳ極螺旋部の間隔（ｐ）の２倍の自然数倍になるように設定される。この関係で±１．５ｍｍのずれが許容される。各チャンバの駆動装置の動作を同期させて制御する制御装置１００が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 固定電極と被搬送体の位置関係を逆転させ、何かの原因でトラブルが発生し被搬送体の浮上力を失っても、被搬送体が電極の上に落下するだけで被搬送体にはできるだけダメージを与えないようにするとともに、非接触浮上と保持力を利用し、これを一つのユニットとすることにより、搬送機構に組み込むことが可能になり、柔軟な空気浮上式静電気拘束アクチュエータを提供する。
【解決手段】 空気供給装置９と、この空気供給装置９に接続される空気排出穴４が配置されるとともに、吸引用固定電極３と位置保持（位置復元）用電極５が形成されるベース２と、固定電極３，５に接続される第１の高圧電源７，第２の高圧電源８と、ベース２の上方にセットされる被搬送体１とを備え、空気排出穴４より排出される空気により、被搬送体１を浮上させ、固定電極３，５に高圧電源７，８より高圧電圧を供給し、被搬送体１を常にベース２の上部に非接触で維持する。 （もっと読む）