【課題】
本発明は、徹底した軽量化の実現を図るとともに、ガスの圧力損失を少なくでき、また、製作費が安く、かつ施工性も優れる効果を備え、かつ汎用性のあるガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、以下の特徴を有する。（１）ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるベースと、を有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部３４とＵ字配管部３５とからなるＵ字配管部材１２を有すること。（２）モジュールとＵ字配管部材１２との間に配設され、ボルト３２によりベースに締結されるテンプレート１３を有すること。（３）テンプレート１３には、ベースとの締結部１３ａとＵ字配管部材１２の位置決め部１３ｂとからなる略コの字型断面が形成されていること。（４）ベースとして、レール１１を使用すること。 （もっと読む）

キャリングガスの乱流部分がなく、キャリングガス内に流入させたプロセスガスが拡散しないようにしたガス集積弁を提供すること。アクチュエータ３１によって弁座３４に対して弁体３３を当接・離間させ、弁孔３５と弁室３６との連通・遮断を行う開閉弁３０が、途中で弁孔３５と分岐するように弁本体１２を貫通して形成された第１流路２６と、入力ポートから弁室に連通する弁本体１２に形成された第２流路２９とを有するものであり、こうした複数の開閉弁を一列に連設することで、第１流路２６同士が直接又は接続流路２７を介して直列に接続されたメイン流路２３が構成され、そのメイン流路２３に対して各開閉弁の第２流路３９が弁室３６及び弁孔３５を介して接続されたガス集積弁１。
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【課題】 パイロット流路を他の流路に連通させるための連通溝の加工工数を減らして、コストダウンを図った方向制御弁を提供する。
【解決手段】 複数の弁本体１を複数連接し、これら弁本体１にスプールを摺動自在に組み込み、このスプールの切換位置に応じてアクチュエータに供給する圧力流体の流路およびアクチュエータからの戻り流体の流路を切り換える一方、他の制御弁に対するパイロット流路７を開閉する構成にし、かつ、弁本体１と弁本体１との合わせ面２には、上記パイロット流路７の流路端を開口させてなる多連形方向制御弁を前提にする。そして、上記弁本体１の合わせ面には２パイロット流路７を他の流路に連通させる連通溝９，１０を弁本体１と一体にあらかじめ型成型した点に特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】
複雑な構造のアダプタが不要で、かつ水処理器の設置場所の自由度の向上を図ることができ、しかも既設の混合水栓における各種構造の分岐口アタッチメントに簡単に取付けることができる吐出用部材の提供を目的とする。
【解決手段】
原水Ｗの入口部３２と、水処理器に対する原水の供給口３３と、水処理された生成水の戻り口３４と、生成水を吐出する吐出部３５とを備えた吐水用部材３０であって、上記原水Ｗの入口部３２を、混合水栓における各種構造の分岐口アタッチメントに取付け可能に構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

弁チップは、第１および第２の面および第１および第２の面との間にある開口を有する基板と、開口の少なくとも１つに関連付けられた、基板の面の一方にある複数の可撓性弁フラップとを含みうる。弁チップは、開口を有するフレームを形成し、フレームの開口に弁チップを固定することによってパッケージングされていてもよい。特に、弁チップは、基板の第１および第２の面の中央部分が、フレームにある開口を通って露出され、フレームと基板の縁部との間に流体シールが設けられるように、開口に固定されていてもよい。関連する弁、弁アセンブリ、および方法についても記載する。
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【課題】
製作コストの低減、製作時間の短縮、流路内での圧力損失の抑制、およびブロックの軽量化を実現することができる集積弁用下部流路ブロックを提供すること。
【解決手段】
本発明の集積弁用下部流路ブロック１は、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂとを備えるＵ字配管１１と、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１１を支持する筐体２１とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複数のバルブからの圧油を少ない本数の配管でアクチュエータに供給でき、さらに圧力損失の少ない方向切換弁を提供すること。
【解決手段】 アクチュエータに圧油を供給する２組のバルブを対面して配置し、この２組のバルブのアクチュエータポート同士を接続するポートブロックを備え、ポートブロックの第３の油路を第１の油路と第２の油路に対し９０度の角度で合流するように設け、第１と第２の油路の断面積を足し合わせた断面積と第３の油路の断面積が略等しくなるようにし、第１、第２の油路から第３の油路に向かい断面積が徐々に増加するように油路内径を曲率を持たせてつなげ、油路外径に第１、第２の油路から第３の油路へつながる曲率を持った第１、第２の仮想線を設定し、第１、第２の仮想線の交点におけるそれぞれの接線が交わる角度が１２０度以下である方向切換弁。 （もっと読む）

【課題】 プロセスガス等の流体のスムーズな流れを維持する流体流路の加工作業において、その加工時間を短縮しながら簡単かつ確実に加工でき、また、構造を単純化して全体をコンパクトに形成可能であり、円滑な流体の供給を可能とし、かつ、流体の滞留現象をなくした集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法、並びにこの制御装置用流路ブロックを利用した集積化ガス制御装置を提供すること。
【解決手段】 プロセスガス等の流体を供給制御する自動弁等の集積ユニット１００を搭載するための集積化ガス制御装置用流路ブロックである。プレート状のブロック体１０の肉厚方向に、集積ユニット１００同士の入口・出口用の穴を貫通させて貫通路１１、１２を形成する。この貫通路１１、１２を連結する開口溝部１３をブロック体１０の何れか一面又は両面側に開口させ、この開口溝部１３をシールプレート７０で密封した集積化ガス制御装置用流路ブロックである。 （もっと読む）

【課題】 周辺機器を容易に一体に組み付け可能とし、かつ組み付ける周辺機器を自在に変更し得る電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】 複数の電磁弁ブロック１ａ〜１ｅと、電磁弁ブロック１ａ〜１ｅに連通する給気ポート５ｂを備えた給気ブロック２とを備え、給気ブロック２には少なくとも一つの周辺機器を接続する電磁弁マニホールドにおいて、給気ブロック２と周辺機器１０には、複数の周辺機器のうちの少なくとも一つを選択して、給気ブロック２に一体に連結可能とした連結装置８ａ，８ｂ，１２ａ，１２ｂ，１４を備えた。 （もっと読む）