【課題】電磁弁の交換や点検時に電磁弁を簡単に取り外し得るようにする。
【解決手段】マニホールド電磁弁は、給気孔３４と排気孔３５，３６とが形成された主弁ブロック１３を有する複数の電磁弁を積層して形成された電磁弁積層体と、該電磁弁積層体の両端に配置され前記それぞれの給気孔と排気孔とに連通する給気ポートと排気ポートが設けられたエンドブロックとを有している。主弁ブロック１３に形成された収容溝４５を貫通する第１の締結ロッド４３がエンドブロックに固定され、主弁ブロック１３に形成された係合溝４６を貫通する第２の締結ロッド４４がエンドブロックに形成された長孔に固定されており、第２の締結ロッド４４を緩めることにより電磁弁を外すことができる。 （もっと読む）

デバイスが、第一の端部、第二の端部、上側部（３１０）、左側部、右側部および幅を有したサブベースと、サブベース内に形成された、左側部から右側部へと貫通する第一の流路（３２４）、第二の流路（３２６）および第三の流路（３２８）と、第二の端部に形成された第一の開口部（４４６）および第二の開口部（４４８）と、サブベースの上側部に一列に形成された第一のスロット、第二のスロット、第三のスロット、第四のスロットおよび第五のスロット（３１４、３１６、３１８、３２０、３２２）とを備える。スロットの長軸は右側部から左側部へ延び、第一のスロットは第一の流路と連通し、第三のスロットは第二の流路と連通し、第五のスロットはが第三の流路と連通している。また、デバイスは、第二の開口部（４４８）から第二のスロット（３１６）へ流体の流れを滑らかに導くための手段と、第一の開口部（４４６）から第四のスロット（３２０）へ流体の流れを滑らかに導くための手段とを備える。
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【課題】液体主流路のバルブとリターン流路の分岐部との間に形成される薬液滞留部を最小限とし、薬液の凝固が生じにくい流体機器ユニット構造を提供する。
【解決手段】流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材１０に集積して一体化され、ベース部材１０に形成された流体主流路１１及びリターン流路１２にそれぞれ流路切替用の第１バルブ２０及び第２バルブ４０が設けられている流体機器ユニット構造において、リターン流路１２が流体主流路１１から分岐する分岐入口１２ａを第１バルブ２０の上流側近傍とした。 （もっと読む）

【課題】温水供給先（用途）が複数ある給湯システム等において配管類等を削減できて設備コストを低く抑えることのできる複連式混合弁を提供する。
【解決手段】水導入口４Ａ及び湯導入口５Ａが形成された単一の弁本体２に、水と湯の混合比率を任意に独立して変えることのできる複数個の混合弁１１、１２、１３が配設されてなる。前記弁本体２は、隔壁９で区切られた水導入室７と湯導入室８とを有し、前記各混合弁１１、１２、１３は、前記水導入室７に開口する水用開口部３１及び前記湯導入室８に開口する湯用開口部４１が形成された、円筒状内周面を有する筒状壁体１７と、該筒状壁体１７内に回動可能に嵌挿され、前記水用開口部３１及び湯用開口部４１の開口面積を回転角度に従って連続的に変化させるべく、その周壁部２２に調整用開口部３０が形成された概略円筒状の弁体２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の電動バルブユニット装置では、複数のバルブ装置がバルブユニット本体として一体に形成されているが、モータは１個ずつバルブユニット本体に固定される構成を採用している。そのため、各モータ毎にねじ止め等の固定作業を行わなければならないという不具合がある。
【解決手段】各モータをバルブユニット本体とは別途の１個のモータユニットとして形成し、このモータユニットをバルブユニット本体に固定することにより各モータをバルブ装置に連結させると共に、バルブユニット本体に対するモータユニットの位置決めを、１個のモータの連結部と、モータの連結部以外の位置とに設けた位置決め部で行うように構成した （もっと読む）

【課題】薄型化が可能かつ小さい力で作動し、しかもシリコン基板プロセスに比べて比較的製作が容易なエラストマバルブ構造及びそれを用いたポンピングシステムを提供する。
【解決手段】エラストマブロック内に第一フローチャネル３０と直交して積層された第二フローチャネル３２を形成する。第一フローチャネル３０の頂部を形成する膜２５は二つのフローチャネルを分離し、第一フローチャネル３０の頂部であると同時に第二フローチャネル３２の底部を形成している。第二フローチャネル３２の圧力を変動させることにより膜２５は下方への撓みと復帰を繰り返し、それにより第一フローチャネル３０は線形動作のバルブ動作システムを構成することになる。 （もっと読む）

【課題】マニホールドを低コストに製造することができるとともに、耐久性を低下させることのない電磁弁を提供する。
【解決手段】一対の流路２２を一体に有するマニホールド２０を樹脂材料によって形成したので、マニホールド２０を安価な材料によって容易に成形することができ、製造コストの低減を図ることができる。この場合、マニホールド２０側に設けられる弁座２３を金属製の部材によって形成したので、弁体１５が繰り返し当接しても弁座２３が容易に破損することがなく、耐久性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

少なくとも１つのＵ字型ＭＳＭ相互接続部構成部品（６）を有するガスパネルアッセンブリが開示されており、同相互接続部構成部品（６）は、少なくとも１対の隣接するモジュール式インサート（４）に跨り、流体用インサート（４）が非可動式に保持されるように、平坦な支持板（１）に締結されている。 （もっと読む）

【課題】 ラインの幅を狭くすることにより、装置の占有スペースをより一層減少することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 支持通路ブロック9,10は、張出通路ブロック11a,11bの流体通路11c,11dの開口にシール部20を介して突き合わされる流体通路9a,10aの開口を有し張出通路ブロック11a,11bの下面に当接する大ブロック部25,27と、大ブロック部25,27と下面が面一でこれより高さが低い小ブロック部26,28とからなる。小ブロック部26,28に、ベース部材30に支持通路ブロック9,10を取り付けるためのおねじ部材挿通孔26a,28aが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 組立て作業効率の向上が図られた流体制御装置を提供する。
【解決手段】 継手部材3,6a同士は、互いに突き合わされて前後方向からのおねじ部材18によって結合されている。隣り合う継手部材3,6a間には、その方形の突き合わせ面ほぼ中央にシール部20が設けられている。前後方向からのおねじ部材18は、方形の４隅のうち１８０°離れた２カ所にだけ配置されている。一方の継手部材3の４隅には、ねじ挿通孔29とめねじ30とが交互に設けられ、他方の継手部材6aの４隅には、ねじ挿通孔29とめねじ30とが交互にかつ一方の継手部材3のものとは逆位置となるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁を内蔵する連接形電磁弁にあってその小型化を図る。
【解決手段】各パイロット弁１８，１９と取付ベース１７とは、弁側取付部１８ｂ，１９ｂとベース側取付部１７ｂとが嵌合されることにより組み付けられる。これら弁側取付部１８ｂ，１９ｂとベース側取付部１７ｂとには、連結部材２５が挿通可能な挿通部としての弁側溝１８ｃ，１９ｃとベース側溝１７ｃとがそれぞれ形成されている。そして、各パイロット弁１８，１９と取付ベース１７とは、連結部材２５を各挿通部に挿通させることにより連結される。さらに、コイル端子１８ｄ，１９ｄを各パイロット弁１８，１９の左右側面の内側に配設し、各パイロット弁１８，１９と取付ベース１７とを連結した状態で連結部材２５をコイル端子１８ｄ，１９ｄに当接させることで該端子１８ｄ，１９ｄと駆動ブロック２０とを電気的に接続させる。 （もっと読む）

【課題】 組立て作業効率の向上が図られた流体制御装置を提供する。
【解決手段】 前後方向にのびるねじ挿通孔29は、おねじ部材18の頭部18aを受ける段部29aを有し、この段部29aが上方からのおねじ部材34の前後方向位置よりも前後方向からのおねじ部材28の挿入先端側に位置させられている。前後方向からのおねじ部材18を先に、上方からのおねじ部材34を後から締め付けることにより、前後方向からのおねじ部材18と上方からのおねじ部材34との干渉が避けられている。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】モジュール、特に、レール上に次々に固定することができかつアクチュエータ接続に対する収集チャネルを含む流体モジュールを含む電気流体モジュール式システムを提供する。
【解決手段】電気流体モジュール式システムは、アクチュエータ１５に対する母線ポート８及び電機接続４４を有する電気モジュール７ばかりでなく、機能モジュール３０を含む。接続側２３上で、２つのインタフェース・モジュール１８、１９が各々、電気接続８及び流体接続１０、１１、１２とモジュール式システム１のモジュール７、９に対して調節されている外形２４とを備えた第１接続構成を有する。反対接続側２２上で、これら２つのインタフェース・モジュールは、第１接続構成と異なっている接続構成であってかつ電気接続２５と同レール５上に取り付けられた異なるモジュール式システムのモジュール２、３に適合するように調節されている外形２０とを持つ第２接続構成を有する。 （もっと読む）

圧力媒体容積流を規定する流入メータリングオリフィス（１０，１２）と、通流方向を制御する方向部分（１４，１６）とを有する方向切換弁（８）を備えた、ハイドロリック式の消費器（２）に圧力媒体を供給するための弁装置が記載されている。方向切換弁には、圧力補償器として働く個別圧力バランス（１８）が対応配置されている。消費器からの戻し路には、開放方向においてパイロット圧で負荷されている降下ブレーキ弁（４４，４６）が設けられている。本発明によれば、このパイロット圧が、圧力バランスと方向部分との間の通路内で取り出される。
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【課題】配管構造をコンパクトにすることができる流体機器及び流体制御用モジュールユニットを提供すること。
【解決手段】共通流路３２から複数の流路が分岐する流路構造に使用される流体機器１において、第１ポート１３及び第２ポート１４が側面に開設され、前記第１ポート１３と前記第２ポート１４とを連通させる連通流路１５上に、制御部３を配置したハウジング１２を有し、一の流体機器１Ａの第２ポートが開設された側面と、他の流体機器１Ｂの第１ポートが開設された側面とを当接させて流体制御弁１同士を連結する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池システムに用いられる複数の電磁弁を外部環境から保護することである。
【解決手段】燃料電池システム２０において、車両の前方側から後方側に向かって、燃料電池スタック２２、３つのシャット弁３０、加湿器２４、電磁弁収納ボックス５０の順に配置される。電磁弁収納ボックス５０は、シャット弁３０の作動に用いられる複数の電磁弁が収納され、流体流路管路８０によってシャット弁３０等と接続される。電磁弁収納ボックス５０は、ベース板とシェルとで構成され、ベース板防水構造と電磁シールド性を有する。シェルに比べ剛性の高いベース板は、車両の前方側に向かって配置される。流体流路管路８０は、加湿器２４の上面部に整列配置されて固定される。 （もっと読む）

【課題】流量調整ねじをロックナットによりロックした場合に、流量調整ねじの雄ねじ部と、流量調整ねじが締結されるカバーの雌ねじ部との間のバックラッシにより、流量調整ねじがずれて、最初に調整した弁開度とずれることのないような流量制御弁を提供する。
【解決手段】調整ねじ部材５４の回転により調整弁体２６の開度を調整し、調整用雄ねじ部５３ａの弁体側に対向する弁体側歯面が調整用雌ねじ部４５ｂの歯面に接触した状態のもとでロックナット５６により弁体側歯面を調整用雌ねじ部４５ｂの歯面に押圧して調整ねじ部材５４を締結する。 （もっと読む）

【課題】同数の電磁弁を備え、マニホールドベースの幅方向に一つ又は二つの電磁弁を備える電磁弁マニホールドに比してマニホールドベースの長さ方向へ小型化することができる電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】電磁弁マニホールド１０は、マニホールドベース１２の幅方向に並設される二つの電磁弁取付部２２を備えるとともに、各電磁弁取付部２２においてマニホールドベース１２の幅方向に背向する側面には電磁弁取付面２２ａが設けられている。一つの電磁弁取付部２２で背向する一対の電磁弁取付面２２ａに開口する給気口２２ｃには、両給気口２２ｃ同士で共通化された一つの給気通路２４が連通するとともに、一つの電磁弁取付部２２で背向する一対の電磁弁取付面２２ａに開口する排気口２２ｄには、両排気口２２ｄ同士で共通化された排気通路２５が連通している。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置に腐食性ガスを供給する際に，被処理基板に対する金属性汚染物質の混入を極力抑える。
【解決手段】 複数の流体制御機器（ハンドバルブ２３１，減圧弁（レギュレータ）２３２，圧力計（ＰＴ）２３３，逆止弁２３４，第１遮断弁２３５，第２遮断弁２３６，マスフローコントローラ（ＭＦＣ）２３７，ガスフィルタ（ＦＥ）２３８）を備え，これらを接続する流路を構成する流路ブロック２４１〜２４９を非金属の炭素材料で構成した。 （もっと読む）