【課題】開閉弁内部における液体の流れを蛇行させることなく、液体の圧力損失を低下させ、開閉弁の流路内に残留した液体を短時間で効率的に洗浄し得るようにする。
【解決手段】開閉弁は第１のポート１１と第２のポート１２とを連通させる連通室３６が形成された弁体収容ブロック１０を有し、弁体収容ブロック１０の弁体収容孔１３内には両方のポート１１，１２を連通状態と遮断状態に切り換える弁体１６が設けられている。第１のポート１１は連通室３６を形成する円錐面形状の円錐弁座面３４ａに開口しており、第２のポート１２は円錐弁座面３４ａよりも大径側部分で連通室３６に連通する。弁体１６と連通室３６の開口端との間はダイヤフラム３９によりシールされている。 （もっと読む）

【課題】ねじ締結によりアクチュエータ部をボディ等と固定した流体制御弁において、ねじの緩みの進行を阻止しつつ、当該流体制御弁の組付け時や分解時の作業性を向上することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】薬液弁は、カバー、シリンダ、ボディ３０及び取付板５０にボルト６０が挿通する貫通孔２０Ｈ，３０Ｈが形成され、カバーには、貫通孔２０Ｈと連通すると共に、ボルト６０の頭部を支持し収容する第１凹部が形成されていること、第１凹部の開口を閉塞すると共に、第１凹部を形成する内周面とボルト６０の頭部とに対し、弾性変形した状態で密着することにより、ボルト６０の締結力の緩みを防止する頭部側キャップ４０を設けている。 （もっと読む）

【課題】 カバー部材の軸方向長さを短くでき、ユニットの小型化を図ることができる油圧ユニットを提供する。
【解決手段】 内部に油路が形成されたハウジング2と、ハウジング2に形成され油路を断接するソレノイドバルブ4が装着されるバルブ装着孔17と、ヨーク11内に設けられソレノイドバルブ4を駆動するコイル10と、ハウジング2に取り付けられ内部にヨーク11を有するECUカバー本体3と、ヨーク11をECUカバー本体3に対して付勢し、ヨーク11とバルブ装着孔17の内部に位置する内縁部31aとの間に縮設されたコイルスプリング28と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】部品点数を少なく抑えた簡単な構造で、制御ボディに対するソレノイド弁の取付作業の効率化を図る。
【解決手段】柱状の本体部３０ｂと、該本体部３０ｂと同軸状に連なる軸状の弁部３０ａとからなるソレノイド弁３０を制御ボディ１０に取り付ける取付構造であって、本体部３０ｂの外周面３１に設けた突起状のコネクタハウジング３２に形成した爪部３５と、制御ボディ１０の突出部１５に設けた溝部２５とからなる係合機構５０を備え、係合機構５０の爪部３５が溝部２５に弾性的に係合することで、制御ボディ１０に対するソレノイド弁３０の固定がなされるようにした。 （もっと読む）

【解決手段】マイクロ流体弁アクチュエータ装置と、流体分配マニホルドと、マイクロ流体ＰＯＤ装置とを備えるマイクロ流体弁システムが提供されている。ＰＯＤ装置は、ハウジングの遠位取り付け端からハウジングの近位部分までびる内部中央通路を規定するＰＯＤハウジングを備える。ＰＯＤ装置は、さらに、内部中央通路に配置された固定子装置を備えており、固定子装置は、遠位取り付け端の開口部と協働してガスケット収容部を規定する遠位固定子面を備える。比較的薄いエラストマガスケット部材が、固定子とマニホルドの連通面との間で両者に接触してハウジングのガスケット収容部に配置される。こうして、固定子装置のそれぞれの固定子連通ポートとマニホルドの対応するマニホルド連通ポートとの間に、流体密シールが形成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で部品点数を増加させず、かつ取付工程を簡素化しながらも、ボディに対する抜け止め及び回り止めを施した状態での弁体の取り付けを行う。
【解決手段】取付面１１を有する制御ボディ１０と、取付面１１上で該取付面１１に沿う向きに開口する挿入穴１３と、挿入穴１３に挿入されて回転可能に収容されるソレノイドバルブ３０と、取付面１１上でソレノイドバルブ３０挿入方向に対して交差する方向に延びるスリット部１５と、ソレノイドバルブ３０のスリーブ３１に形成した切込溝３５と、挿入穴１３内のソレノイドバルブ３０を係止するためのステイ２０と、を備え、挿入穴１３に挿入したソレノイドバルブ３０を回転させて、切込溝３５をスリット部１５側に向けて、スリット部１５に差し込んだステイ２０を切込溝３５に係合させることで、ソレノイドバルブ３０の抜け止め及び回り止めを施すようにした。 （もっと読む）

【課題】流体機器を簡単に着脱でき、流体機器群を簡単に変更及び追加できるとともに、配管接続のために流体機器の位置を調整できる流体機器固定装置を提供する。
【解決手段】首部材１１及びその下方に設けた台座本体１２からなり、前記流体機器５の底面の下方に取り付けられた台座部材１と、前記ベース２２上に上下動可能に配置され、上下に貫通する貫通溝が形成されたレール部材２と、前記レール部材２又は前記台座部材１を上下方向に付勢する付勢機構３とを具備し、前記首部材１１を前記貫通溝に挿通させるとともに前記台座本体１２を前記レール部材２と前記ベース２２との間に挿入した状態において、前記付勢機構３を動作させると前記レール部材と前記台座本体とが押し付けられて当該台座部材１が固定される一方、前記付勢機構３の動作を解除すると当該台座部材１が前記貫通溝に沿って移動できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】コストを掛けずに、流路内をパージすることができる液体集積ユニットを提供すること。
【解決手段】第１入力流路２１０、第１出力流路２２０、第２入力流路２３０、第２出力流路２４０、及び、主流路２００が流路ブロック２に形成されていること、第１開閉弁３及び第２開閉弁４は、流路ブロック２に取り付けられていること、第２出力流路２４０は第１出力流路２２０よりも出力ポート５に近い側にあること、第１開閉弁３は、流路内の液体をパージするための気体を供給すること、第２開閉弁４は、液体を供給すること、流路ブロック２に、第１出力流路２２０と第２出力流路２４０を連通する気体流路２５０が連通していること、気体流路２５０は、主流路２００よりも、第１開閉弁３及び第２開閉弁４に近い位置に形成されていることにより、流路内の残液を低減できる。 （もっと読む）

【課題】ガス化用材料等の処理体を気化又は昇華させて供給でき、集積弁を集積化した状態で取付けて取付け強度を確保しつつ内部流路の容積を小さくし、かつ、内部への処理体の残留を防ぐことができる材料収納容器を提供する。
【解決手段】処理体収納容器と処理体充填容器一体型ブロックバルブは、処理流体を充填した容器本体１の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤２とし、この実装基盤２の肉厚部７内に容器本体１内に連通させた処理流体の供給部８と排出部９を有している。この供給部８と排出部９の接続シール面１１には、平面マウント用バルブである集積弁４、５が直接取付けられている。 （もっと読む）

【課題】複数のリニアソレノイドバルブや方向切換弁等を効率的に配設して、より一層小型・軽量化を達成すること。
【解決手段】上ボディ１２ａの一側面側２２ａに、フランジ部２４及びスプール取着孔２６が設けられ、他側面側２２ｂに、隣接するフランジ部２４間に沿って延在する三方弁取着孔４０が設けられ、このスプール取着孔２６及び三方弁取着孔４０は、互いに上ボディ１２ａの軸線と直交する方向でオーバーラップするように配設され、リニアソレノイドバルブ１４ａ〜１４ｄには、ダンパ油室６２に連通するオリフィス７０が設けられ、三方弁１６ａ〜１６ｃには、圧油を排出するドレンポート８２が設けられ、前記リニアソレノイドバルブ１４ａ〜１４ｄのオリフィス７０と前記三方弁１６ａ〜１６ｃのドレンポート８２は、上ボディ１２ａに形成された第４油路１１２ｄによって連通すると共に、同一直線上（一点鎖線Ｌ上）に配置される。 （もっと読む）

【課題】ボディを複数個分割して積層した場合であっても、所望の強度を確保すると共にシール性を良好とすること。
【解決手段】上ボディ１２ａの一側面側２２ａに取着される複数のリニアソレノイドバルブ１４ａ〜１４ｄと、上ボディ１２ａの他側面側２２ｂに取着される複数の三方弁１６ａ〜１６ｃと、下ボディ１２ｂに設けられ、複数のリニアソレノイドバルブ１４ａ〜１４ｄから出力された流体の流れを切り換える一対のシフト弁８６ａ、８６ｂとを備え、一対のシフト弁８６ａ、８６ｂは、下ボディ１２ｂの軸線Ｔ５方向に沿って同軸状に配置され、一対のシフト弁８６ａ、８６ｂの軸線Ｔ４は、リニアソレノイドバルブ１４ａ〜１４ｄの軸線Ｔ１及び三方弁１６ａ〜１６ｃの軸線Ｔ２に対して略直交するように配置される。 （もっと読む）

【課題】複数のリニアソレノイドバルブや方向切換弁等を効率的に配設して、より一層小型・軽量化を達成すること。
【解決手段】上ボディ１２ａの一側面側２２ａに、外方に向って突出する複数のフランジ部２４及び前記フランジ部２４に連接して形成されたスプール取着孔２６が設けられ、一側面側２２ａと対向する上ボディ１２ａの他側面側２２ｂに、隣接するフランジ部２４間に沿って延在する三方弁取着孔４０が設けられ、このスプール取着孔２６及び三方弁取着孔４０は、互いに上ボディ１２ａの軸線と直交する方向でオーバーラップするように配設され、上ボディ１２ａの他側面側２２ｂの上面には、収納段部４２が設けられ、さらに、上ボディ１２ａの軸方向でフランジ部２４の隣接する部位には、薄肉部３４が形成される。 （もっと読む）

【課題】出口ポート側で塗布液が多く残ってしまうのを防ぐことができるバルブを備え、塗布液同士が混ざってしまうのを防ぐことができる塗布装置を提供する。
【解決手段】第一弁体５３が第一流路３５を閉塞することにより、第二流路３６と第三流路３７とが繋がった状態となる。第一弁体５３は、第一流路３５を閉塞した状態で、第二流路３６から第三流路３７へと塗布液が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねる。また、第二弁体５４が第二流路３６を閉塞することにより第一流路３５と第三流路３７とが繋がった状態となる。第二弁体５４は、第二流路３６を閉塞した状態で、第一流路３５から第三流路３７へと塗布液が流れるバルブ内流路の内壁の一部を兼ねている。 （もっと読む）

本発明は、マニホルドハウジング及びマニホルドコアを含むマニホルドシステムに関する。マニホルドコアが挿入されるマニホルドハウジングの内部の斜めの面を使用し、マニホルドハウジング内の流体チャネルを対応して適応させることによって、このようなマニホルドハウジングが、アンダカットを有することなくマニホルド注型によって製造可能である。つまり、このようなマニホルドハウジングの製造中のスライダの使用が回避される。マニホルドハウジングとマニホルドコアとの間にシールを形成するために（例えば器具によって）外部の力を加える必要がなくなる。
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【課題】拡張可能な液体又は気体分配システムが必要である。
【解決手段】空気分配システムは、端部キャップ１０２と、ベース／ソレノイド組立体１０４，１０６と、入口部品１０８と、入口接続具１１０と、出力ポート接続具１１２，１１４と、ソレノイド電気制御線１１６，１１８とを備えている。端部キャップ１０２は、取り外し可能にベース／ソレノイド組立体１０４に連結されている。ベース／ソレノイド組立体１０４は、取り外し可能にベース／ソレノイド組立体１０６に連結されている。入口部品１０８は、取り外し可能にベース／ソレノイド組立体１０６に連結されている。入口接続具１１０は入口部品１０８に取り付けられている。出力ポート接続具１１２，１１４は、ベース／ソレノイド組立体１０４及び１０６に取り付けられている。ベース／ソレノイド組立体１０４及び１０６は、共通の部品から成り、基本的に同一である。 （もっと読む）

【課題】空気圧により多数のアクチュエータを操作する分岐装置において、簡単に拡張増設が可能な構造のベース／ソレノイド組立体を提供する。
【解決手段】ベース／ソレノイド組立体１０４，１０６のベースには支持面を有し、一方の支持面にオスコネクタを配置し、反対側の支持面にメスコネクタを配置すると共に、オスコネクタにシール部材を介してメスコネクタを接続固定可能とする。また、各コネクタ接続面には被制御流体の通路が開口され、前記メスコネクタと前記オスコネクタの接続と同時に被制御流体通路も接続可能とする。 （もっと読む）

【課題】複数の開閉弁が設けられたブロックの幅を縮小することができるとともに製造が容易であるガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１の流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、上面２０ａに複数の開閉弁５０が直列に搭載されている。各開閉弁５０の各弁室２４が流路ブロック２０の上面２０ａに設けられている。プロセスガス流路２２は、弁室２４の略中央に連通されるとともに流路ブロック２０の上面２０ａから離間する方向へ延びて下面に開口している。キャリングガス流路２１は、隣り合う開閉弁５０の弁室２４を接続しており、流路ブロック２０の両側面２０ｃの一方の側面２０ｃと他方の側面２０ｃとに、流路ブロック２０の長手方向に沿って交互に設けられた側面流路２５を含んでいる。側面流路２５は、流路ブロック２０の長手方向に沿って延びる溝部と溝部の溝開口を覆う蓋部材とにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】流路を流通するガスを加熱するヒータを備えるガス供給装置において、その小型化や高集積化を可能とする。
【解決手段】ガス供給装置１０において、各流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、開閉弁５０が複数搭載された上面２０ａを有している。開閉弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。複数の流路ブロック２０は、上面２０ａを幅方向から挟む両側面２０ｃ同士が隣り合うように並列に配列されている。複数の流路ブロック２０の隣り合う側面２０ｃにヒータ３１が挟み込まれた状態で、複数の流路ブロック２０が一体化されている。ヒータ３１はフィルム状に形成され、その両面が流路ブロック２０の側面２０ｃに対向して流路ブロック２０の長手方向に沿って延びている。 （もっと読む）