【課題】
【解決手段】拡張可能な気体又は流体バルブのためのシステム及び方法が開示されている。該バルブは、一面にオスコネクタを有し、対向する面にメスコネクタを有する電磁スイッチを備えている。該電磁スイッチは、前記オスコネクタと前記メスコネクタとを連結する通路（１１２８）を有している。出力ポート（１１６９）が、前記電磁スイッチにより前記通路（１１２８）に切り替え可能に連結される。一面上の前記オスコネクタは、別の電磁スイッチのメスコネクタに連結可能であり、電磁スイッチの接続列又は一連の接続を形成する。 （もっと読む）

流体流れ制御装置は、少なくとも１つの入口孔から少なくとも１つの出口孔への流体の流れを制御する。支持部は、剛体の、非可撓性の部分、前記剛体部分から延びる少なくとも１つの枢動可能な比較的に剛体の、非可撓性の折り畳まれたアーム部分、前記支持部に対し相対的に移動するために折り畳まれたアーム部分に連結された、少なくとも１つの表面、および４０％未満の動作損失で枢動可能な折り畳まれたアーム部分を駆動するために動作可能に配置される剛体の、非可撓性の力伝達部材を含む。電気的に動作するアクチュエータは、アクチュエータの電気的作動に応答して、前記折り畳まれたアーム部分を枢動させるように、前記剛体部分と力伝達部材の間に動作可能に係合する。マニホールドは、少なくとも１つのバルブシートと連通し、閉位置と開位置の間を移動するための少なくとも１つの対応するバルブ本体に対して動作可能、係合可能な流体通路を含む。
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【課題】 高集積化により配管機器を搭載できる集積化ガス制御装置である。制御装置本体を小型化することにより半導体製造装置などの製造装置に搭載した場合に、製造装置全体のフットプリント性を向上させることができる集積化ガス制御装置である。
【解決手段】 ガス流路１２を有する流路プレート１３の表裏面１３ａ、１３ｂに当該流路に連通する開口部１４を複数個あけ、これらの開口部１４は流路プレート１３の表裏面１３ａ、１３ｂに沿って千鳥状態に配設すると共に、開口部１４にそれぞれ配管機器１００を流路プレート１３の表裏面１３ａ、１３ｂを挟持するように配置した集積化ガス制御装置である。 （もっと読む）

【課題】 小型で安価なガス供給湯ユニット及びガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 作用ガス搬送管路上に配設されるものであり、複数の流体制御機器２〜６，９が流路ブロック１２〜１７を介して連通して作用ガスを制御するガス供給ユニット１１Ａにおいて、複数の流体制御機器に含まれる入口開閉弁４を一側面に取り付けられる第１流路ブロック１４と、複数の流体制御機器に含まれるパージ弁９を一側面に取り付けられる第２流路ブロック１７とを有し、第１流路ブロック１４と第２流路ブロック１７を作用ガスの搬送方向に対して垂直方向に積層し、入口開閉弁４とパージ弁９を、作用ガス搬送管路上に配設されたマスフローコントローラ５とユニット１１Ａを取り付ける取付面との間に配設する。 （もっと読む）

【課題】 マニホールドベースに対する管継手の取り付けと該マニホールドベースの設置場所への固定とを、従来より少ない部品数で簡単に行うことができるマニホールドベース組立体を得る。
【解決手段】 一括供給用及び一括排出用の流体流路８Ａ，８Ｂ，８Ｃと電磁弁を搭載するための弁搭載部７とを有するマニホールドベース３の両端部３ａ，３ｂに、それぞれ、複数の管継手５を取り付けると共に、エンド金具４，４を取り付け、これらのエンド金具４に、上記マニホールドベース３を所定の設置場所に支持するための支持用部材と、上記管継手５を該マニホールドベース３に係止させるための係止用部材とを兼用させる。 （もっと読む）

【課題】 圧力が２０〜３０ＭＰａにも達する高圧流体の制御に用いる場合に、流体通路の通路断面積を十分に確保しながら、流体の漏洩を完全に防止することができる、特に大型のロジックプレートを提供すること。
【解決手段】 溝を有する溝板部材と該溝を覆って閉塞通路を形成する蓋板部材とを備えたロジックプレートにおいて、前記蓋板部材は前記溝板部材に沿って摩擦攪拌接合され、前記蓋板部材の上に機器が該蓋板部材を挟んで前記溝板部材に取付けられて該機器により前記通路に面する蓋板部材部分が補強される部分以外の通路に面する蓋板部材部分の上に補強板部材を前記蓋板部材を挟んで前記溝板部材に連結手段で連結した。 （もっと読む）

【課題】 取り付けられた任意の流れ制御構成要素間に流体の流れを画成するチャンネルが設けられた取り付けパネルを含む、新規な流体送出システムを提供する。
【解決手段】 取り付けパネルはトッププレート及びボトムプレートを含み、チャンネルはトッププレートの下側を延びており、ボトムプレートによって包囲される。多くの流体チャンネルを持つ複雑な流体送出システムでは、取り付けパネルは一つ又はそれ以上の内部パネルを含んでもよく、追加のチャンネルがこれらの内部パネルの外に延び、追加の経路を形成する。チャンネルは、二つ又はそれ以上のガス／チャンネルスティックを互いに連結するため、二つ又はそれ以上の方向に延びている。
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【課題】 圧力が２０〜３０ＭＰａにも達する高圧流体の制御に用いる場合に、流体通路の通路断面積を十分に確保しながら、流体の漏洩を完全に防止することができるロジックプレートを提供すること。
【解決手段】 溝を有する溝板部材と該溝を覆って閉塞通路を形成する蓋板部材とを備えたロジックプレートにおいて、前記蓋板部材を前記溝板部材の溝に沿って接合し、該蓋板部材の上面に補強部材を連結手段で取付けて高圧流体用のロジックプレートを構成した。また、溝を有する溝板部材と該溝を覆って閉塞通路を形成する蓋板部材とを備えたロジックプレートの蓋板部材同士を合わせて連結することにより２層の高圧流体用の２層ロジックプレートを得る。さらに該２層ロジックプレートの溝板部材の背面に溝を有する溝板部材と該溝を覆って閉塞通路を形成する蓋板部材とを備えたロジックプレートの蓋板部材を合わせて連結することにより補強板部材を設けることなく高圧流体用の多層ロジックプレートを得る。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体を一方向のみに輸送し、逆流しないマイクロバルブを提供する。
【解決手段】 流体注入用の開口部が下壁に形成され、流体排出用の開口部が側壁に形成されているバルブ室内に板状の浮遊弁体が収納されており、該開口部及び浮遊弁体の形状及び大きさは、該浮遊弁体が下壁に接地した際は流体注入用の開口部を閉鎖し、側壁に接した際は流体排出用の開口部を閉鎖せず且つ浮遊弁体が流体排出用の開口部内に流入しない形状及び大きさであることを特徴とするマイクロバルブ。 （もっと読む）

【課題】 クリープの影響を受けにくい構造とすることで機器同士を締結するネジが緩むことなく、しっかりとシールする流体用機器の取り付け構造。
【解決手段】 バルブ部４の流路ブロック９をマニホールドベース３に取り付ける取り付け構造では、バルブ部４の流路ブロック９に、ボルト取付孔３４を有するプレート状のボルト取り付け部材３５が形成されるとともに、マニホールドベース３内に、ボルト３０が螺合する雌ネジ３１が形成されたプレート状のボルト受け部材３２が設けられている。また、マニホールドベース３の接続面には、ボルト取付孔３４に対応する位置にボルト３０が挿通される挿通孔３３が形成されるとともに、雌ネジ３１が挿通孔３３に対応する位置に配置されている。そして、ボルト受け部材３２が流路ブロック９及びマニホールドベース３を構成する樹脂よりも温度変化による寸法変化およびクリープ特性が小さい材質で形成されている。 （もっと読む）

【課題】燃料電池システムにおいて、反応ガス及び／又は残留水を外部へと排出する弁装置の構造を簡素化するとともに、耐久性を向上させる。
【解決手段】燃料電池用集積型弁装置１０を構成するバルブボディ１６は、例えば、アルミニウムからなり、第１電磁弁部１２及び第２電磁弁部１４は、該バルブボディ１６を共有する。このバルブボディ１６の前端面に反応ガス及び／又は残留水が導入される導入ポート３４が設けられ、後端面に導出ポート３６が設けられる。すなわち、導入ポート３４及び導出ポート３６は、第１電磁弁部１２及び第２電磁弁部１４に共通である。バルブボディ１６には、さらに、内室３８近傍を通過する温媒通路が設けられている。また、バルブボディ１６の内部に連結された弁座部材１８は、例えば、ステンレス鋼からなる。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図ることができるガス供給集積ユニットを提供すること。
【解決手段】 供給ガスの搬送管路上にあって、マスフローコントローラ４及びそれ以外の流体制御機器３を備えて供給ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニット１において、流体制御機器３及びマスフローコントローラ４の下部に配設され、供給ガスを入力する供給ガス入力ポート２４と、パージガスを入力するパージガス入力ポート２５と、供給ガス又はパージガスを出力する共通出力ポート２６とが上面に開口しており、パージ弁３を取り付けるための取付開口部２１が側面に開設されて供給ガス入力ポート２４とパージガス入力ポート２５と共通出力ポート２６とにそれぞれ連通する流路ブロック６Ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】 油圧モータに弁付きマニホールドユニットを取り付け、弁が内蔵されたマニホールドブロックに複数の配管ポートを設けることにより、部品点数を減少すると共に配管構造を簡素にして、組み立て時間の短縮化を図る。
【解決手段】 油圧モータ５に、マニホールドブロック３１が取り付けられ、該マニホールドブロック３１には、油圧モータ５を一方向に回転させるチェック弁４０等の弁が設けられ、マニホールドブロック３１には複数の配管ポートＭＢ１、ＭＢ６を設けている。 （もっと読む）

【課題】 安価で軽量なガス供給集積ユニットを提供すること。
【解決手段】複数の流体制御機器５を取付ボルト１４を用いて取付板９に固定することにより作用ガスの供給ライン上に並設し、作用ガスの供給又は遮断を制御するガス供給集積ユニット１において、流体制御機器５の下面に開口するポートに接続する接続ポート３４，３５が上面に開設されるとともに、接続ポート３４，３５に連通する内部流路３６が形成された流路ブロック１０Ｂと、流路ブロック１０Ａ，１０Ｂの外側に配設され、取付ボルト１４を挿通されるネジブロック１５とを設け、ネジブロック１５に挿通した取付ボルト１４を取付板に固定したときに、流路ブロック１０Ｂを流体制御機器２〜８と取付板９との間で狭持する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、圧力損失を小さくでき、極長の流路を形成でき、複雑な流路が形成でき、軽量化が図れる流路ブロックと、その製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の流路ブロック１は、貫通孔２１と貫通孔２１に連通する溝２２が形成されるブロック本体１１と、溝２２を覆う蓋部材１２とを有するので、切削工具で溝２２の深さや幅を調整することで圧力損失を小さくでき、切削工具にて溝２２を長く形成して蓋部材１２により溝２２を覆うことにより極長の流路を形成でき、切削工具にて溝２２を自由自在に形成できるので複雑な流路が形成でき、かつブロック本体１１の板厚を小さくでき軽量化が図れる。 （もっと読む）

【課題】 部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクト化が果たされた集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供する。
【解決手段】 センサ付き継手部材10は、隣り合う流体制御機器16,20の下端開口同士を接続するＶ字状通路41aが形成された通路ブロック41と、通路ブロック41の側面に設けられた圧力センサ42とを備えている。通路ブロック41には、Ｖ字状通路41aから分岐して圧力センサ42に通じる分岐通路41bが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 マニホールドベースに配線ダクトを備えながら、対向する２つの側面に出力ポートを選択的に設置可能とした電磁弁マニホールドを提供する。
【解決手段】 電磁弁１６ａ，１６ｂの動作に基づいて給気及び排気を行う複数の通気孔２２ａ，２２ｂと、通気孔２２ａ，２２ｂに連通する複数の出力ポート７ａ，７ｂと、電磁弁１６ａ，１６ｂに励磁信号を供給する配線基板２１を収容する配線ダクト２０とをマニホールドベース８に備えた電磁弁マニホールドにおいて、通気孔２２ａ，２２ｂを、配線ダクト２０の下方において、マニホールドベース８を貫通するように設け、出力ポート７ａ，７ｂは、マニホールドベース８の両端面のいずれかを選択して取着可能とした。 （もっと読む）

本発明は、表面に設置される２つ以上の流体構成要素と流体連絡するための流体マニホルドシステムにおいて使用するための、架橋取付具を提供する。この流体構成要素は、入口ポートおよび隣接する出口ポートを有する。本発明はまた、第二のポートに接続された第一のポートを有するハウジングを提供し、中間流体通路が、これらの第一のポートおよび第二のポートを連結しており、そして少なくとも１つの突出部が、このハウジングから延びている。架橋取付具は、この突出部を受容するための溝および整列する穴を有するチャネルブロック内に設置され得る。本発明の別の実施形態は、モジュラー式の表面設置逆止め弁を提供し、この逆止め弁は、設置フランジが接続された弁体を有し、このフランジは、実質的に平坦であり、そしてこのフランジの中心に位置する入口通路、およびこの入口通路に隣接して位置する出口通路を有する。
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【課題】流路上に滞留部がなく、ガス置換を短時間で行うことができる流路ブロック構造を提供すること。
【解決手段】第１流路ブロック６には、取付孔８と、プロセスガス出力流路１１と、第１ポート１２と、プロセスガス入力流路１３と、パージガス入力流路１９とを設ける。パージ弁入力流路１９は、第２流路ブロック７と対向する側面から供給弁２の弁部付近に向かって穿設し、プロセスガス出力流路１１に連通させる。一方、第２流路ブロック７には、取付孔２０と、第２ポート２１と、パージガス出力流路２５と、パージ弁出力流路２４と、第３ポート２７と、出力流路２６とを設ける。第１流路ブロック６と第２流路ブロック７は、パージガス入力流路１９とパージ弁出力流路２４、及び、プロセスガス出力流路１１と共通出力流路２６とを相互に連通させるように連結し、流路ブロック構造５とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、徹底した軽量化の実現を図るとともに、ガスの圧力損失を少なくでき、また、製作費が安く、かつ施工性も優れる効果を備え、かつ汎用性のあるガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、以下の特徴を有する。（１）ガスの流れを制御するモジュールと、モジュールが搭載されるベースと、を有するガス供給集積ユニットにおいて、板状受け部３４とＵ字配管部３５とからなるＵ字配管部材１２を有すること。（２）モジュールとＵ字配管部材１２との間に配設され、ボルト３２によりベースに締結されるテンプレート１３を有すること。（３）テンプレート１３には、ベースとの締結部１３ａとＵ字配管部材１２の位置決め部１３ｂとからなる略コの字型断面が形成されていること。（４）ベースとして、レール１１を使用すること。 （もっと読む）