【課題】プラズマを安定させ、シール部材の劣化を防止することができるプラズマ処理装置のシール構造を提供する。
【解決手段】プラズマ発生室２の開口部をシールするゲートバルブは、バルブ弁体１６と、バルブステム１７と、バルブ弁体１６とプラズマ発生室２の隙間を密封する環状のシール部材１１、１２と、を備える。シール部材１１はプラズマ発生室２側にあり、直接プラズマ雰囲気に触れる。シール部材１１とシール部材１２とは接しておらず、間隙Ｓが存在する。バルブ弁体１６は、シール部材１１の長手方向に沿って複数のガス溝１３がある。ガス溝１３は、シール部材１１の長手方向にほぼ直交する方向にあり、間隙Ｓとプラズマ発生室２を連通している。プラズマ発生室２の壁に、間隙Ｓにガスを注入するガス注入通路１４が設けられる。シール部材１１の長手方向に沿って連続する凹部１５を備え、ガス注入通路１４のガス排出口と凹部１５を連結する。 （もっと読む）

ゲートバルブは、バルブ本体内部で開放位置と閉鎖位置との間を移動可能なゲートと、ゲートの互いに反対側の外側シール面間のイコライザポートを規定する、ゲートに設けられた壁と、を有している。イコライザポートは、ゲートの作動によって、閉鎖位置と開放位置との間、および開放位置と閉鎖位置との間を移動できるように構成および配置されている。
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【課題】流量制御弁１００において、回転軸５２の回転に伴ってＯリング９０が回転することを止める。
【解決手段】流量制御弁１００において、上側ハウジング４０ａに突起部１０１が設けられており、Ｏリング９０には、穴部９１が設けられている。突起部１０１が穴部９１に入っている。このため、駆動部５が弁５を駆動した際には、上側ハウジング４０ａの各突起部１０１が、回転軸５２の回転に伴ってＯリング９０が回転することを止めることができる。このため、上側ハウジング４０ａに対してＯリング９０が摺動することが未然に抑制されるので、異音の発生を未然に防止できる。 （もっと読む）

ソレノイドバルブは、ハウジング内に収容されるスプールを含む。スプールはハウジング内で複数の位置に移動するようになっている。ハウジングは、供給ポートと排出ポートと、出口ポートと、を含む。スプールが所定の場所にあるとき、2つの出口ポートが互いに対して流体連通している。

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【課題】流量制御スプールの不用意な動作を招来することなくその応答性を確実に向上させること。
【解決手段】流量制御スプール３０のリテーナ部３０Ｍに圧力室３３を構成し、圧力室３３に絞り４０を通過した後のパイロット圧を導入するパイロット油路３３，３５を設けるとともに、流量制御スプール３０を他端部側に向けて押圧するスプールバネ３４をパイロットケース３１に収容させ、リテーナ部３０Ｍにおいて圧力室３３とパイロット油路３３，３５との間を常時連通する部位に設けた絞り油路５０と、リテーナ部３０Ｍとパイロットケース３１の内壁面とが互いに摺接する部位に切欠６１を設けることによって開口面積が絞り油路５０よりも大となる連絡油路６０とを備え、流量制御スプール３０の動作による入力ポート１５と出力ポート１６との間の開口面積が曲折点Ｘをもって変化する領域においては連絡油路６０を閉塞している。 （もっと読む）

【課題】 セラミック特性を最大限有効に活用して弁開閉操作を円滑かつ軽快にできるとともに、維持管理の簡略化、メンテナンス費用の低減化を図りつつ、長期間に亘る繰り返し使用にも所定のシール性能、止水性能を安定よく確保できる開閉弁を提供する。
【解決手段】 流入口２及び流出口３を有する筒状弁本体４内の通水方向に間隔を隔てて互いに平行に固定された一対のセラミック製固定ディスク５Ａ，５Ｂ間にそれらの相対向面に両面が密接する状態でセラミック製可動ディスク６を挟み込み保持させてなり、この可動ディスク６を弁本体４の軸心ａ周りに回転操作して両ディスク５Ａ，５Ｂと６とを相対回転させることにより弁孔同士が重合されて流入口２と流出口３とが連通する開弁状態と、弁孔同士が非重合とされて流入口２と流出口３との連通が遮断される閉弁状態とに切替可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 スプール移動量が小さい場合であってもドレン流量を確保したポンプの流量制御弁を提供する。
【解決手段】 ドレン孔が閉塞された状態から開放された状態に移行する際、ドレン孔外縁部上で最初に開放される点をドレン開始点とし、ドレン孔の最大径の１／２の値をｒとし、ドレン孔の遮断状態から開放状態に移行する際にスプールが移動する方向を開放方向とし、ドレン開始点から、開放方向に向かって距離ｒの点をＡ点とし、Ａ点を中心として半径ｒの円周上であって、Ａ点からドレン開始点とを結ぶ直線から両側に４５°の方向の点をＢ１点、Ｂ２点とし、Ｂ１点、Ｂ２点は、ドレン孔外縁部よりも内周方向にあることとした。 （もっと読む）

バルブ本体と、バルブ本体上に設けられた媒体が流れるための貫通する通路と、前記通路と相互に交わる錐形のバルブ室と、バルブ室中に回転可能に設けられた、バルブが閉じた状態で前記通路を遮断するための円錐形バルブコアと、バルブコアを回転させるためのバルブレバーと、バルブコアの底部とバルブ室との間に設けられたスプリングと、バルブ本体の上端に設けられたバルブ蓋と、を有し、前記バルブコアはバルブ室で上下移動可能な浮動式円錐回転プラグバルブコアであり、バルブコアの上端のトルク制限スライダーとトルク伝達ピンを有する回転伝動スリーブがバルブレバーの外側に設けられ、トルク制限スライダーとトルク伝達ピンとがトルク制限器を構成し、回転伝動スリーブとバルブレバーとの間には、回転可能なねじ山と組み合わされた伸縮インナースリーブが設けられ、伸縮インナースリーブの外側には伸縮アウタースリーブが設けられることを特徴とする、浮動式円錐回転プラグバルブ。本発明は1つの作動機構の一方向への回転だけで、バルブコアをまず上方向に持ち上げ、一定の角度を回転させ、押し下げ、密封することができる。また、バルブ室とバルブコアとの密封面に潤滑膜が不要で、回転摩擦及び磨耗がなく、または磨耗が小さく、密封性がよく、構造が簡単である。 （もっと読む）

【課題】改良されたバングアダプタ、本体受容体および、分配本体を含む分配ヘッドアセンブリを提供すること。
【解決手段】バングアダプタ２００はドラムに挿入される。本体受容体３００はバングアダプタ２００に選択的に挿入され、そして分配本体５００は本体受容体３００に選択的に挿入される。単一の、閉塞の無い、均一直径の流路は、ドラムから本体受容体３００内部のチャンバー５６０内へと、流体を方向付ける。チャンバー内の可動ピストン７００は、流体流路と分配本体５００上の分配開口部との間の流体流を選択的に遮断する。本体受容体３００および分配本体５００は、安全かつ迅速な連結および離脱のために、キーが一致する。 （もっと読む）

【解決手段】 流体用筐体（５）と、流体用筐体（５）の内部に設けられている少なくとも１つの切替部材（６）と、流体用筐体（５）の外部に設けられているアクチュエーション手段（７０）とを備えるスイッチングバルブ（１００）であって、アクチュエーション手段（７０）は、流体用筐体（５）に衝撃状の力を与えることによって、切替部材（６）にパルス状に力を伝達させて、切替部材（６）を第１の位置（９１）から第２の位置（９２）へと移動させ、切替部材（６）は、第１の位置（９１）において、流体用筐体（５）を通る流路（３、４）の第１の流体状態を定め、切替部材（６）は、第２の位置（９２）において、流体用筐体（５）を通る流路（３、４）の第２の流体状態を定めており、第１の流体状態および第２の流体状態は、互いに異なるスイッチングバルブ（１００）を提供する。 （もっと読む）

【課題】フィルタ組立体用の通気ポート及びドレンポートを通る流れを制御するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ１２は、全体として円形断面を有する通路４６を取り囲む、環状スリーブ４９を有し、スリーブを一の方向に移動するとバルブが開放し、スリーブを一の方向とは逆の方向に移動するとバルブが閉鎖するように構成される。また、通路４８がバルブ部材４３を含み、前記スリーブを移動することによって、前記バルブ部材が前記通路を通る流れを可能にする、第１の位置と、前記バルブ部材が前記通路を通る流れを阻止する、第２の位置との間で、前記バルブ部材を移動させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】供給されるアセンブリの必要量に容積式ポンプの送達量を柔軟かつ正確に適合させること、およびアセンブリへの十分な供給を常に確実にすること。
【解決手段】容積式ポンプの送達量を調節する調節バルブであって、該調節バルブは、バルブケーシングと、バルブピストンであって、該バルブピストンが、該バルブケーシングの中で動かされ得るように、該バルブピストンは据え付けられており、該バルブピストンは、流体のバルブ作動圧に対する作用表面を備えている、バルブピストンと、バルブスプリングであって、該バルブスプリングは、該バルブピストンにおける該バルブ作動圧によって及ぼされる力に反作用する、バルブスプリングと、調節デバイスであって、該調節デバイスによって、該バルブピストンは、該バルブ作動圧によって及ぼされる力の方向に、または反対方向に調節される、調節デバイスとを備えている、調節バルブ。 （もっと読む）

【課題】
切換え弁１０自体に、過剰な圧力を外部に逃がすセフティバルブ機能をもたせる。
【解決手段】
切換え弁１０は、内部通路４１０およびその内部通路４１０を筒の外側に連絡するポート４３０を含む筒状部材４００と、その筒状部材４００の外周にはまり合うリング型のピストン６００と、一対のシールリング６１０，６２０を含むシール手段とを備える。切換え弁１０は、軸線方向に見てシール手段がポート４３０のいずれの側をシールするかに応じてポート４３０を経由する流路を切り換える。筒状部材４００は、ポート４３０を越えた特定の位置に、凹部７００（シール無効部分）をもつ。内部の圧力が過剰になるとき、シール手段がシール無効部分に達し、シール手段によるシール機能を無効にし、過剰な圧力を外部に逃がすことができる。 （もっと読む）

【課題】回転弁体の回転トルクをモニタすることで微少な回転異常を検出可能とする。
【解決手段】流体を供給または排気する切替用通孔１０６，１０７を有し相対回転する回転弁体１００において、回転する移動弁体１０１側に孔１０５を介して、駆動力を伝達するピン１０５Ａの長手方向に歪みを検出する歪みセンサ２０１を設ける。歪み検出器２０２とケーブル２０３を通じて歪み検出機構（歪み検出器２０２、警報手段２０４）を構成する。回転弁体１００の摺動面１０３，１０４に焼き付きなどの異常発生時、歪みセンサ２０１の歪み値に変化が生じ、回転異常を検出できる。警報手段２０４は歪み検出器２０２を介した異常検出時に警報を発報、または駆動停止手段（図示せず）により駆動手段（図示せず）を停止する。ピン１０５Ａの歪みを検出し、回転トルクの変化をモニタすることで摺動面１０３，１０４での損傷に起因する異常を高精度で検出できる。 （もっと読む）

【課題】供給ポートから提供される作動油の異質物を除去するフィルタの支持台が供給ポートを詰まらせることを防止して、作動油の円滑な供給を図り、かつ、フィルタ部位の圧力変化を最小化し、また、部品数を減少させ、作業工程を短縮し、コストを低減させることができるフィルタ及びこれを含む電子制御動力補助操向装置の圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】電子制御動力補助操向装置の圧力制御バルブ３００に使われるフィルタ３５０を提供する。このフィルタ３５０では、上・下部支持台３５２の外周表面から内部に所定の深さだけ第２段差部３３５が形成されるように中央支持台３５１が形成される。 （もっと読む）

【課題】水栓の本体ボデーに対してシリンダ式バルブを位置決めする位置決リングにハンドルの回転規制のためのストッパ凸部を設けた場合において、ハンドルを強い力で回転させてもストッパ凸部が損傷することのない位置決構造を提供する。
【解決手段】位置決リング５６に、リング外面から径方向外方に突出し、本体ボデー１２の第１係合凹部７８に回転方向に係合する第１係合凸部７６と、軸方向に突出し弁ケース２８の第２係合凹部８２に回転方向に係合する第２係合凸部８０とを設ける。位置決リング５６にはまた、ハンドル１６側の回転駆動軸５８を回転規制するためのストッパ凸部８４を径方向内方に突出する状態で設け、且つストッパ凸部８４を第１係合凸部７６に対し軸方向に重複する位置に設けておく。 （もっと読む）

【課題】シリンダ式バルブにおける弁ケースを水栓の本体ボデーに対し回転方向に位置決めする位置決リングの組付けが容易で、しかも位置決リングを組み付けるための特別の余分の部材を必要とせず、また位置決リングの組付けに際してこれを単独で落下させてしまって紛失してしまう恐れのないシリンダ式バルブを提供する。
【解決手段】シリンダ式バルブ２４において、シリンダ弁体と弁ケース２８とを止め輪４４にて軸方向に固定するとともに、弁ケース２８を水栓の本体ボデー１２に対し回転方向に位置決めする位置決リング５６に、止め輪４４に対して軸方向に掛止する掛止爪８８を設け、掛止爪８８の止め輪４４への掛止によって、位置決リング５６を弁ケース２８に組み付けるようにする。 （もっと読む）

【課題】吐出冷媒の温度上昇を抑制し且つ冷媒の圧縮効率を高めることができる冷凍回路の往復動型圧縮機を提供する。
【解決手段】冷凍回路の往復動型圧縮機は、シリンダボア内に圧縮室３３を形成し、主軸３４の回転を受けて往復動可能なピストン３２と、圧縮室３３内に冷凍回路の気液分離室１０から低温冷媒が導かれる中間圧室６８と、圧縮室３３と中間圧室６８との間に設けられ、主軸３４と連動して回転されることにより、圧縮室３３内での冷媒の圧縮過程にて、中間圧室６８から圧縮室３３内に低温冷媒を噴射する開閉可能な回転弁７８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 既存のダンパ手段に、新たなダンパ手段を追加して、スプールの制振効果を高める。
【解決手段】 電磁油圧制御弁は、バネ室２７とバネ室絞り部３１からなる既存のバネ室ダンパ手段Ａに、軸端部３４（第１径部）とＦ／Ｂランド２４（第２径部）の径差による径差ダンパ室３２と、この径差ダンパ室３２の軸方向に隣接するバネ室２７と径差ダンパ室３２を連通する径差室絞り部３３とからなる径差ダンパ手段Ｂを追加して設けたものである。これにより、２つのダンパ手段Ａ、Ｂのダンパ効果が得られ、デューティ周波数に起因するスプール１２の微振動の制振効果を、従来よりも高めることができる。また、既存の電磁油圧制御弁にダンパ隔壁３５を設けるだけで新たなダンパ手段である「径差ダンパ手段Ｂ」を搭載することができ、制振効果の高い電磁油圧制御弁のコストを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】摺接部における流体の漏れを抑制し得るスライドバルブ装置を提供する。
【解決手段】流体が移動する第１の流路２１を有する第１の部材１１と、第１の部材１１に対して摺接し、第１の流路２１に連通する第２の流路２２を有する第２の部材１２と、第１の部材１１の第２の部材１２と摺接する摺接面に設けられ、第１の流路２１に連通する第１の連通穴３５を有する第１の弾性膜３０とを備える。第１の流路２１の幅を１００μｍ、第１の弾性膜３５の厚さを４０μｍとし、第１の連通穴３５が、開口量が５０μｍ以下のテーパ形状部を有する。 （もっと読む）