【課題】枚葉洗浄に用いる流体の流量を一定に安定して供給、返還できるコンパクトで安価な流量制御ユニットを提供すること。
【解決手段】流量制御ユニット１は、入力ポートＡから出力ポートＤへの供給流体の流れを連通又は遮断する供給用バルブ３１と、供給用バルブ３１を遮断したときに供給流体の全部又は一部を返還流体としてリターンポートＥに返還する返還用バルブとを備え、入力ポートＡと供給用バルブ３１とを連通する供給流路に供給流体の流量を調整する供給流量調整バルブ３２を配設して、返還用バルブに連通する返還流路を、供給流量調整バルブ３２から供給用バルブ３１までの間で供給流路から分岐した。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム弁体が弁座に当接する際に発生する弁座支持部のたわみを防止すること。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂは連結すること、樹脂製弁本体２は、弁室１３と第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの間に弁座１５を支持する弁座支持部１７を備える、流体制御弁１において、弁座支持部１７は弁座補強部１８を有すること、弁座補強部１８は第１流路２１内を一部塞ぐ形状で形成する。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁部にある、固定鉄心、及び、可動鉄心をレバー式ダイアフラム弁体により隔離し、流体が接触しないパイロット式電磁弁を提供する。
【解決手段】パイロット弁部２は、ダイアフラム弁体３０を有する。ダイアフラム弁体３０は、揺動軸３５を中心に軸支され揺動することにより、第１連通路弁座５４又は第２連通路弁座５５に当接又は離間するレバー式ダイアフラム弁体であり、流体を固定鉄心２３及び可動鉄心２４に接触させないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】構造を単純にすることにより小型化を容易にし、腐食性のある流体を流しても劣化しにくいバルブおよびそれを用いた燃料電池を提供する。
【解決手段】流体の導入口１および導出口２と、前記導入口および導出口を結ぶ流体流路２９と、前記流体流路中に設けられた弁体４を有するバルブであって、前記流体流路２９の内部と外部とを隔てて配置され、前記流体流路の内部の圧力と外部の圧力の差圧によって変形するダイアフラム３と、前記ダイアフラムに設けられ、かつ前記ダイアフラムを変形させる形状記憶合金、熱膨張物質、電磁石から選ばれた少なくとも１種からなるアクチュエータ７を有し、前記ダイアフラム３はバルブ軸５を介して弁体４と連結し、前記ダイアフラムの変形により弁体が変位して開閉するバルブおよびそれを用いた燃料電池。 （もっと読む）

【課題】発生した腐食性ガスの透過による金属部品の腐食が防止され、安価に、かつ歩留まりの高い製造が可能であるとともに、流体中への不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない、耐久性に優れ安定した制御性能が得られる背圧制御弁を提供する。
【解決手段】本体と、ボンネットと、バネ受けと、ピストンと、バネと、本体の第一の空間に蓋をする形で第一弁室を形成する第一ダイヤフラム部が配置され、第一ダイヤフラム部下面中央に本体の第一の空間内部に位置する連通流路より大径に設けられた弁体が配置され、ロッド下端面に第二ダイヤフラム部が配置されてなる弁機構体と、ベースプレートとからなり、ピストンの上下動に伴って弁体と本体の弁座とによって形成される流体制御部の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする背圧制御弁。 （もっと読む）

【課題】流体圧ポンプが吐出する作動流体が高圧であってもエロージョンが発生することを防止し、耐久性の高い流量制御弁を提供すること。
【解決手段】
流体圧ポンプとしてのベーンポンプ１０１から吐出された作動油を油圧機器１０に導く供給通路１２に介装され、油圧機器１０に供給される作動油の流量を制御する流量制御弁１００であって、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の圧力に応じて移動するスプール３０を有し、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の一部を、ベーンポンプ１０１の吸込側に連通する戻り通路３３へと還流するスプール弁２１を備え、ベーンポンプ１０１から吐出され戻り通路３３へ環流する作動油が衝突するスプール３０の壁面に、作動油が含有する気体を気泡として溜めることが可能な環状溝５１を設けることによって作動油が衝突する衝撃を和らげる。 （もっと読む）

【課題】常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持するバネを使用しつつも耐食性に優れた弁を提供する。
【解決手段】ケーシング２０内を流体が流れる流路２０ｃと、ピストン５を軸方向に移動させる駆動力を作用させる駆動部材移動室３７とを完全に隔離し、流体が駆動部材移動室３７内に侵入しないようにする。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ２０と、パイロットレギュレータ２０に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ１８とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ２０と電空レギュレータ１８とを接続してエアを流通させるエア通路１５と、電空レギュレータ１８による操作圧の調整を可能としつつエア通路１５からエアを排出させるオリフィス４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】極低温環境で作動することができるように特殊に設計された極低温バルブの提供。
【解決手段】内部に開口部１１を有する本体１と、前記本体１に結合するボンネット２と、前記本体１の内部で開口部１１と前記ボンネット２との間を移動しながら開口部１１を開閉するディスク３と、前記ディスク３に連結され、前記ボンネット２を貫通するステム４と、前記ディスク３および前記ステム４を作動させ、前記本体１を通過する流体を制御する駆動部とを含み、前記ディスク３と前記開口部１１との当接部分には第１座部１２を、前記ディスク３と前記ボンネット２との当接部分には第２座部１３を含むことにより、前記ディスク３を下方に下げてバルブを閉にしたときだけでなく、前記ディスク３を上方に上げてバルブを全開にしたときにも、流体の前記ボンネット２への流入を防止するように気密が維持されるため、システム運用の際にもパッキング２２の取り替え作業が可能であることを特徴とする、極低温バルブを提供する。 （もっと読む）

【課題】信頼性および耐久性の向上を図る上で有利な切り換え弁を提供する。
【解決手段】切り換え弁１は、２つの第１の管路Ａ、Ｂと、２つの第２の管路Ｃ、Ｄと、弁体Ｅとを含んで構成されている。アクチュエータ３０により軸部材Ｅ１が一方向に移動されることにより、第１ロッドＥ２が第１受け座２２と協働して２つの第１の弾性管路部Ａ２、Ｂ２を圧縮して閉塞し、かつ、アクチュエータ３０により軸部材Ｅ１が前記一方向と逆向きの他方向に移動されることにより、２つの第１の弾性管路部Ａ２、Ｂ２を開放する。アクチュエータ３０により軸部材Ｅ１が前記他方向に移動されることにより、第２ロッドＥ３が第２受け座２４と協働して２つの第２の弾性管路部Ｃ２、Ｄ２を圧縮して閉塞し、かつ、アクチュエータ３０により軸部材Ｅ１が前記一方向に移動されることにより、２つの第２の弾性管路部Ｃ２、Ｄ２を開放する。 （もっと読む）

【課題】金属素材を絞り加工して形成したハウジングを有するバルブにおいて、該ハウジングに対する操作部の取り付けを、強度低下を来すことなく簡単かつコンパクトに行うことができるようにする。
【解決手段】２つのポートＰ１，Ｐ２を結ぶ流路中の弁座４を弁部材５で開閉する主弁部１と、この弁部材５を開閉操作する操作部２とからなる真空用バルブにおいて、上記主弁部１のハウジング３を、金属材を絞り加工して形成した円筒形のハウジング本体６に、２つのポート部材７，８を接合することにより構成し、該ハウジング３の端部には、内向きに折曲したフランジ状の取付部１０を形成し、該取付部１０上に円環状の支持座体２１を介して上記操作部２を取り付けると共に、円環状の支持プレート２５と上記取付部１０との間にシール部材３３を挟持させ、該支持プレート２５と上記弁部材５とにベローズ２３の両端を連結する。 （もっと読む）

【課題】イコライザ穴３２から水が背圧室２２内に流入し、背圧室２２内の圧力を上昇させて開閉弁３を押し下げ、弁口３ａを閉鎖させるパイロット式水電磁弁１では、背圧室２２の圧力を下げるためのパイロット穴３１をプランジャ４で閉鎖しており、このプランジャ４をコイルバネ５で付勢している。コイルバネ５の表面には従来はニッケルメッキがされているが、夏場などの高温時に長時間使用しないと背圧室２２内の水にニッケルが溶出し、水酸化物となって析出してイコライザ穴３２を閉塞してしまう。すると、背圧室２２内に水が流入せず、開閉弁３を閉弁させることができなくなる。
【解決手段】表面に金属メッキを施していないコイルバネを用いることにした。なお、コイルバネの製造上必要であれば、コイルバネの表面を樹脂でコーティングしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れたメタルダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、ｄ３／ｄ１＝２〜７、ｒ／ｄ３＝４〜７の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。 （もっと読む）

【課題】耐久性の高い流量制御弁を提供すること。
【解決手段】樹脂性弁部材１４を弁座曲面１６に当接または離間させることにより、蒸気の流れを制御する流体制御弁であって、弁座が上側に凸状である弁座曲面１６を有し、弁体の弁座曲面１６と当接する当接部が、下側から上側に向かって拡大する傾斜面１４ａを有しているので、弁部材１４の弁座曲面１６と当接する当接部が傾斜面１４ａを有している。 （もっと読む）

【課題】ブロック間に露出する取付ねじを腐食性雰囲気から隔離できる薬液弁を提供すること。
【解決手段】ピストン５８の上下動に対応して入力ポート６３と出力ポート６４を連通する弁座６５に弁体６６を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロック５１，５２，５３，５４を取付ねじ５５で一体化した薬液弁において、取付ねじ５５の周りに設けられ、ボディ５３と取付ブロック５４との間で弾性変形する封止部材１を設ける。 （もっと読む）

【課題】駆動部内への水分及び塵埃等の進入を防止すると共に、弁体を保持するガイド部材への水分の付着を防止する。
【解決手段】弁基部１２に形成される駆動部１４には、弁体１６と連結されるダイヤフラム６０が連結され、前記駆動部１４に負圧流体が供給されることにより、前記弁体１６が軸線方向に沿って変位する。そして、前記駆動部１４は、弁基部１２の上部に連結される第１ケーシング２６を含み、前記第１ケーシング２６の側面には複数の空気窓５２が周方向に沿って所定間隔離間して形成されると共に、前記弁基部１２と連結される第１ケーシング２６の下部に複数のドレン孔５８が周方向に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】 安価に腐食を防止することができる開閉弁を提供すること。
【解決手段】 弁体駆動手段の駆動力によって弁体１８を弁座１５に当接又は離間させ、サージタンク８の非腐食性圧縮流体を断続的に集塵装置１９に供給する開閉弁１１Ａにおいて、通常の耐腐食性を有する材料からなり、一次側ポート１２と連通する開口部２４が弁体１８を中央部に係合されたダイアフラム２５に塞がれて弁室１４を形成し、ダイアフラム２５の対向面に貫通孔２９が弁体１８と同軸上に形成された第１ブロック２１と、耐腐食性の高い材料からなり、二次側ポート１３に連通する弁座１５を端部に設けられ、弁座１５をダイアフラム２５の中央付近に配設するように貫通孔２９に挿入されて第１ブロック２１に連結される第２ブロック２２とによりブロック１６を構成する。 （もっと読む）

【課題】 弁に流入する流体に異物が混入している場合でも確実に流体をシールし、かつ繰り返し開閉に対する耐久性に優れ、流体圧力によりシール部材が変形して脱離することがなく、分解可能で部品単品ごとの交換が可能なダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】 フッ素系樹脂からなるダイヤフラム本体２の下面に、弾性体からなるシール部材３を支持体４により挟持、固定し、シール部材３のシール部１２を弁座部３０に圧接、離間させることにより弁を開閉するようにした。 （もっと読む）

本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なうもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることがなく、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２からの超音波を受信し信号を流量計アンプ部６４に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、流体の圧力を制御する圧力制御弁５とを有し、流量計センサ部４と圧力制御弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有するケーシング２内に設置されてなることを特徴とする。 （もっと読む）