【課題】 弁体の開，閉動作を検出パイプ内のエア圧変化として検出し、弁装置としての安全性、信頼性等を向上することができるようにする。
【解決手段】 底弁ケース４の弁座板５に設けるシール部材７には、その内部に全周にわたって延びる環状のエア空間７Ａを形成する。そして、エア空間７Ａを検出パイプ３９の一側に気密状態で接続すると共に、検出パイプ３９の他側は、底弁ケース４の弁座板５に穿設したパイプ挿通孔５Ｄを介して貯液タンク２の外部へと引出す。そして、外部に引出された検出パイプ３９の先端側は、貯液タンク２、底弁ケース４から十分に離れた位置で圧力検知器４０に接続する。これにより、底弁体１６の開，閉弁に伴うシール部材７の弾性変形を、エア空間７Ａ、検出パイプ３９内のエア圧変化として圧力検知器４０に伝えるようにする。 （もっと読む）

【課題】対をなす弁体と弁座との間のシールを確保するための部品の製造コストを抑えることができるとともに、弁体と弁座を組み立てて、全体の組み立て前に弁体と弁座の間のシール性の検査を行うことができ、生産性を向上させることができるパイロット式切換弁を提供する。
【解決手段】パイロット式切換弁１１において、弁座形成部材２２がシリンダ部１３内に収容されることにより、弁室２４に弁座３１が設けられている。ピストン２８において、弁座形成部材２２を貫通して弁室２４まで延びた延設部２８ｄに弁体３０が一体化されているとともに、コイルばね３２のばね力によって、弁体３０は弁座３１に着座する方向へ付勢されている。主弁２０は、弁座形成部材２２のガイド部２２ｂにピストン２８が挿入され、さらに、該ピストン２８の延設部２８ｄに弁体３０が取り付けられてなる弁組立体５５がシリンダ部１３内に収容されることによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】ブラダーなどのエア収容部内のエアを排気する排気専用弁の外形寸法や配管スペースを削減し、排気効率を向上する。
【解決手段】排気専用弁１０のバルブボディー１２には、ブラダー５０と連結されるブラダー側ポート２８と、排気口３２と、ブラダー側ポート２８と排気口３２を連通する流路３０Ａ、３０Ｂとが設けられている。さらに、流路３０Ａ、３０Ｂを遮断・開放する閉止位置Ａと開放位置Ｂとの間を移動するピストン１４と、パイロットエアを供給するパイロットポート２４とが設けられている。そして、ブラダー５０へのエア供給時には、パイロットポート２４へパイロットエアを供給し、パイロットポート２４とピストン１４との空間２６を昇圧することにより、ピストン１４を閉止位置Ａに移動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、排気時間の短縮を図ることができ、高い耐久性を有し、小型化を図ることができる真空弁を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、弁本体３１の下面に備わり入力ポート３２が形成される略円筒形状の入力ポート部材４１と、弁本体３１の側面に備わり入力ポート３２と連通する出力ポート３３が形成される出力ポート部材４２と、入力ポート部材４１の上端面に形成される弁座３４と、弁座３４と当接および離間するように昇降動作を行なう弁体２４とを有する真空弁において、弁座３４が出力ポート３３の内周面の最下部よりも高い位置にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁板を傾動させて、ゲート開口部を閉止する際に、押し付け圧力（推力）が十分で、優れたシール性を有するとともに、弁板を傾動するための駆動機構が簡単な機構でコンパクトであって、駆動機構の設置スペースが小さく、ゲート弁全体としてもコンパクトな傾動型ゲート弁を提供する。
【解決手段】傾動駆動部を作動させることによって、傾動板および傾動ロッドを傾動軸部を中心に傾動させることによって、傾動ロッド先端に連結された弁板を、ゲート開口部に接近または離反する方向に移動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】伝達流路を切換弁で切り換えた状態において切換弁の高いシール性を維持し、伝達流路に流体抵抗による影響の少ない切換弁を有する自動給水装置を提供する。
【解決手段】弁本体２０の第一平坦面３３に、切換弁１９を構成する回転弁体２２をシールパッキン３２及び摺動部材２１を介して摺接させる。その際、回転弁体２２の第二平坦面３８に、溝流路３９、４０を取り囲む条溝４２、４３を各々形成し、条溝４２、４３にシールリング４４、４５を嵌着する。 （もっと読む）

【課題】 駆動源たる圧縮空気の供給不足が生じても排水弁からの液体の流出を防ぐことができるとともに、過大水圧による液体の流出を防止することができる排水弁を提供する。
【解決手段】 筐体４に形成された弁口１２ａと、この弁口１２ａを開閉する弁体２２とを有する排水弁３は、前記弁体２２を開閉動作させるための空気圧型駆動部１３を備えている。前記弁体２２は、前記弁口１２ａより径大に形成されるとともに該弁口１２ａの流入側においてこれと密接及び離間するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 パイロット式２ポート弁における弁部材を取り付けたロッド３１が貫通しているプレート３６の挿通孔内のシール部に、液体流路を流れる異物が侵入するのを可及的に抑制し、該シール部の長寿命化を図る。
【解決手段】 ポート２１，２２間に形成された液体流路２３中の弁座２４に接離して該流路を開閉する弁部材２５を備えた弁体部２と、パイロット流体圧により駆動されるロッド３１がプレート３６をシール状態で貫通し、該ロッドの先端に上記弁部材２５を連結して、該弁部材を駆動する弁駆動機構３とを備える。上記液体流路２３中に突出する上記ロッド３１に、開弁時に上記プレート３６の挿通孔３６ｂの周囲に当接して液体流路を流れる異物が該挿通孔内のシール部４１ａ〜４１ｃに侵入するのを抑制するキャップ５０を設ける。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの駆動力を利用して弁体を弁座に対して離接する弁装置において、シール性を向上させる。
【解決手段】アシスト機構４０は、遮蔽板４２で仕切られた二つの圧力室４１Ａ，４１Ｂを有するチャンバー４１と、チャンバー４１に配置されチャンバー４１内の水素を吸収する水素吸蔵合金４３Ａ，４３Ｂとを備える。水素吸蔵合金４３Ａ，４３Ｂは、チャンバー４１内の水素温度に応じて二つの圧力室４１Ａ，４１Ｂ間に差圧が発生するように構成される。アシスト機構４０は、上記差圧により遮蔽板４２に作用する力をアシスト部材４４により弁体３２に作用させ、これにより弁体３２の弁座２４への当接をアシストする。 （もっと読む）

【課題】 化学処理用の真空チャンバの減圧に使用する真空調圧バルブにおいて、プロセスガスとの接触による副生成物が弁座と弁シール部材とに付着するのを防止する。
【解決手段】 第１主ポート１１に通じる第１流路孔１３の端部の弁座１６に近接する位置に、該弁座１６とこの弁座１６を開閉する弁シール部材１７とに向けて不活性ガスを噴射するためのノズル部５１を有し、このノズル部５１は、上記第１流路孔１３の端部の拡大孔部１３Ａ内に筒状部材５４を嵌着することにより形成されていて、弁座１６と同心状に開口する環状の噴射口５２と、この噴射口全体に不活性ガスを均等に供給するための環状の整流室５３とを有し、この整流室５３が、バルブハウジング１０の外面の伝熱カバー３１との間で熱伝達可能なるように形成されたガス流路６０を介してガス供給原に接続される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、長期にわたって使用しても気密性能の低下や整圧性能の低下を抑制して良好な性能を確保する整圧器及びその処理方法を提供する点にある。
【解決手段】 整圧器１００において、ダイヤフラム５０が、フランジ接続部３ａに圧縮状態で挟持される挟持部５２を、均圧室１０と二次側圧力室２０とを区画する受圧部５１よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成してなる。また、かかる整圧器１００の処理方法において、整圧器１００を組み立てた状態で設定温度に加熱して一定時間保持する保持工程を実行する。また、バルブ機構３０の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構がばね部材４０からなる整圧器１００の処理方法において、整圧器１００を組み立てた状態で一定時間保持する保持工程を実行し、保持工程を実行した後に、ばね部材４０の付勢力を調整する調整工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】 弁に流入する流体に異物が混入している場合でも確実に流体をシールし、かつ繰り返し開閉に対する耐久性に優れ、流体圧力によりシール部材が変形して脱離することがなく、分解可能で部品単品ごとの交換が可能なダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】 フッ素系樹脂からなるダイヤフラム本体２の下面に、弾性体からなるシール部材３を支持体４により挟持、固定し、シール部材３のシール部１２を弁座部３０に圧接、離間させることにより弁を開閉するようにした。 （もっと読む）

本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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【課題】弁基部内を流通する排気ガスの外部への漏出を確実に阻止する。
【解決手段】排気ガス再循環バルブは、排気ガスが流通する弁室が形成される弁基部１４と、前記弁基部１４の上部に圧力流体の圧力によって弁体１８を変位させる駆動部１６が配設され、前記弁基部１４と駆動部１６との間にはガスケット８２が設けられている。また、弁基部１４の内部には、弁体１８を軸線方向に沿って変位自在に保持するガイド部材４０が設けられ、カーボン焼結体等の焼結材料から形成されるガイド部材４０のガイド孔４４に臨むように弾性材料からなるシール部材５２が装着されている。そして、シール部材５２の内周面に形成された内側環状部５４及び第１スカート部５６が弁体１８の弁軸部３６に当接すると共に、前記シール部材５２の第２スカート部６２が駆動部１６の下面に当接するように設けられている。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、携帯式給水栓および携帯式給水栓を使用したシステムに関するものである。このような１つの携帯式給水栓は、給水栓本体と、前記給水栓本体に連結した水圧シリンダと、前記給水栓本体への給水主管連動システム構造を含む。前記給水主管連動構造は、前記水圧シリンダから延出する、作動装置と協動して、第１の位置と第２の位置との間を移動する少なくとも１つのロッキング部材を有する。前記携帯式給水栓は、前記ロッキング部材が前記第２位置にあるとき、給水主管に物理的に連結している。 （もっと読む）