弁が閉弁されているとき、制御要素に加えられる力を合計した正味の力が制御要素を付勢力により弁座（２４０）に着座させる力となるよう、双方向弁の制御要素（１６０）は流出口圧力（２００）および流入口圧力（１８０）と流体を介して繋がるようになっている。この弁は、弁座（２４０）を保持する弁箱（１２０）を備えている。制御要素（１６０）は弁座の流出口側ではバランスがとれているため、流出口圧力が制御要素に対して加える正味の力は実質的にゼロである。それとは対照的に、制御要素は弁座の流入口側ではバランスがとれておらず、流入口圧力により加えられる正味の力は制御要素を付勢力により弁座（２４０）に着座させる。
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【課題】 従来のスコッチヨーク式駆動装置の出力トルクよりもさらに大きな出力トルクを得るようにし、もって、更に大きな大口径バルブの駆動用として使用でき、装置を小型化しても従来の装置と同様の出力トルクを得ることができる流体圧駆動装置を得る。
【解決手段】 シリンダ２，３を有する本体部３０、バルブステム９、ピストンロッド５，７を有するピストン４，６、スコッチヨーク２０を備え、各ピストンロッド５，７には貫通穴８が形成され、スコッチヨーク２０は一対のスコッチヨークレバー２０ａ、２０ｂを有し、各スコッチヨークレバーは貫通穴８を貫通しており、各ピストン４，６は互いに反対方向に往復動するようになっており、この往復動の際に、各スコッチヨークレバーが貫通穴８とそれぞれ接触し、この二つの接触によるピストン４，６の駆動力の偶力によってスコッチヨーク２０がステム９と共に回動する。 （もっと読む）

【課題】内部パイロットタイプの電磁弁と外部パイロットタイプの電磁弁とに切り換えることができるようにする。
【解決手段】主弁軸２２の両端には大径の第１ピストン２３と小径の第２ピストン２４とが設けられ、第１ピストン２３には第１パイロット電磁弁からのパイロット流体が第１パイロット圧出力路を介して供給され、第２ピストン２４には第２パイロット圧出力路６１を介してパイロット流体が供給されるようになっている。外部パイロット連通孔６６を閉塞すると内部パイロットタイプとなり、内部パイロット連通孔６４を閉塞すると外部パイロットタイプとなる。 （もっと読む）

【課題】圧力作用室からの押圧力に対する反発力を圧縮コイルバネにより得ており、且つ圧縮コイルバネと一次側の流体室とをダイアフラムによって区画している流体制御弁において、一次圧力に変動があっても二次圧力が変動しないようにする。
【解決手段】圧力作用室Ｒ３からの押圧力に対する反発力を生じさせる圧縮コイルバネ３６を、ダイアフラム３４の下方に設けた。また、一次側にあるダイアフラム３４の有効受圧径よりも弁座部２５ｃの有効受圧径が大きくなるように形成した。ここで、一次圧力の変動に伴って弁開度が変化すると、圧縮コイルバネ３６が伸縮してその荷重も変動する。このようなバネ過重の変動があっても、有効受圧径の差に起因して一次圧力の変化分が圧縮コイルバネ３６の荷重変化分を打ち消すようになる。その結果、圧縮コイルバネ３６の伸縮にかかわらず二次圧力を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムが損傷しにくい制御弁を提供する。
【解決手段】制御弁１は、弁体１０と、ダイアフラム３０と、ハウジング５０と、を備えている。弁体１０は、冷媒が流れる冷媒通路７０を開閉する。ダイアフラム３０は、その下面が弁体１０に当接して配置され、弁体１０を移動させる。ハウジング５０は、ダイアフラム３０の周縁を固定する蓋部５１と受け部５２とを有する。受け部５２は、ダイアフラム３０の下面と微小隙間を介して対向するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】既存の構成の活用によりコンパクト化を図ってコストを削減すると共に、常に適正な放水圧を得ることができる止水機能付き減圧弁を提供する。
【解決手段】下方に流入口Ａを、側方に流出口Ｂを有する弁ケース本体Ｃの上端開口部４と螺合するキャップＤとの間に、弁ユニット１が着脱可能に介装される。弁ユニット１は有底シリンダ２内にピストン５を配し、ピストン５は突出軸６及び弁体１０と一体に構成されている。有底シリンダ２の側周には、ピストン５に二次側の水圧を伝える二次圧導入口１４が形成されている。ピストン５の軸方向上方に延びる被ガイド軸７を摺接状態で軸方向に案内するステムＦが上方へ移動し、ピストン５が解放されると、二次側の圧力が高くなったとき、弁口Ｉに弁体１０が近づいて二次側圧力が減圧され、また、圧力が下がったとき、弁口Ｉが開放されて二次側圧力が所定の減圧値に近づくように上昇する。 （もっと読む）

弁アクチュエータ（２００）は、ハウジング（２０２）と、レバー（２１４）と、コレット（２５６）と、付勢デバイス（２１５）とを備えている。レバーは、ハウジング内に配設されており、弁シャフト（２１９）を回転させるよう作動可能に結合するように構成されている。コレットは、レバーにより支持され、このレバーを弁シャフトに結合するように構成されている。付勢デバイスは、コレットに作動可能に結合してレバーを任意の位置に付勢により位置づけするバネ（２１６）を含んでいる。 （もっと読む）

弁は、第１のポート（１６）および第２のポート（１８）を有する主室を含む弁本体（１４）と、主室内に配置された主ポペット（２０）とを有する。主ポペットは、主室内に制御室（３０）を形成する第１の表面（２８）を含む。弁は、制御室を第１のポートに連通する第１の通路（４０）と、制御室を第２のポートに連通する第２の通路（５０）とを有する。さらに、弁は、制御室からの流体の流れを、第３の通路（９６）を通って第１のポートに、また第４の通路（１０２）を通って第２のポートに、それぞれ制御するためのパイロットポペット（８２）を有するパイロット弁（８０）を含む。その上、弁は、主ポペットとパイロットポペットとの間の距離に対して力を与えるために、主ポペットとパイロットポペットとの間に結合されたフィードバックバネ（９０）を有することが可能である。
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【課題】操作軸を２次側の流出水路の側から主弁を貫通して設けた場合においても、操作軸に対して背圧室の圧力が後退方向の押圧力として働かず、従来に増して操作を軽くすることのできるパイロット式の流量制御弁装置を提供する。
【解決手段】操作軸３２によりパイロット弁３６を進退移動させることによって主弁１６を進退移動させ、主水路１４の開度を変化させて流量制御を行う流量制御弁装置１２において、操作軸３２を２次側の流出水路１４ｂの側から主弁１６及び背圧室２６を貫通する状態に設けて先端側の嵌入部４２を、背圧室２６を内側に形成する壁部４４の嵌合孔４６にＯリング４８を介して水密に且つ進退移動可能に嵌合するとともに、嵌合孔４６からは主弁１６をバイパスして流出水路１４ｂに至り、背圧室２６から嵌合孔４６側に漏れた水を流出水路１４ｂへと戻す戻し水路５６を、パイロット水路３０とは別途に設けておく。 （もっと読む）

【課題】対をなす弁体と弁座との間のシールを確保するための部品の製造コストを抑えることができるとともに、弁体と弁座を組み立てて、全体の組み立て前に弁体と弁座の間のシール性の検査を行うことができ、生産性を向上させることができるパイロット式切換弁を提供する。
【解決手段】パイロット式切換弁１１において、弁座形成部材２２がシリンダ部１３内に収容されることにより、弁室２４に弁座３１が設けられている。ピストン２８において、弁座形成部材２２を貫通して弁室２４まで延びた延設部２８ｄに弁体３０が一体化されているとともに、コイルばね３２のばね力によって、弁体３０は弁座３１に着座する方向へ付勢されている。主弁２０は、弁座形成部材２２のガイド部２２ｂにピストン２８が挿入され、さらに、該ピストン２８の延設部２８ｄに弁体３０が取り付けられてなる弁組立体５５がシリンダ部１３内に収容されることによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、加圧水の圧力変動および流体の温度特性による影響を排除し、簡易に正確に時間を計測できるタイマー弁を得る。
【解決手段】第１ピストン４が第１シリンダ１内に摺動自在に配設され、第２ピストン５が第１ピストン４内に配設されている。作動スプリング６が縮設されてフランジ部５ａがフランジ部４ａに当接し、復帰スプリング７が縮設されて第１ピストン４が上限に位置する。シャフト１３が一端を第２ピストン５に固着され、流体室１１を挿通して軸心方向に往復移動可能に配設され、板オリフィス１５および逆止弁１６を有する制動用仕切板１４がシャフト１３に固着されている。そして、加圧水が加圧室８内に供給されると、第１ピストン４が下限まで下降し、作動スプリング６を収縮させて起動力を蓄勢させる。ついで、作動スプリング６の蓄勢力が放勢され、第２ピストン５が下降し、シャフト１３の延出量が増大し、開閉弁１７が閉弁される。 （もっと読む）

アクチュエータロッドを弁棒に作用可能に接続するための装置が開示されている。例示の装置は、外面と内面とを有したコネクタハウジングを備えている。内面により内部キャビティが形成されている。また、例示の装置は、アクチュエータロッドのうちの少なくとも一部を受け入れるように構成された外面から内部キャビティの中に延びるアクチュエータロッド通路と、弁棒のうちの少なくとも一部を受け入れるように構成された外面から内部キャビティの中に延びる弁棒通路とをさらに備えている。加えて、例示の装置は、アクチュエータロッド通路と弁棒通路との間の内部キャビティ内に配置された負荷逃がし本体をさらに備えている。
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【課題】微圧信号入力時のオン・オフ作動以外は、供給流体を消費しない単純な小形圧力増幅三方弁の提供。
【解決手段】オフ時は高圧流体が供給口から供給され、微圧信号が入力口にない状態であり、弁は棒磁石及びリング状磁石の反発力により、弁座を閉とする。従って高圧流体は弁ホルダの内側と遮断され、出力口の流体圧は上空間、通路、下空間、排出口、通気穴、部屋、排出口を経て外部と連通するので出力はオフとなる。微圧信号入力がオンされるとダイヤフラムより発生した作動力でリング状磁石が上昇し一定値を超えたとき、棒磁石の反発力で弁は下側に移動して、下側の弁座を閉とする。出力口に高圧流体が流れ、出力はオンとなる。微圧信号入力がある値以下では、復帰バネ力によりダイヤフラムは下降しリテーナが基体に着座する。下降したリング状磁石に棒磁石を内蔵の弁は瞬時に反発し、閉じていた弁座を開とし上昇、上側弁座を閉じる。 （もっと読む）

【課題】
高圧流体を大流量の条件下で調節弁を用いて急激に減圧すると、気体の膨張により流体自身の温度が急激に低下し、調節弁の下流部の温度が氷点下になる可能性がある。気体中に水分が含まれている場合、縮流部である弁孔の弁座−弁体−弁座間隙の流路表面で水分が凍りつき、弁体の動きを妨げ、流体制御に支障をきたすことがある。これにより、気体の脈動、調節弁の異常振動、弁座のエロージョン、騒音等を引き起こし、気体供給システムの健全な運転の維持は困難となる。流体圧力の制御機器では弁座付近の縮流部が氷結しても流体制御を可能とすることが重要である。
【解決手段】
制御対象の流体流路に沿って、遮断弁（２）と、調節弁（３）と、圧力センサー（４）とを一体化して設け、該圧力センサー（４）の検出圧力信号をもとに、遮断弁（２）と、調節弁（３）とを自動制御することを特徴とする流体制御装置。 （もっと読む）

【課題】伝達流路を切換弁で切り換えた状態において切換弁の高いシール性を維持し、伝達流路に流体抵抗による影響の少ない切換弁を有する自動給水装置を提供する。
【解決手段】弁本体２０の第一平坦面３３に、切換弁１９を構成する回転弁体２２をシールパッキン３２及び摺動部材２１を介して摺接させる。その際、回転弁体２２の第二平坦面３８に、溝流路３９、４０を取り囲む条溝４２、４３を各々形成し、条溝４２、４３にシールリング４４、４５を嵌着する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体の遮断が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁４と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器３と、該流量計測器３からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁４の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁４または該流体制御弁を操作する機器５６へ出力する制御部６と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 複数の弁孔の加工性と供給用及び排出用の各通孔の加工性とを同時に改善した接合形ハウジングを有する多連式のマニホールド形の電磁弁を得る。
【解決手段】
一つのハウジング２０に複数の弁孔２５とスプールとを内蔵すると共に、これらの弁孔２５を横切る方向に延びて全ての弁孔２５に連通する供給用及び排出用の連接通孔Ｐ，ＥＡ，ＥＢを備えた多連式のマニホールド形電磁弁において、上記ハウジング２０を、上記複数の弁孔２５と各連接通孔Ｐ，ＥＡ，ＥＢとをそれぞれ２分する位置で下側の第１ハウジング部材２０Ａと上側の第２ハウジング部材２０Ｂとに分割し、これら両ハウジング部材２０Ａ，２０Ｂを互いに接合、一体化することにより該ハウジング２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ロータリーアクチュエータと回転弁との間に生ずるトルクを負担し得るようにすると共に、ロータリーアクチュエータの構造を簡単にし、中間部品の交換により、接続構造の適宜の選定を可能とする。
【解決手段】 シリンダ１内を往復動するピストンに出力軸を連結し、ピストンの往復動を回転運動に変換して出力軸を駆動回転し、該出力軸に接続された回転弁の弁棒を駆動するようにしたロータリーアクチュエータと回転弁の接続装置において、ロータリーアクチュエータと回転弁との間にベースプレート５を介在させ、該ベースプレートに設けた嵌合部にロータリーアクチュエータのシリンダ本体１０を嵌合して回り止め状態でロータリーアクチュエータとベースプレートを接続すると共に、ベースプレート内においてアクチュエータの出力軸と回転弁の弁棒を回転方向に接続し、ベースプレート内に開度調整手段を設けて出力軸の開度を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】 高圧流体を供給制御する場合にも、ダイアフラムの弁体部と膜部との境界付近への応力集中を防止してダイアフラムの耐久性を向上させることができるダイアフラム弁を提供すること。
【解決手段】 ダイアフラム弁１は、弁座１３に当接する弁体部２１と、弁体部２１から外側に広がった膜部２２と、膜部２２の外周縁に形成された固定部２３とを有するダイアフラム弁体２０を備える。そして、膜部２２に、弁体部２１に接続され鉛直方向に形成された鉛直部２２ａと、固定部２３に接続され水平方向に形成された水平部２２ｃと、鉛直部２２ａと水平部２２ｃとを接続するために断面円弧状（上方凸形状）に形成された接続部２２ｂとを設けることにより、鉛直部２２ａをバックアップ４０の外周面に常時接触させる。 （もっと読む）