【課題】小型低消費電力、かつ長期信頼性の高いラッチバルブ１を提供する。
【解決手段】形状記憶合金を用いたラッチバルブ１において、バルブシート８を板ばねとすることにより、バルブシート８自身に自己保持機能を持たせることにより小型化を可能とした。また、形状記憶合金１０、１１とバルブシート８の締結は、バルブシート８に設けた通し孔１８、１９を用い接合、接着することなく行い、ラッチバルブの長期安定性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 全閉位置に切り替える際、バルブと通路壁との間に、オーバーシュート発生量に相当する衝突荷重が発生しにくいバルブアセンブリを提供することを課題とする。
【解決手段】 バルブアセンブリは、内部に通路２０が形成されたハウジング２と、通路２０を全閉位置Ｅから全開位置Ｆまでの範囲で開閉制御可能なバルブ３と、バルブ３を駆動するアクチュエータと、全閉位置Ｅおよび全開位置Ｆに対応する位置データを格納し、アクチュエータに駆動信号を伝送するアクチュエータ制御ユニットと、を備える。全閉位置Ｅは、バルブ３が通路２０の通路壁２２０に当接する当接位置Ｄに対して、アクチュエータのオーバーシュート発生量に応じて、開方向にシフトして設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動手段により弁体を変位させていない状態における弁体による流出口の閉止力を従来に比べて高めることができ、流入口側内部空間へ流入した流体の圧力が低くても流体が漏れるのを防止することができるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】弁座形成基板１０との間に流出口側内部空間Ｓ２を形成する第１のダイヤフラム部２２、流出口１２を開閉する弁体２３、弁座形成基板１０との間に流入口側内部空間Ｓ１を形成する第２のダイヤフラム部２５を有する弁体形成基板２０と、弁体形成基板２０との間に閉鎖空間３６を形成する閉鎖空間形成用基板３０とを備える。弁体形成基板２０における第１のダイヤフラム部２２とフレーム２１における第１のダイヤフラム部２２の周辺部とに跨って積層された応力付与膜２８が、駆動手段により弁体２３を変位させていない状態で閉止力を増大させるバイアス手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】ガス通路途中に弁体部材２を設け、この弁体部材２の一端に設けた弁体部２１でガス通路を開閉すると共に、弁体部材２の他端にアーマチュア２２を設け、かつ、このアーマチュア２２に対して進退する電磁石３を設けて、励磁した状態でこの電磁石３の磁極３１ａをアーマチュア２２に接触させて吸着させ、その吸着させた状態のまま電磁石３を引き上げて弁体部２１を開弁させるモータ安全弁１では、アーマチュア２２が磁極３１ａに吸着されたことや、途中で予期せずアーマチュア２２が外れたことを知ることができない。
【解決手段】アーマチュア２２が磁極３１ａに吸着された瞬間および外れた瞬間に、励磁コイル３２にパルス状の信号が発生することに着目し、その信号を検出回路８によって検出することとした。 （もっと読む）

【課題】電動開放式マイクロ流体用バルブの提供。
【解決手段】本発明は、以下：
−少なくとも一つの平らな土台；
−少なくとも一つの導入用微小管；
−少なくとも一つの放出用微小管；
−土台の内側面に配置された少なくとも一つの感熱材料の堆積物；及び、
−少なくとも一つの加熱手段：を含み、
上記微小管は上記土台に設置され、これらの先端のうち少なくとも一つは上記土台の内側面上で開いて互いに近接していて、
微小管の先端間の空間が上記感熱材料の堆積物で少なくとも部分的に塞がれているために、この先端間が互いにつながっておらず、
加熱手段により温度が上昇して感熱材料の構造が変化し、このために微小管の先端及びこの先端間が少なくとも部分的に空洞になることによって、上記微小管の間がつながって流体の流れを再開させることができる
ことを特徴とする電動開放式マイクロ流体用バルブ
に関する。
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【課題】ステッピングモータ１０６で雄ねじ部材１０５を回転させることにより進退する可動部材１０３に電磁石１０４を固定し、弁体１０２に固定されたアーマチュア１２１を電磁力で吸着して弁体１０２を引き上げて流出部１１３を開放するモータ安全弁では、進退する電磁石１０４に外部から通電する必要がある。従来は、ケーシング１０１と電磁石１０４との間にリード線を架設して給電していたが、リード線の断線や内部空間１１１の大型化という不具合が生じる。
【解決手段】電磁石１０４が固定されている可動部材１０３と、ケーシング１０１に固定されているブラケット１１４との間にばね状の１対の連結線１４３，１４４を縮設し、これら連結線１４３，１４４を介して電磁石１０４に給電するようにした。 （もっと読む）

【課題】ステッピングモータ１０６のロータ１６１に雄ねじ部材１０５を連結し、可動部材１０３の雌ねじ部１３１に螺合させて可動部材１０３を進退させることにより、可動部材１０３に固定された電磁石１０４で弁体１０２を吸着して引き上げて開弁させる構成は、弁体１０２が収納されている内部空間１１１にガスが充満するため、従来はロータ１６１の回転軸１６２にＯリングを装着してシールしていたが、Ｏリングが回転時の抵抗になるためステッピングモータ１０６を大型化しなければならなかった。
【解決手段】回転軸１６２に装着していたＯリングを廃止し、ロータ１６１を隔絶部材１０８で覆って、隔絶部材を気密構造にすることによりガスの流出を防止するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来のモータ安全弁では、モータの回転軸に連結された雄ねじ部材から弁体に至るまでの部品がほぼ直列に配置されているので、雄ねじ部材から弁体までの距離が長くなり、必然的にモータ安全弁が大型化するという不具合が生じる。
【解決手段】ステッピングモータ部２のロータ５内に、雌ねじ部５１と雄ねじ部６１とからなる進退機構により進退する可動部材６を設け、さらにその可動部材６に電磁石７を固定して弁体４に連結されているアーマチュア４２を吸着し、弁体４と共に引き上げるようにした。 （もっと読む）

【課題】マイコンメータなどに使用される回転駆動機構を動力源とし、運動部と固定部とを気密にした遮断弁に関し、長期の使用においてステータをフランジに固定する機構が破壊しにくく、万が一破壊した場合もガス漏れに至らない高い気密信頼性と動作信頼性を有した遮断弁を提供する。
【解決手段】ステータ４６を取り付け板５７に固定する機構を支持フレーム５９とし、取り付け板５７のシール面５７ｅより外側に支持フレーム５９との嵌合部５７ｃを形成したため、嵌合部５７ｃが完全に大気室側にあることになり、破壊しにくく、万が一破壊した場合でもガス漏れに至らない高い気密信頼性を有した遮断弁を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】電動弁の診断時において、電動弁へのバネ圧縮機構およびウォーム移動量計測手段の取付けを可能とするとともに、電動弁側からの潤滑油の漏出を防止し得るようにした電動弁用アダプタを提供する。
【解決手段】バネ圧縮機構およびウォーム移動量計測手段の各々を弁体駆動部に取付け可能とした電動弁用アダプタに、前記バネ圧縮機構による圧縮力をスプリングカートリッジに伝達する中間体を保持するとともに、該中間体には、前記バネ圧縮機構および前記ウォーム移動量計測手段の着脱時において前記弁体駆動部側からの潤滑油の漏出を防止する堰体を設ける。係る構成によれば、電動弁間において前記バネ圧縮機構およびウォーム移動量計測手段を共用することができ、電動弁の診断コストの低減を図ることができる。また、前記堰体によって、前記スプリングカートリッジ側に充填された潤滑油が前記アダプタを通って外部へ漏出するのが防止される。 （もっと読む）

【課題】高い気密信頼性と小電力で安定した動作性能と、作動耐久性と、経済性とを同時に実現可能な遮断弁を提供するものである。
【解決手段】金属製の隔壁６６の内側鍋状部６６ｃと、蓋７２に形成された凹部７２ｂと、金属製の回転軸６９と、凹部７２ｂに収納されたラジアル・スラスト共用ころがり軸受７６を備え、ラジアル・スラスト共用ころがり軸受７６は、回転軸６９をラジアル方向に支持すると共に、ロータ７１の保持手段７０をスラスト方向に支持する構成としたもので、ロータ７１の軸心精度が高く小電力で安定した動作性能を実現できる。 （もっと読む）

【課題】マイコンメータなどに使用される回転駆動機構を動力源とし、運動部と固定部とを気密にした遮断弁に関し、長期の使用においてステータをフランジに固定する機構が破壊しにくく、万が一破壊した場合もガス漏れに至らない高い気密信頼性と動作信頼性を有した遮断弁を提供する。
【解決手段】ステータ４６を取り付け板５７に固定する機構を支持フレーム５９とし、取り付け板５７のシール面５７ｅより外側に支持フレーム５９との嵌合部５７ｃを形成したため、嵌合部５７ｃが完全に大気室側にあることになり、破壊しにくく、万が一破壊した場合でもガス漏れに至らない高い気密信頼性を有した遮断弁を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体を逆流することなく、一方向のみに輸送するマイクロバルブの流量調節方法を提供する。
【解決手段】 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 （もっと読む）

第１の室と第２の室（１５）との間に位置する膜を有する中間弁。第１の室内に入口及び出口を設けることができる。膜（１９）は、第１及び第２の室間にオリフィスを提供することができる。膜上に第１の電極を設け、第２の室の内側表面上に第２の電極を設けることができる。膜は、第１及び第２の位置又は多数の可変の位置を有することができる。電極（２２、１３）を横切って電圧を適用すると、膜を第２の位置へ移動させることができ、その間、出口（２６）は、入口（２７）との流体連通のために少なくとも部分的に開き、オリフィス（１４）は閉じ、膜（１９）は、第２の空洞（１５）内の流体圧力クッションにより第２の位置で停止し、引き込みを阻止する。電極（２２、１３）から電圧を除去すると、膜は第１の位置へ戻ることができ、オリフィスを開き、出口を閉じる。
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【課題】単結晶シリコンから形成されるダイアフラムのへき開を防止する。
【解決手段】静電アクチュエータ１と、静電アクチュエータ１により駆動させられる単結晶シリコンのダイアフラム２と、ダイアフラム２が往復運動することにより開閉される流路３ａとを備え、ダイアフラム２の外縁領域２ａを単結晶以外の結晶構造に改質する。 （もっと読む）

【課題】 双安定状態を利用して、エネルギー消耗が小さく、さらに弁に作用する流圧が十分でない場合でも、漏れを低減することができる弁を提供する。
【解決手段】 プランジャ２１０と、プランジャ２１０が往復動できる第１領域２２２と第２領域２２４とを有する作動室２２０と、第１領域２２２と第２領域２２４のそれぞれの周辺に設けられて、プランジャ２１０の存在する領域に作動磁界を形成する第１電磁石２３０及び第２電磁石２４０、第１領域２２２と第２領域２２４との間の作動室２２０に設けられて、作動室２２０に流体を流入する流入部２５０、及び第１領域２２２に対して離隔される方向に前記第２領域２２４の終端部に設けられた第２流出口２６０を備えることを特徴とする弁である。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡便なエアーバルブを提供する。
【解決手段】 気体が流入する流入口６と、流入した気体が流出する流出口７と、電圧を印加することで伸縮可能なエラストマー又はポリマーと、前記エラストマー又はポリマーに電圧を印加するために設けられた電極とを有するアクチュエータ２と、を備え、流入口６から流出口７までの流出経路Ｒ１をアクチュエータ２を駆動させて開閉する。 （もっと読む）

弁を通る流体流れを変調するために弁内の流れチャンネルの寸法を選択的に変更できる弁が提供される。弁は空洞内へ延びる入口（１０）及び出口（１２）を備えた、空洞（１４）を画定するハウジング（８）を有する。膜（３０）が空洞内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部が流体経路（１５）の少なくとも一部を画定する。１又はそれ以上の電極（２０）が膜に関して固定され、１又はそれ以上の電極（２２）が、弁を通る流体流れを変調するために膜を静電的に作動できるように、ハウジングに関して固定される。
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界面動電現象を利用する装置に非ニュートン流体を使用して、当該装置を流れる電気浸透流を生成する。非ニュートン流体の非線形の粘度により、界面動電装置は、外部から印加される圧力及び電位等の異なる作動条件下において作動することができる。非ニュートン流体を用いる界面動電装置は、これらに限定されないが、界面動電ポンプ、フロー制御器、ダイアフラムバルブ、及び変位システムを含む多数の用途に使用することができる。
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【課題】充電電源で停電時にアクチュエータを作動して閉弁を行う遮断弁を手動でリセットできるようにする。
【解決手段】電気二重層キャパシタ１１とモータ１２間にスイッチ手段３３を設ける。前記スイッチ手段３３は停電を検出するとオンにしてモータ１２を駆動源とするアクチュエータを作動させて弁体ｂを閉じる。弁体ｂが閉じると前記スイッチ手段３３をオフにしてモータ１２への給電を断つことにより、弁体ｂをリリースして手動でリセットできるようにする。 （もっと読む）