【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）

たとえばバルブの開閉に好適な回転型電磁アクチュエータが提供される。アクチュエータは、ロータ（１０）と、ステータ（１６）と、ロータの回転の少なくとも一部の間、ロータにトルクを印加するための付勢構造（２０、１００、１０２、１０４、１０６）とを備える。ロータに作用する力によって、ロータ用の複数の安定静止位置（２００、３１６、３１８、４００）が、規定され、アクチュエータは、ロータを１つの安定静止位置から別の安定静止位置へと動かすよう制御可能である。付勢構造によって印加されるトルクは、第１の静止位置および少なくとも第２の静止位置ではそれらの位置の選択を可能にするよう十分に低く、その後第２の静止位置を超えると増加するように、ロータの回転位置とともに変化する。
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【課題】パイロットバルブを開弁、閉弁する瞬間に、ピストン上部の圧力は瞬間に下がるため、ピストンの上、下の間に比較的に大きい圧力差を形成することにより、ピストンの運動が推進され、ピストンの止め部品と強く衝突が生じて、製品の使用寿命と冷凍システム運行の安定性に影響を及ぼす。
【解決手段】本発明は、流体入り口１０１と、流体出口１０２と、前記流体入り口１０１と前記流体出口１０２との間に設置されている弁装置１０３と、圧力平衡制御回路１０４とを含む流路開閉制御装置１００であって、前記圧力平衡制御回路１０４において、前記流路開閉制御装置１００が開く・閉じると、前記圧力平衡制御回路１０４を通る流体圧力変化を緩めるための調節装置１０５がさらに設置されることを特徴として、流路開閉制御装置１００は開弁と閉弁において安定になるため、高圧差動作の瞬間に強く振動と騒音が生じる問題を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】弁ロッドの傾動や磨耗を防止して、着座部に対して弁体を安定して着座させることにある。
【解決手段】開閉バルブ３６ａ（ｂ）は、弁ロッド４６ｂを有しインレットポート４０ａとアウトレットポート４０ｂとの連通状態と非連通状態とを切り換える弁体４６と、回転駆動源５６と、回転駆動源５６の回転駆動力が伝達される最終のギヤ５９ｎと、弁体４６と別個の部材からなり、最終のギヤ５９ｎと噛合するラック部６０が設けられて最終のギヤ５９ｎの回転運動を直線運動に変換するラック部材６３と、略Ｌ次状に屈曲して設けられ、弁体４６の弁ロッド４６ｂを支持してラック部材６３の直線運動を弁体４６に伝達する屈曲部６３ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】弁体の位置を確認することで弁体を正確に制御しつつステッピングモータにて移動させることのできる流調弁装置を提供する。
【解決手段】流調弁２８と、ステッピングモータ２６と、減速機構７２とを備えて成る流調弁装置２４において、ステッピングモータ２６からの駆動力を減速機構７２を介して受けるカム部材７６の移動時にカム部材７６が特定の基準位置に位置したことを検出する基準位置検出センサ９０を設ける。そしてその基準位置を、主弁体３６が吐水開始する位置である吐水開始位置と主弁体３６が止水待機状態となる位置の止水待機位置との間の位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】水栓使用時において、使用者に水栓の動的な美しさや品位を感じさせることができ、水栓使用に際して使用者に快適さを感じさせることのできる水栓を提供する。
【解決手段】給水路上に設けた弁体を駆動手段により間接に若しくは直接に駆動して給水流量を制御する弁装置を備えた水栓において、吐水口からストレート吐水を行うときの弁体の開弁速度を、シャワー吐水を行うときの弁体の開弁速度よりも遅くしておく。 （もっと読む）

【課題】バネリターン式の無駄な発熱を減少させて省エネルギー化を図り、同時に、長寿命化も図れるようにする。
【解決手段】バネに抗して弁を開放する方向へ駆動する誘導モータ１０と交流電源１３間にスイッチ手段１２を介してリアクタンス素子１１を接続する。そして、弁の開放時は、交流電源１３と誘導モータ１０を接続することで弁を開放しバネを圧縮する。弁の開放後は、スイッチ手段１２で交流電源１３と前記モータ１０間にリアクタンス素子１１を接続して前記モータ１０に印加される電圧を下げて、前記モータ１０のトルクを低下させる。このとき、リアクタンス素子１１に流れる電流と電圧の位相差はπ／２となるので電力を消費しないため、発熱を抑えるとともに、省エネルギーを図ることができる。 （もっと読む）

【課題】筐体が板金プレス製のガスメータに容易に取り付け可能で、配管内の異物や水分、イタズラなどに対する耐性を持った安価な遮断弁流路ユニットを提供すること。
【解決手段】入口パイプ５１と、下方に配され入口パイプ５１の流路断面積より大きな流路断面積を有する減速室５２と、底面５２ａより高い位置の側面から概ね水平方向に開口された横流路５３と、下向きにガスメータ内部のガス導入室４６に開口する弁座穴５４を有する弁室５６を合成樹脂で一体成形し、弁座穴５４を開閉するための弁体８２を有し、本体に気密構造を内蔵する遮断弁８１を備えて遮断弁流路ユニットを構成したため、配管内の異物や水分は減速室５２で落下し、指や棒状のものなどを差し込んでも弁体８２に容易に触れることができないため、配管内の異物や水分、イタズラなどに対する耐性を持った安価な遮断弁流路ユニットを提供できる。 （もっと読む）

【課題】取り付けコストおよび組み立てコストを実質的に低減することができる、液体塗布用の計量バルブを提供する。
【解決手段】計量バルブは、液滴を吐出することができる閉鎖可能な吐出口４を備え、電磁的な輻射を生成する例えばＬＥＤダイオードまたはレーザ・ダイオードの形式の輻射源１０と、ミラー９と、レンズ７とを含んでいるビーム装置を備えている。可視光領域の輻射１である場合、計量バルブを組み立ておよびアライメントする際に、所望のターゲット位置に液滴が正確に当たるように調整するための補助として可視光を利用することができるので、とりわけ簡便な方法で計量バルブの調整を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、圧電駆動装置、特にマイクロバルブ用の圧電駆動装置に関する。この駆動装置は、給電のために逆極性の２つの電極からなる少なくとも１つの電極対（０３）を備えた圧電層（０１）の一つの面に結合されている変形層（０４）を含む。本発明によれば、電極対（０３）の逆極性の両電極が、圧電層（０１）の変形層（０４）とは反対側の面に共通に配置されている。更に、本発明は、少なくとも１つの弁通路（０８，０９）と該弁通路を開放又は閉塞するダイヤフラム（０４）とを備え、ダイヤフラム（０４）が同時にこの種の圧電駆動装置の変形層を形成しているマイクロバルブに関する。 （もっと読む）

【課題】シール性を向上させた遮断弁を提供する。
【解決手段】スライド駆動機構１０と、スライド駆動機構１０に摺動可能に装着した軸１１と、出口３を閉止するため軸１１の端部に設けた弁体５と、弁体５を出口３の方向に付勢するスプリング１２とを備え、弁体５は、出口３に当接可能な柔軟性を有した弁ゴム９と、弁ゴム９の出口３に対向する面の裏側に配設され軸１１と接合された弁ゴム受け６とで構成され、弁ゴム９は、周囲に弁ゴム受け６裏側まで包み込む第１の保持部７と中央にラジアル方向で弁ゴム受け６に勘合する第２の保持部８を有する。 （もっと読む）

【課題】開閉弁の開閉状態を把握出来るようにする。
【解決手段】コイル１５を有するステータ１４と、コイルへの通電による励磁により回転するロータ１６と、ロータの回転軸１８と、ステータ１４とロータ１６の間に設けられた隔壁２３と、ロータの回転位置検出手段２１、２３とを備えている。これによって、ロータ１６の回転位置検出手段２１、２３によりロータ１６の位置を把握することが出来ると共に、ロータ１６をステータ１４と異なる環境下で動作する電動機を実現することが出来る。 （もっと読む）

【課題】遮蔽機構の隙間から空気流路内に空気が漏れるおそれを減らすことができる空気調和システムの提供。
【解決手段】空気調和機１は、空気を搬送するための吸排気ダクト６と、吸排気ダクト６に設けられており吸排気ダクト６を流れる空気の流通を遮蔽することが可能な空気流路切り換え機構３０とを備えている。空気流路切り換え機構３０は、吸排気ダクト６を流れる空気が通過する開口３６，３７が形成されている下部ケーシング３２と、シャフト４７，９７と、押え板４８，９８と、パッキン４９，９９と、バネ部材４７ａ，９７ａとを有する。シャフト４７，９７および押え板４８，９８は、下部ケーシング３２の表面に対して交差する方向に移動することで、開口３６，３７に近接または離反する。パッキン４９，９９およびバネ部材４７ａ，９７ａは、弾性変形可能な部材であって、シャフト４７，９７および押え板４８，９８が開口３６，３７に近接するように移動した時に押え板４８，９８が開口３６，３７を塞ぐように付勢する。 （もっと読む）

【課題】ガス遮断弁において、弁駆動部の駆動軸と弁体部の従動軸との連結忘れがあっても弁駆動部により弁体部の遮断弁を回転できるようにすること。
【解決手段】ボールバルブ３６の従動軸４の端部に噛み合い部４１を形成する。従動軸４の噛み合い部４１は駆動軸７側に突出する凸部とする。弁駆動部２の駆動軸７の端部に噛み合い部７１を形成する。駆動軸７の噛み合い部７１は軸Ｌと直交する方向の角溝とする。弁駆動部２により駆動軸７が回転し、駆動軸７の噛み合い部７１と従動軸４の噛み合い部４１とを嵌合させる。駆動軸７に対して従動軸を連結させてボールバルブ３６を開閉する。 （もっと読む）

【課題】遮断弁で開弁状態を保持するために高価なクラッチ・ブレーキを使用しないようにする。さらに、電力ロスや機構部分への負荷を低減し、閉弁時に弁を傷めるウォーターハンマーの発生を防止する。
【解決手段】弁を接続した出力軸とＤＣブラシレスモータ２０を連結する伝達機構に、弁を閉じる方向に付勢するバネを設けた遮断弁に、前記モータ２０を駆動するドライブ回路２１と直流電源２２を備える。そして、バネを巻きながら開弁し、開弁すると直流電源２２からモータ２０へ直流電流を供給し、ステータコイルでロータを吸着して、開弁状態を保持し、高価なクラッチ・ブレーキを使用せずにモータ２０の回転を抑えて電力ロスを少なく、かつ、機構部分の負荷も低減する。また、閉弁（緊急）時に前記電流を調整し、弁５の急激な締め切り動作を防止して、ウォーターハンマーを防止する。 （もっと読む）

バルブ装置であって；
複数の開口部を有するボディ部、
前記ボディ部の内部に配置されるバルブシート、
前記ボディ部の前記複数の開口部のうちの１つの開口部に対応し、流体が流れ得るポート部と、該ポート部と流体連結し、前記バルブシートに対して封止するよう構成され、それによって当該バルブ装置を通るフローを妨げるノズルと、を有するエンドストップ、
を含み、
当該バルブ装置は、前記バルブシートに対する前記ノズルの相対運動により開閉可能であり、
さらに、
前記バルブシートに対する前記ノズルの位置を独立して調節できるように構成される調節手段、
を含むバルブ装置。

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マイクロバルブ・デバイスは、本体と、本体に対して移動するように支持されたバルブ要素と、バルブ要素を正常な移動範囲で移動させるようにバルブ要素に動作可能に接続されたアクチュエータとを含む。移動制限構造は、バルブ要素およびアクチュエータのうちの少なくとも一方と動作可能に協働して、破壊応力の限界を超えることによって本体、バルブ要素、またはアクチュエータが破壊するのを防止するために、バルブ要素またはアクチュエータが正常な移動範囲の外に移動する距離を効果的に制限する。こうした移動制限構造を有するマイクロバルブを形成する方法も開示する。
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【課題】異物の侵入などによって弁体部に開閉不良が生じた場合、確実にこれを検出することが可能なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１２は、開閉検出手段２６を構成する第１の電極（可動電極）を兼ねている。また、第２の基板２０の溝部２２において、ダイアフラム１２と対面する位置に、開閉検出手段２６を構成する第２の電極（固定電極）２８が形成される。 （もっと読む）

【課題】カム部材の回転により操作軸を２次側から移動操作し、弁部を開閉方向に動作させるようになした給水制御バルブにおいて、操作軸とバルブボデーとの間を水密にシールするＯリングが固着を起した場合においても、良好に弁部を動作させ得るようにする。
【解決手段】給水制御バルブにおいて、操作軸５６を２次側の流出水路３４を通り延出させて、弁部を操作するようになすとともに操作軸５６をＯリング８６にて水密にシールする。そして操作軸５６をカム部材６２と、ばね部材８０の付勢力にて移動させるようにするとともに、カム部材６２には逆方向回転時に操作軸５６の側の被係合ピン９０に係合して、引込力を操作軸５６に作用させる係合部９６を設けておく。 （もっと読む）

【課題】カム部材の回転により操作軸を２次側から移動操作し、弁部を開閉方向に動作させる形式の給水制御バルブにおいて、弁部が全開状態の下で操作軸とバルブボデーとの間を水密にシールするシール部材が固着を起した場合であっても、その固着を解除して良好に給水制御動作を行わせ得るようにする。
【解決手段】給水制御バルブ24において、操作軸56を２次側の流出水路34の側から延出させて主弁36を操作するようになすとともに、操作軸56とバルブボデー30との間をＯリング86にてシールする。また回転運動により操作軸56を駆動するカム部材62と、操作軸56をカム面70側に付勢する通常動作用の第１ばね部材80とを設け、更に操作軸56の上向きの前進移動時において、操作軸56が主弁36を全開とする位置の直前位置に到ったところから全開とする位置に到るまでの設定微小ストローク範囲内だけ、操作軸56に後退方向の付勢力を作用させる第２ばね部材90を設けておく。 （もっと読む）