【課題】切り換える流路の数が増えても大型化せず、流路に設けた弁の可能な限り多くの、好ましくは全ての開閉パターンを確保することを可能にする四方弁等の電動弁を提供する。
【解決手段】電動弁は、複合カム部材１５０は、弁体１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃを選択的に押し上げるため、係合部として設けられているフランジ部１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃの複数種類の各高さに応じてロータの径方向に並び、且つ周方向に弁体１２０の係合部が係合する凸部が形成された複数の環状のカム部（内側のカム部１５１と外側のカム部１５２）を備えている。切換えの数が増えて、そのために弁体１２０の数が増えることがあっても、フランジ部１２２の高さの種類に応じた数の環状のカム部１５１，１５２が設けられているので、各弁体の開閉する動作パターンが数多く、好ましくは全ての開閉パターンにまで用意し、実情に適した一つの開閉パターンを選択することができる。 （もっと読む）

【課題】低い電圧で駆動するとともに、小型・軽量化が可能な流量調整デバイスを提供すること。
【解決手段】流量調整デバイス１０は、流体が流れる管１００内に設置され、流体の流量を調整する流量調整デバイス１０であって、第１の電極層１と、第１の電極層１と対向するように設けられた第２の電極層２と、第１の電極１と第２の電極２との間に設けられた、変形層３および電解質層４とを有し、酸化還元反応により変形層３の体積が膨張または収縮することにより、流体の流量を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】電動弁の雌ねじ部材の雌ねじ部と下端部との間で芯ずれが発生せず、バリの発生を防止できて電動弁の製造コストの低減に繋がる雌ねじ部材を提供する。
【解決手段】雌ねじ１ａが形成された雌ねじ部１ｂと、雌ねじの中心軸方向に突出し、その中心軸を中心とした回転方向に作用面１ｋを有する突起１ｆとを備え、樹脂により一体成型された雌ねじ部材１において、突起は、作用面から雌ねじの中心軸を中心として螺旋状に一周分傾斜する螺旋状傾斜面１ｅを備え、作用面の高さＨは、雌ねじのピッチＰ以下である雌ねじ部材等。前記突起を全開固定ストッパとし、弁座を備えた弁本体と、該弁本体に取り付けられた前記雌ねじ部材と、ロータ及びステータを有するモータと、前記雌ねじ部材の雌ねじに螺合すると共に前記ロータにより回転駆動され、前記全開固定ストッパに当接可能な全開可動ストッパを有する弁軸とを備えた電動弁を構成することができる。 （もっと読む）

【課題】耐用寿命を短縮しかねない機械的磨耗を受けにくい、ソレノイド駆動空気圧弁によって得られる機能が制限されにくい、さらに、ソレノイド駆動空気圧弁が、電力の損失の場合に通電位置を維持することができる弁アセンブリを提供する。
【解決手段】弁チップは、第１および第２の面および第１および第２の面との間にある開口１１９を有する基板１０１と、開口の少なくとも１つに関連付けられた、基板の面の一方にある複数の可撓性弁フラップ１１７とを含みうる。弁チップは、開口を有するフレームを形成し、フレームの開口に弁チップを固定することによってパッケージングされていてもよい。特に、弁チップは、基板の第１および第２の面の中央部分が、フレームにある開口を通って露出され、フレームと基板の縁部との間に流体シールが設けられるように、開口に固定されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化することが可能なバルブ装置を提供する。
【解決手段】バルブ装置１には、流体が流入する流入部と、流体が流出する流出部２１と、流入部と流出部２１とを繋ぐ流路２２とが形成されるとともに、バルブ装置１は、流路２２内に配置され流入部または流出部２１を開閉するための弁体２と、弁体２を駆動する弁体駆動機構３とを備えている。弁体駆動機構３は、駆動用磁石６を有するロータ４と、駆動用磁石６の外周面に対向するように配置される極歯１３ｄおよび極歯１３ｄの外周側に配置される駆動用コイル１１を有するステータ５とを備えている。流入部、流出部２１、流路２２および弁体２は、駆動用磁石６の内周側に配置されている。ロータ４は、弁体２に結合される結合部材９を備え、ロータ４が回動すると、弁体２が回動して流入部または流出部２１を開閉する。 （もっと読む）

【課題】気体噴出時間が長くなる場合でも、気体を安定して供給することができる圧電式バルブを提供する。
【解決手段】外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室及び該気体圧力室から前記圧縮気体を排出する気体排出路が形成されるバルブ本体と、前記気体圧力室に配置され前記気体排出路を開閉する弁体と、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、前記圧電素子の変位を拡大し前記弁体に作用させる少なくとも一つの変位拡大機構と、前記圧電素子に電圧を印加して前記弁体を開弁動作させ前記気体排出路を開放する駆動手段と、を備えてなる圧電式バルブにおいて、前記駆動手段は、開弁時における前記気体排出路からの気体噴出量の変動を抑止するよう前記圧電素子に対し多段階に電圧を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体と弁座との間における異物の噛み込みを抑制する排気ガス再循環装置を提供すること、を特徴とする。
【解決手段】本発明の一態様は、エンジンの排気通路に接続し排気ガスを流入させる流入口１４と、エンジンの吸気通路に接続し排気ガスを流出させる流出口２６と、流入口１４と流出口２６との間にて開閉弁する弁体１８および弁座２０とを有する排気ガス再還流装置１Ａにおいて、開弁時に弁体１８を流入口１４の方に向かって移動させることにより、弁体１８と弁座２０との間の開口部３６にて流入口１４に遠い側の部分４０の面積を流入口１４に近い側の部分３８の面積よりも大きくすること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁室の内部に配置される内側磁石と弁室の外部に配置される外側磁石との間の磁気的吸引力を利用して弁体を移動させるバルブ装置において、装置を小型化することが可能なバルブ装置を提供する。
【解決手段】バルブ装置１は、内部に弁室が形成されるケース体７と、弁室に通じる流出部を開閉するための弁体と内側磁石とを有し弁室の内部に配置される内部移動体と、内側磁石との間で磁気的吸引力が作用する外側磁石を有し弁室の外部に配置される外部移動体９と、駆動用コイルまたは駆動用磁石の一方を有するステータ３３と、駆動用コイルまたは駆動用磁石の他方を有しステータ３３に対して相対回動可能なロータ３２とを備えている。このバルブ装置１では、ロータ３２が回動すると外部移動体９が略直線状に移動し、外部移動体９が略直線状に移動すると、内側磁石と外側磁石との間の磁気的吸引力で内部移動体が略直線状に移動して、流出部を弁体が開閉する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で作製に手間がかからないマイクロポンプ、マイクロバルブおよび送液制御装置を提供する。
【解決手段】貫通孔１１を少なくとも１つ形成した形状記憶合金シート１２と、チューブ状の弾性部材１３と、形状記憶合金シート１２に電流を流すための電極１４，１５と、電極１４，１５に電圧を印加して電流を制御する制御部１６と、を備え、弾性部材１３は、形状記憶合金シート１２の貫通孔１１に挿入されて、固定されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いて、より高速で、高応答な流体の制御を行う装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路１１の途中に形成された孔１２を上流側から閉塞する栓１３と、電圧の印加により伸長する圧電素子１４と、圧電素子１４の一端部を固定する固定材１５と、圧電素子１４の他端部と栓１３とを繋ぐ張力材１６とを備え、圧電素子１４に電圧を印加することで圧電素子１４を伸長させ、圧電素子１４によって張力材１６を引っ張ることで栓１３を開栓する。 （もっと読む）

【課題】筐体の一部を構成する部材の微小な反りを低減し、流体制御の信頼性を向上させた流体装置を提供する。
【解決手段】弁室上壁板３、側板５Ｃ、及び弁室下壁板６（第２の部材）とコーティング膜における２つの長辺の部位のそれぞれが、長辺の部位の長手方向に沿って長辺の部位の短手方向の両側から複数の切り欠きが長辺の部位の中心線に重なるように形成されている。そのため、発熱によってコーティング膜及び第２の部材がＡ方向に膨張する時、コーティング膜及び第２の部材における各切り欠きの両側の部位が各切り欠きの領域へ伸びる方向に力が加わる。さらに、冷却によってコーティング膜及び第２の部材がＢ方向に収縮する時、コーティング膜及び第２の部材における各切り欠きの両側の部位が各切り欠きの領域から縮む方向に力が加わる。よって、冷却後、第１の部材と第２の部材との接合部分全体に残留する応力が低減する。 （もっと読む）

【課題】従来のものでは、ガスは流入管を通ってハウジング内に横方向から流入する。そして、ハウジング内で流れ方向を下向きに変えられ、弁口を通って流出管から流出する。このようにハウジング内でガスの流れが約９０度変更されるので、流入管から流出管へのガス通路の流路抵抗が大きくなり、圧力損失が生じる。
【解決手段】可動電磁石４の上流側に、ガスが流入する流入管１３を上記中心軸線に沿って形成すると共に、弁口の下流側に連なりガスが流出する流出管１１を同じく中心軸線に沿って形成し、流入管１３から流出管１１に向かってガスが中心軸線に沿って流れるようにした。 （もっと読む）

【課題】停電時に電源を用いずに電動真空弁を閉弁すること。
【解決手段】
第１ポート５１と第２ポート５２と、弁室５３と、弁座５４と、を備える弁部２２と、ステッピングモータ２７に接続した送りねじ３４と、シャフト３６と、送りねじ３４とシャフト３６により構成される送りねじ機構と、シャフト３６の回転を止める回転止手段と、シャフト３６の先端に取り付けられた弁体４２と、復帰ばね４４と、を有する電動真空弁２１において、停電時に、ステッピングモータ２７のステータとロータの間にディテントトルクが発生すること、復帰ばね４４の推進力がディテントトルクを送りねじ機構により変換した抵抗力より大きいことにより閉弁するものである。 （もっと読む）

【課題】小型モータで開閉可能な高圧シャットバルブ機構を提供する。
【解決手段】バルブ本体１０とアクチュエータ５０とからなり、バルブ本体は、主弁孔１５を開閉する主弁体２０と、主弁体に設けられたパイロットポート２１と、パイロットポートに先端部が挿入された操作軸６０とを備える。操作軸には、第１の位置に移動したときパイロットポートを閉じ、第２の位置に移動したときパイロットポートを開くパイロット弁部６１と、第３の位置に移動したとき、主弁体と係合して主弁体を開き方向に変位させる係合部６３とが設けられている。アクチュエータは、キャン型のモータハウジング５１、ステータコイル５２、ロータ５４、直線移動可能且つ回転不能に支持された出力シャフト５７、ロータの回転を出力シャフトの直線運動に変換するリードスクリュー機構５３を有する直進モータよりなり、操作軸が出力シャフトに一体結合されている。 （もっと読む）

【課題】回転体とそれを支持する部材との摺動抵抗を抑え、軸受等の部品の削減や部品の加工性向上などにより製造コストを抑えたリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】ケース５２内に、駆動源としてのモータ１０と、該モータ１０の回転動力を直線動力に変換し被駆動体に伝達する直動変換機構とを備えるリニアアクチュエータ１において、前記直動変換機構は、前記モータ１０のロータ１４によって回転されるリードスクリュー１８と、該リードスクリュー１８に螺合し前記被駆動体と連繋されたキャリッジ２０と、該キャリッジ２０の回転を阻止する回転阻止部材３０、４０とを有し、前記ロータ１４とリードスクリュー１８は、一体的に形成されるとともに前記ケース５２に固定された固定軸１６に回転自在に支持されている。 （もっと読む）

【課題】回転体とそれを支持する部材との摺動抵抗を抑え、軸受等の部品の削減や部品の加工性向上などにより製造コストを抑えたリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】駆動源としてのモータ１０と、モータ１０の回転動力を直線動力に変換し被駆動体に伝達する直動変換機構とを備えるリニアアクチュエータであって、直動変換機構は、モータ１０のロータ１４によって回転されるリードスクリュー１８と、リードスクリュー１８に螺合し被駆動体と連繋されたキャリッジ２０と、キャリッジ２０の回転を阻止する回転阻止部材（第一の回転阻止部材３０および第二の回転阻止部材４０）とを有し、ロータ１４とリードスクリュー１８は、それぞれ別々に固定軸１６に回転自在に支持されるとともに、両者の間には緩衝部材であるＯリング１６が介在されている。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】ピエゾインジェクタにおいて、圧電素子の積層体２が伸長しても、ベローズが積層体２の伸長に対し抵抗として作用するのを抑制する。
【解決手段】積層体２が伸長すると、ベローズ組立体２４において、小径ベローズ２７が伸長するとともに大径ベローズ２６が短縮する。この結果、小径ベローズ２７が伸長することで積層体２の伸長に対する抵抗を増しても、大径ベローズ２６が軸方向に短縮することで積層体２の伸長に対する抵抗を減ずるので、ベローズ組立体２４によれば、単一のベローズに比べて、積層体２の伸長に対し抵抗として作用するのを抑制することができる。以上により、ピエゾインジェクタにおいてベローズ組立体２４を採用することにより、単一のベローズを使用する場合に比べて、積層体２の伸長に対する抵抗を抑制することができる。 （もっと読む）