【課題】ウエハが出し入れされる方向に対して斜めに開閉駆動されるゲート弁において、プラズマが回り込みやすい側のシール部材の劣化を抑制する。
【解決手段】ゲート弁は、プラズマ処理装置のチャンバに対してウエハが出し入れされるゲートに設けられ、ウエハの出し入れの方向に対して斜めに交差する斜め方向に開閉駆動される。ゲート弁は、本体部１と、本体部１に設けられ、ゲート弁が閉じたときに、ゲート１０の周縁部に当接するシール部２と、本体部１におけるシール部２が設けられる面から突出し、シール部２の前方において、プラズマが回り込みやすい側に隙間の狭隘部３０を形成する突出部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】 弁ディスクに偏磨耗を生じることがなく、長寿命なディスク式スチームトラップを提供する。
【解決手段】 入口４と出口５を有する本体１に蓋体２を固着して内部に変圧室３を形成する。変圧室３の中心に開口する噴出孔６を設けて入口４と変圧室３を連通し、噴出孔６の外周囲に開口する環状溝８を設ける。噴出孔６と環状溝８の間に内輪弁座９を形成すると共に、環状溝８の外周囲に外輪弁座１０を形成し、環状溝８から排出孔７を設けて変圧室３と出口５を連通する。内輪弁座９と外輪弁座１０に離着座する円板状の弁ディスク１１を変圧室３に配置する。弁ディスク１１の下部に案内棒１２を取り付け、その外周に螺旋状の溝１３を取り付ける。
弁ディスク１１が開閉弁する場合に、噴出孔６でガイドされることで、弁ディスク１１の傾斜を防止して、偏磨耗を生じることがない。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

【課題】ガスが漏れない方法で隔離することができる半導体または基材加工プロセスチャンバ内に半導体素子または基材を移送するためのフラップ移送弁を提供する。
【解決手段】第一の密封平面４１上に存在する第一の密封表面３により、フレームの形態に取り囲まれた細長い第一の開口部１と、第一の密封表面３に対応し、第二の密封平面４２上に位置する第二の密封表面９を有する細長い弁閉鎖体ビーム４とを有し、支持体４０は、弁閉鎖体ビーム４の背面７上に配置され、支持体４０上には、旋回可能な接続部４３を介し、傾斜軸４４を中心として、限定された旋回角度を通して旋回することができるように、弁閉鎖体ビーム４が配置されている。支持体４０は、弁閉鎖体ビーム４と合わせて、旋回軸受６０により、旋回軸１０を中心として旋回することができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクト性、低作動力性、素早い応答性、及び信頼性と経済性を備えたベローズバルブを提供する。
【解決手段】ベローズバルブは、弁体３が弁座面から直角方向に移動して弁座口８を開閉するバルブにおいて、弁体３は、弁座９に当接する当接部材、弁体３の中心軸に沿って配置された突き当てシャフト１３、及び、突き当てシャフト１３を包囲するように設けられ一端が当接部材の裏面に接続され他端が突き当てシャフトの後部に接続されたベローズ１２を具備し、弁座口８の中心に位置して突き当てシャフト受け部材１９を設け、当接部材が弁座９に当接する前の半開状態において突き当てシャフト１３と突き当てシャフト受け部材１９とが当接するように設定し、弁体３の当接部材を開閉方向に駆動するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力から予圧圧力値（Ｏリング４９のリーク開始位置）を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

【課題】従来の燃料流量制御装置は、回転軸の一端と流量制御弁箱との間の隙間に潤滑剤を充填した樹脂を設けることで第２流路への加圧燃料の流入を防いでいたので、回転軸の回転による樹脂の摩耗が発生し、装置としての寿命が短くなっていた。
【解決手段】本発明による燃料流量制御装置は、回転軸２の一端２ｂと流量制御弁箱５との間に非接触のラビリンスシール１０を設け、このラビリンスシール１０によって、第１流路３から第２流路４への加圧燃料６の直接的な流入を防ぐ構成である。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な構成で自励振動を効果的に抑制できる電磁弁を提供する。
【解決手段】液圧制御弁１０１においては、エアブロック１３０が弁室１４１側からプランジャ１２２の連通孔１２７を覆うように配設される。一方、そのエアブロック１３０の形状および鉄心１３６の埋設によりその重心が軸線位置からずらされており、その回転位置が常に同じ位置にて落ち着くように構成されている。そして、その重量の軽い切欠部１３５により、上方に開口した導出ポート１０５と弁部との間に常に導出通路１６１が形成されるようにしている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低流量域における圧力調整弁の振動を防止することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る圧力調整弁は、ダイヤフラム１５によって仕切られた制御圧室Ｃと圧力調整室Ｐと、ダイヤフラム１５と共に軸方向に変位するバルブ本体１７と、バルブ本体１７が接離するバルブシート２３とを備え、圧力調整室Ｐ内の流体によるダイヤフラム押圧力が制御圧室Ｃ側からのダイヤフラム押圧力よりも大きいときに、ダイヤフラム１５がバルブ本体１７をリフトさせて流体排出通路２２を開く構成の圧力調整弁であって、バルブシート２３に対するバルブ本体１７のリフト量Ｘが150［μm］よりも小さい範囲では、流体排出通路２２を流れる流体流量Ｑ［リットル／時間］とリフト量Ｘ［μm］との関係が、Ｑ÷Ｘ＜0.46となるように、バルブ本体１７とバルブシート２３との形状、及び流体排出通路２２の径寸法が設定されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造によって強い閉塞力（＝押し付け力）が実現される真空バルブを提供する。
【解決手段】駆動装置は前記バルブディスク（６）の内部空間（１９）に配置された駆動ピストン（２０）をさらに備えている。駆動ピストン（２０）は出口部（３）よりも径方向外側に広がっている周辺部分を有し、当該周辺部分には出口部（３）に向けられている側にタペット（２３）が設けられている。タペット（２３）はバルブディスク（６）の内部空間（１９）から外に動かされ、バルブディスク（６）の閉位置において出口部（３）の横領域でバルブケース（１）に当接し、バルブディスク（６）をバルブシート（１３）に押し付ける。また、タペット（２３）はバルブディスク（６）を閉位置から中間位置に動かすために駆動ピストン（２０）が動くことによりバルブケース（１）から離反可能である。少なくとも１つのバネ要素（３１）がシャフト（８）の軸方向に動かすことによってバルブディスク（６）を中間位置に動かす。 （もっと読む）

【課題】 内部に設けられた弁座を閉じる際に、弁部材が過度に弁座に押圧されることがなく、よってバルブを開く際により小さな駆動トルクによって上記弁部材を弁座から離間させることができるバルブユニットの制御方法を提供する。
【解決手段】 弁部材によって弁座を閉じる際に、ステッピングモータに、弁部材が弁座を閉じるに必要なパルス数以上のパルスを与えてステッピングモータを回転させ、送りねじを位置Ｐ₁以上に変位させて弁部材を弁座に当接させ、さらに送りねじを位置Ｐ₂まで変位させて弁部材を弁座との間で圧縮させた後に、ステッピングモータに、上記回転方向と逆方向に回転させるパルスを与えて、送りねじを位置Ｘまで逆方向に直線運動させることにより、弁部材を、当該弁部材の上記圧縮を緩和させるとともに上記弁座に対する閉塞状態を保持する位置に留めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の高い真空性を保つことができ、表面が非粘着性であり、かつ優れた耐プラズマ性を兼ね備えた半導体製造装置用バルブの弁体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】弁体本体１のシール側部分にエラストマーシール材３が一体化された半導体製造装置用バルブの弁体であって、前記弁体本体のシール側部分に、金属、金属酸化物、金属チッ化物、金属炭化物およびそれらの複合物からなる群より選ばれる１種以上の金属または金属化合物を含むコーティング膜を有する半導体製造装置用バルブの弁体である。 （もっと読む）

【課題】コンパクトかつ、長寿命で、安価な真空弁の提供
【解決手段】シリンダ部１２と、弁本体３１に備える第１ポート３２と、第２ポート３３と、弁座部３４と、可動軸２３に接続され弁座部３４と当接、離間するシール部材３５部材を備える弁体２４と、を有する真空弁１において、シリンダ部１２が、第１ピストン４５と第２ピストンを備え、第１操作ポート２５に圧力流体が供給されることで、第１ピストン４５及び第２ピストン４６が受圧し移動して、第２ピストン４６が、シリンダチューブ内当接面２１ｄに当接した際、第１ピストン４５と端部当接面４５ｄとの間に空間を有するので、さらに第１ポート３２と第２ポート３３を遮断する側に移動し、第１ピストン４５の押圧力のみが、弁座部３４に当接するシール部材３５への圧力となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の特徴は、互いに対して並進的に可動である２つの部品のみが与えられ、例えば、密閉に対する高い押圧を許容すること、また、同一の力を有してバルブを開くことを可能とする。
【解決手段】本発明は、筐体におけるバルブ開口の密閉に対して少なくとも１つの可動バルブ部材を有するバルブ機構に係る。個別の可動バルブ部材の運動は、バルブの開閉中、バルブのシート面に対して基本的には平行及び垂直に達成される。開閉中及び開閉の方向で力を伝送する役割を果たすスロット案内を用いて実行される運動において、強い力（ｈｉｇｈ ｆｏｒｃｅｓ）及び低摩耗を達成するよう、スロットガイドは、ドライブプレートにおいて形成されるスロットを有する。該スロットは、可動バルブ部材において相補スロットと協働且つ重畳する。 （もっと読む）

【課題】 作動ロッドの進退作動における潤滑条件の改善によって従来に比してより高い耐久性を有する流体用作動弁を提供する。
【解決手段】 駆動手段５により作動ロッド４を進退作動させて弁体３を弁座２２に向けて進退させ、弁体と弁座との間の隙間量である弁開度を変更して流量変更を行う。作動ロッドに潤滑剤封入孔７１を形成し、Ｏリング６１，６２と保持筒２８との間の摺動部に対し連通孔７２を開口させて補給口とする。潤滑剤封入孔の基端を流体に臨んで開口させて流体圧導入口７１１とし、内部に封入した潤滑剤に対し流体圧を背圧として作用させ、この背圧により、摺動部での潤滑剤の減少に伴い潤滑剤封入孔から潤滑剤を自動補給させる。 （もっと読む）

【課題】 弁体を弁座に均一なシール力で接触させることができるシール性に勝れた真空バルブを得る。
【解決手段】 ２つの主ポート１１，１２を結ぶ流路中の弁座１４を開閉するポペット式の弁体１５を、連結機構３を介して弁シャフト１７に取り付けると共に、この弁シャフト１７にピストン４２を取り付け、このピストン４２で上記弁体１５を開閉操作するようにした真空バルブにおいて、上記連結機構３により弁体１５に、弁シャフト１７の軸線に対して傾斜する方向の自由度を付与する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ピストンの推力を抑えて弁座のシール性を向上することができ、かつ製作コストを抑えることができ、配管設計や装置設計がしやすくなり、さらにコンパクト化を図ることができるエアオペレイトバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリンダ１２の内側にピストン２２を備えるものであって、エアを供給することによりピストン２２を弁本体１１側に移動させて弁閉状態とするＮＯタイプまたは複動タイプのエアオペレイトバルブにおいて、シリンダ１２の内径よりも小さい内径の内周面１４ａを備えるカラー１４を有し、内周面１４ａをピストン２２が摺動することを特徴とする。 （もっと読む）

一実施形態において、開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口（１１５）と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口（１１７）とを有するバルブハウジング（１０５）を含むスリットバルブ（１０１）が提供される。該スリットバルブはまた、該第２の壁に接触して、かつ該第２の開口を封止するように適合された封止部（１０７）と、該封止部に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材（１０９）とを有する閉鎖部材（１０３）を含む。該スリットバルブはさらに、（１）該封止部を該第２の壁に向かって、かつ該第２の壁に接触して移動させるように、また（２）該封止部を該第２の壁に対して支持するために、該支持部材を該封止部から離して、かつ該第１の壁に接触して移動させるように適合された少なくとも１つの作動機構を含む。多数の他の態様が提供される。
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【課題】高真空の用途に適する環状シール体を有する真空バルブにおいて、閉塞力を軽減する弁皿の構成を提供する。
【解決手段】円錐状シール面（５）を備えるバルブ本体（４）と、円錐状シール面（１８）を備える弁皿（６）第１、第２のシール面（２０，２１）を備える環状シール体（１９）からなる真空バルブにおいて、弁皿（６）、バルブ本体（４）及び環状シール体（１９）のシール面の領域を金属で構成し、弁皿（６）は、屈曲形、又は湾曲形に形成され、シール面（５）に隣接する径方向外周部が閉塞方向（１５）となす角度（２８）が９０度以下であり、閉塞位置において、開放位置に対して、外周縁端部（３３）が弾性変形により弁皿の直径の少なくとも０．１％中心軸（２７）方向に変位する。 （もっと読む）