【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、パネル前面が非凝縮性気体のための吸着領域７６と凝縮性気体のための凝縮領域８２とに区分されている。 （もっと読む）

【課題】第３種の気体について高い排気速度をもたらすクライオポンプを提供する。
【解決手段】前部クライオパネル・アレイが開放的な構成であることで、気体を第２段のアレイに向かって集中させるように形作られた放射シールドへの気体の高いコンダクタンスがもたらされる。第２段のアレイは、吸着剤で被覆されたバッフルからなる開放的な構成を有している。実質的にすべての吸着剤が、放射シールドまたは放射シールドの開口への直接の視線を有しており、実質的にすべてのバッフルが、吸着剤で被覆されている。１つの形態において、第２段のクライオポンプ・アレイは、円板をおおむね球形の包絡面を形成するように扇形に配置したアレイを有している。 （もっと読む）

腐食性の流体をポンピングするための複数段の真空ポンプであって、第１の流路の材料は、この第１の流路の下流の第２の流路の材料よりも耐腐食性に劣る材料である。 （もっと読む）

【課題】高い体積比熱を有し、長期間の運転で劣化する恐れがなく、所望の形状に作製可能な、安全でしかも低コストの蓄冷材、当該蓄冷材を有する冷凍機、当該冷凍機を備えるクライオポンプ、および当該クライオポンプの動作方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる蓄冷材は錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む。また、本発明にかかる冷凍機では、少なくとも１つの冷却段における蓄冷材が、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプおよび冷凍機において、各冷却ステージの冷却温度を制御する。
【解決手段】クライオポンプにおいて、冷凍機は、直列に連結された第１シリンダ及び第２シリンダと、第１冷却ステージと、第２冷却ステージと、を含み、周期的に第１シリンダ及び第２シリンダの内部に作動気体を吸入して膨張させて外部に排気することにより第１冷却ステージを第１の冷却温度に冷却し、第２冷却ステージを第２の冷却温度に冷却する。制御部は、第１の冷却温度を目標温度に維持するように冷凍機への作動気体の吸排気周期を制御する。放射シールドは、ポンプ容器の内面に対向する外面を有するシールド基材と、吸排気周期を短くして第２の冷却温度を要求冷却温度よりも低温とするようにシールド基材よりも高い放射率を有する材料でシールド基材の外表面の少なくとも一部を被覆する放射吸収層と、を含む。 （もっと読む）

複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
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【課題】ガス吸着媒体及びこれを備える吸着ポンプ装置を提供する。ガス吸着媒体は、化学結合に関与しない余分の電子を含みイオン価が変化する物質で形成される層が互いに離隔されている多層の層状構造を有する。吸着ポンプ装置は、このガス吸着媒体を備える。気体吸着媒体は、各層の間に空間を確保することによって、広い表面積を確保することが可能であり、気体吸着能力の効率性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの排気性能の最適化を図る。
【解決手段】クライオポンプ１０は、一端に開口部を有する筒状の熱シールド１６と、熱シールド１６内部に配置され、熱シールド１６よりも低温に冷却されるパネル構造体１４と、を備え、パネル構造体１４表面に形成された吸着領域にて開口部から熱シールド１６内部へと飛来する気体分子を吸着により捕捉して排気する。パネル構造体１４は、気体分子が開口部から直線的な飛来経路を経て到達しうる部位に第１の吸着領域が形成され、気体分子が開口部から直線的な飛来経路を経ては到達しない部位に第２の吸着領域が形成され、第１の吸着領域の単位面積当たり排気速度が第２の吸着領域の単位面積当たり排気速度よりも相対的に高くされている。 （もっと読む）

真空ポンプは、２つのステータ部品と、この部品間に流体密封シールを与えるため該部品間に配置されたシールとを含む。シールは、環状補強部材を収容する環状プラスチックチューブを含み、このチューブは、FKMエラストマー及びFFKMエラストマーの１つから形成されたスリーブで少なくとも部分的に取り囲まれている。 （もっと読む）

【課題】低温脆性や部材の変形の問題が生じず、クライオパネルを製作する際に、各部材同士を適正に接合することが可能なクライオパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】冷媒ガスを高圧にする圧縮機と、２段式の冷却ステージを有する蓄冷式冷凍機とを有するクライオポンプ内の、前記冷却ステージの高温段側に設けられ、外部から流体が進入する際の入熱を抑制する入熱抑制部材が設けられたクライオパネルの製造方法であって、当該製造方法は、前記入熱抑制部材を構成する部品同士を接合するステップを有し、該部品同士を接合するステップは、低融点ろう材を用いて、部品同士の接合を行うステップを有することを特徴とするクライオパネルの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】その内部にサーマルスイッチの機能を組み入れることが可能な収着ポンプを提供すること。
【解決手段】収着脱気システムは、その内部に気体分子を吸着するための収着材料を有する伝導性内側容器を含む。内側容器の周りに外側容器が位置決めされており、この外側容器はこれに接続された熱伝達フランジを含む。内側容器と外側容器の間には気体チェンバが形成されている。気体チェンバは、熱伝導性気体をその内部に封止可能に包含するように製作されている。 （もっと読む）

【課題】低温でも蒸発してガスを吸着し得る蒸発型ゲッター材及びそれを用いたゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０は、サマリウム（Ｓｍ）単体からなる。 （もっと読む）

【課題】キャピラリ群両端間に温度勾配を効率的に形成し、高性能かつ小型の熱遷移駆動型真空ポンプ（クヌーセン・ポンプ）を実現する。
【解決手段】多孔質シリコン支持体１とキャピラリ群２は組み立て時に一体化される。多孔質シリコン支持体１とキャピラリ群２は、アルミニウム製ベース１０とパイレックスガラス製キャップ９の間に挟まれ、コネクタとなる密閉空間１３が形成される。外部の赤外光源から照射された赤外光７は、パイレックスガラス製キャップを透過し、キャピラリ群２の表面に形成されたボロン拡散層３に吸収され、熱に変換され、キャピラリ群２の光照射面と裏側の間に温度勾配が形成される。 （もっと読む）

【課題】 外気を真空系配管内に導入させて真空排気を外気で希釈することにより真空系配管ないしは真空ポンプ内における結露の発生を防止し得、しかも極めて安価で簡素な構造でもって真空系配管内に外気を定量的且つ効果的に導入することが出来る真空系における減圧吸引システムを提供すること。
【解決手段】 真空・減圧吸引される対象物１と真空ポンプ４とが真空系配管２を介して接続され、真空ポンプ４を動作させて前記対象物１から真空・減圧吸引を行う真空系における減圧吸引システムにおいて、真空系配管２の一部或いは全部が、気体透過性を有する材質よりなる管材３で形成され、真空・減圧吸引動作時において気体透過性管材３部分を通して微量の外気を真空系配管２内に導入させることにより真空排気を外気で希釈するようにした。
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【課題】吸着容量の増加および高速度排気をともに実現することにより低電力消費を実現するコールドトラップ、および、このような利点を持つコールドトラップにターボ分子ポンプを併用した真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ２０内空間に設置されるコールドパネル２００と、この真空チャンバ２０の内部空間で冷却端１０５が可撓性熱伝導部材１０９を介してコールドパネル２００に熱的に接続されて配置される冷凍機１００と、を備えるコールドトラップ１０とした。また、このようなコールドトラップ１０が設置された真空チャンバ２０内に配管を介してターボ分子ポンプを接続した真空排気装置とした。 （もっと読む）

本発明は真空ポンプで1次真空処理された密閉された容器内の残留気体を化学反応で吸収して高真空を作る事が出来るLCDゲッターに関するもので、特に上記ゲッターの構成成分に水銀を含ませてTFT-LCDの冷陰極蛍光ランプに専用に使えるようにしたものである。
また本発明のゲッターはTFT-LCDの面発光方式である四角蛍光ランプと水銀が微量含まれた高真空ランプそして水銀が微量内在した不活性ガス雰囲気ランプ種類にも使えるようにしたものである。 （もっと読む）