【課題】 変位量の大きいアクチュエータを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるアクチュエータは、基板と、前記基板の上方に形成された下部電極と、前記下部電極の上方に形成された電歪ポリマー膜と、前記電歪ポリマー膜の上方に形成された上部電極と、を含む。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を図りながらも、容積可変部材の反ポンプ室側への作動量を充分に確保すること。
【解決手段】本薬液供給システムは、薬液としてのレジスト液Ｒの吐出時にポンプ１３の作動室内に供給源５２にて加圧した作動エアを導入し、レジスト液Ｒの吸入時にポンプ１３の作動室内の作動エアを真空発生源５４にて吸引して負圧になるように構成される。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、先端ノズルから薬液を滴下させる吐出ポンプの小型化を実現できる薬液供給システムを提供する。
【解決手段】レジストボトル１５の上層空間１５ａに圧縮空気を供給することで吐出ポンプ１１のポンプ室内に陽圧とされた薬液を加圧圧送することにより、ポンプ室内にレジスト液Ｒが充填される。このため、吐出ポンプ１１の可撓性膜を作動室側へ駆動してレジスト液Ｒの吸入動作を行わせるべく、スプリング等を使用するという従来の構成を採用する必要がなくなる。これは、電動機を排除して熱によるダメージを半導体ウェハ１９に与える虞がないのは勿論のこと、吐出ポンプ１１それ自体をより一層小型化できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、閉じられた流体容量空間（１）を形成し、第１の力によって容量縮小の方向に動かされ、先行の容量縮小の後に、第２の力によって容量拡大の方向に動かされる壁装置（３）と、吸込口（６）に連通している入口弁（８）と、流体容量空間（１）の吐出し管（７）に設けられた出口弁（９）とを具備するポンプに関する。
【解決手段】このポンプは、真空ポンプとして形成されており、この真空ポンプの容量は、第１の外力によって、弾性的に変形可能な材料（２）に抗して縮小可能であり、この材料の復元力は、外力の終了後に、生起された真空に作用する第２の力を形成させる。 （もっと読む）

【課題】 形状記憶合金を使用する構造において、薄型化が可能なポンプを提供する。
【解決手段】 流体を流入させる第１逆止弁７を内蔵した流体流入口５と、流体を流出させる第２逆止弁８を内蔵した流体流出口６を下部に設け、ハウジング１内底部に上下方向に伸縮して内容積が変化するピストン体２を配置し、更にピストン体２をその収縮方向に付勢するコイルバネ４、コイルバネ４の付勢力に反してピストン体２を持ち上げる形状記憶合金からなる駆動紐体３をハウジング１内に収容した。駆動紐体３は、両端をハウジング１上部に設けた係止部１３に係止し、コイルバネ４を左右から挟むように、ピストン体２とハウジング１内壁の双方に対称に配置した４つのプーリ１０，１０，１１，１１に掛止した。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成によるエアーポンプを提供する。
【解決手段】 電圧を印加することで伸縮可能なエラストマー又はポリマーと、前記エラストマー又はポリマーに電圧を印加するために設けられた電極とを有するアクチュエータと、前記アクチュエータの往復運動により変形するダイヤフラムと、を有することで、ダイヤフラムを変形させるためにモータやクラッチ等の部品が必要なく、簡易な構成によるエアーポンプを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプの小型化を実現し、併せてモータ一回転一往復よりも早い周波数にて作動する脈動弁ポンプ１を提供する。
【解決手段】逆止弁８，９付の入出力口５，６およびポンプ室７を設けたハウジング２、ポンプ室７に面するダイアフラム１０ならびにダイアフラムを変位させる駆動部１１を有する。駆動部は、ダイアフラムと同軸上に配置されたモータ１２、モータに従動回転する回転プレート１４および往復動可能な振動プレート１５を有する。両プレートは、互いの対向面に設けた倣い面部２０により回転プレートの回転運動を振動プレートの往復運動に変換し、振動プレートの往復運動にダイアフラムを従動させる。倣い面部は、両プレートの対向面に設けられた回転プレートの回転方向に連続する山谷部２１，２２よりなり、その山部を回転プレートの一回転当たり複数設ける。 （もっと読む）

【課題】 小型で、かつ、可動体に大きな推力を作用させることのできるアクチュエータ、およびこのアクチュエータを備えたポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 ポンプ装置１０において、アクチュエータ１は、第１のヨーク４、第１のヨーク４の方に同極を向けて当該第１のヨーク４を挟んで軸線方向に積層された一対の駆動マグネット５、６、および第１のヨーク４の外周端面に対向するとともに一対の駆動マグネット５、６の軸線方向Ｌの外側に位置する各端面に積層された第２のヨーク７を備えた固定体３と、第１のヨーク４と第２のヨーク７の間で第１のヨーク４の外周端面の周りを囲むように配置されたコイル８を備えた可動体２とを備えている。可動体２は、第２のヨーク７によって区画形成された空間内に、第１のポンプ室１１と第２のポンプ室１２とを形成している。 （もっと読む）

本発明は、使い捨てカートリッジ、好ましくは分析技術に使用される使い捨てカートリッジに関する。上記カートリッジは、表面に流路構造が形成された少なくとも１つの第１の部材と、この第１の部材を密封して覆う第２の部材とからなり、所定の位置に作動要素による作用領域が設けられている。本発明によれば、第１の部材と第２の部材のうちの少なくとも一方は大部分が剛性に形成されているとともに、可撓性の領域も有しており、これら剛性の領域及び可撓性の領域は２材射出成形技術を用いて一体に製造されている。
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【課題】 小型で薄いポンプ構成にして吐出圧が高く、振動や騒音が小さい電磁駆動のダイヤフラムポンプの提供。
【解決手段】 円環状の電磁コイル１５、１６の内に永久磁石１４とダイヤフラム１７の凹部１８が入れ込まれ、凹部１８の底部１９に磁極面２０が固着された永久磁石１４が他方の磁極面２１もほぼ同様に固着されて軸方向可動に支持され、凹部１８の底部１９を挟み磁極面２０に吸引配置された軟磁性体プレート２３および同様の配置の軟磁性体プレート２４と電磁コイル１５、１６周りの軟磁性体ヨーク２２で駆動力を強くし、ダイヤフラム１７の外に凸なコルゲーション形状の支持部４５で振動、騒音レベルを低くする。 （もっと読む）

薬物送達ポンプ装置は、（ａ）所定の内部容量を有する治療薬貯蔵室を画定する伸縮可能な収納体と、（ｂ）電場応答性ポリマアクチュエータと、（ｃ）伸縮可能な収納体の治療薬貯蔵室と外部とを接続する流路を提供する治療薬排出ポートと、（ｄ）電場応答性ポリマアクチュエータに電気的に接続され、電場応答性ポリマアクチュエータに制御信号を供給する制御ユニットとを備える薬物送達ポンプ装置を提供する。電場応答性ポリマアクチュエータは、受け取った制御信号に基づいて、伸縮可能な収納体の内部容量を低減する。また、液体治療薬を患者に送達する送達方法は、（ａ）上述した注入ポンプ装置を準備するステップと、（ｂ）排出ポートを患者と流体流通可能に配設するステップと、（ｃ）アクチュエータに、伸縮可能な収納体の内部容量を低減させる制御信号を送信し、治療薬貯蔵室内の治療薬の一部を、排出ポートを介して患者に送達するステップとを有する。
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流路（例：管）の壁に対して周期的な圧縮及び解放を行うタイプのマイクロ流体ポンプの電磁アクチュエータ。少なくとも１つの永久磁石が、流路の壁に接しており、流路に対して放射対称であるコイルによって発生する磁界が存在する領域に配置されている。永久磁石によって流路の壁に対する圧縮及び解放が生じ、それによって流体が流路を流れる。 （もっと読む）

液体の圧力損失を低減し、ポンプ効率を向上させるとともに薄型化を実現する。 圧電ポンプ（１）の流路は、扁平断面形状の圧力室（５０）と、その両端に配置された吸入側流路（７０ａ）および吐出側流路（７０ｂ）とで構成されている。吸入側流路（７０ａ）と吐出側流路（７０ｂ）とは、互いの軸線が同じくなるように、圧力室（５０）の両端に配置されている。また、吸入側流路（７０ａ）および吐出側流路（７０ｂ）内にはそれぞれ吸入弁（２０ａ）および吐出弁（２０ｂ）が配置されている。吸入弁（２０ａ、２０ｂ）はいずれも、液体の流れ方向に対して傾斜するように設けられている。 （もっと読む）