【課題】 圧電素子などの高価で複雑なポンプ駆動源を使用せずに簡単にポンプ動作を行うことができる簡易式マイクロポンプを集積化したマイクロ化学チップを提供する。
【解決手段】 第１の基板と、該第１の基板の一方の面側に接着される第２の基板とからなり、前記第１の基板又は第２の基板の少なくも何れか一方にマイクロチャネルが形成されているマイクロ化学チップにおいて、前記第１の基板に、上部が大気に開口したポンプ室と、弁座と、上部が大気に開口した吐出室とが形成されており、前記ポンプ室と弁座と吐出室とを覆う弁膜構造体が前記第１の基板上面に積重されており、前記弁膜構造体は外周部の型枠と該型枠内側の弁膜とからなり、前記吐出室は前記マイクロチャネルに連通していることを特徴とするマイクロ化学チップ。 （もっと読む）

【課題】 ポンプベローズとピストンや連結板とこれらを連結する軸体の同一軸線上からのずれを防止し、ポンプ寿命を延ばすと共に、ポンプ性能を長期間維持し、ポンプのコンパクト化およびコストダウンも実現することができるベローズポンプを提供する。
【解決手段】 軸体２２の一端側外面には雄ネジ６９を、他端には係合頭部７３を形成し、底付円筒状のポンプベローズ７には底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線Ｘ上に突出形成する内面に雌ネジ７１を有する底付円筒状の軸体ネジ込み部７０を形成し、軸体２２の一端側をポンプベローズ７の中心部に直接ネジ結合により連結する。ピストン１９や連結板６８には係合頭部７３も含めて軸体２２の他端を嵌め込む中心孔７４を形成し、軸体２２又はピストン１９や連結板６８には中心孔７４との隙間を埋めるＯリング７８を装着し、軸体２２の他端側をピストン１９や連結板６８の中心部に嵌合により連結する。 （もっと読む）

【課題】圧電ダイヤフラムポンプにおいて、被駆動ユニットを交換可能とし、駆動ダイヤフラムの振動を効率良く被駆動ユニットに伝達することができるようにする。
【解決手段】圧電ダイヤフラムポンプＰは、駆動ユニット１と、被駆動ユニット２と、固定ユニット３とを備え、被駆動ユニット２は、駆動ダイヤフラム１２からの駆動が伝達される従動膜２４ａを備え、この従動膜２４ａを上に凸形状に形成したことにより、従動膜２４ａは、その中央部から駆動ダイヤフラム１２に接触するので、確実な接触と、高い伝達効率が得られ、高速の駆動にも追従する。 （もっと読む）

【課題】 チャッキ性に優れ、小型なベローズポンプを提供する。
【解決手段】 ポンプヘッド１１を貫通する吸入路２３の左右の出口に一対の吸入側ボールバルブ２５及び２６が、排出路２４の左右の出口に一対の排出側ボールバルブ２７及び２８が形成されている。吸入側ボールバルブ２５、２６は、弁座２５３、２６３が吸入路２３の出口側に向くように設置され、排出側ボールバルブ２７、２８は、弁座２７３、２８３が排出路２４の出口側とは反対側の外側を向くように設置される。 （もっと読む）

【課題】駆動部材をシールする部材の交換等が容易なスピンレス法によりレジスト液を塗布するベローズポンプを提供する。
【解決手段】非圧縮性液体を収容する室をベローズ室２１とシリンジ室４１とに区分けし、ポンプヘッド１０およびベローズ２０を備えるポンプユニット２と、シリンジ本体４０、ピストンロッド５８等の駆動部材、およびパルスモータ５０等の駆動手段を備えるシリンジユニット３と、の２つのユニットからベローズポンプを構成した。ピストンロッド５８の移動によりシリンジ室４１の容積が変化し、非圧縮性液体がベローズ室２１へ流出入してベローズ２０が伸縮する。このように構成することで、長尺のシリンジユニット３を縦置きとすると共に、蛇腹部におけるレジスト液の滞留等を防止するためにベローズ２０の伸縮が水平方向となるようにポンプユニット２を配置できる。また、これらのユニットを着脱自在とすることで部材を容易に交換できる。 （もっと読む）

駆動軸を有するモータと、注入口及び排出口を有する圧縮チャンバーと、ダイアフラムが第１位置と第２位置の間で前後に振れるとき、空気が注入口を通って吸入されるとともに、排出口を通って押し出されるように、圧縮チャンバー内に配置されたダイアフラムと、駆動軸に作動的に接続されたクランク軸と、クランク軸の回転動作によって横方向に変位するように構成されるとともに、その横方向の動きによってダイアフラムを振れさせるように配置されたシャトルと、シャトルの非横方向の動作を防止するように構成されたガイド、とを備える圧縮機が提供される。幾つかの実施例では、圧縮機は、約０．２４Ｌ（１５立方インチ）未満の全容積を占める。
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【課題】 負圧・正圧状態において流体を効率よく循環させる圧電ポンプおよびスターリング冷却庫を提供する。
【解決手段】 圧電ポンプ６は、複数の金属製部材を溶接して形成されるケーシング３２と、ケーシング３２内の空間を作動空間３４と背圧空間３５とに仕切る圧電素子３６と、ケーシング３２と圧電素子３６との間に設けられ、圧電素子３６を保持する樹脂製の内部部品３３Ａ，３３Ｂとを備える。内部部品３３Ａ，３３Ｂは、加工、成型が行ないやすい樹脂で構成される。内部部品３３Ａは、作動空間３４の外周を規定し、内部部品３３Ｂは、背圧空間３５の外周を規定する。内部部品３３Ａ，３３Ｂを対向させることにより、内部部品３３Ａ，３３Ｂ間に凹部が形成され、該凹部内に圧電素子３６が受け入れられて保持される。 （もっと読む）

電気動力式の流体噴霧器は、入口ポートと、出口ポートと、ポンプ・チャンバと、圧電要素に掛けられた電気信号により変形および変位することでポンプ・チャンバの容積を変化させる圧電要素と、を含む圧電式流体ポンプを採用する。かかる変位によれば、入口ポート内へ且つポンプ・チャンバ内へと流体が圧送されると共に、ポンプ・チャンバからの流体は出口ポートから送出される。入口ポートは流体貯蔵器と流通する。圧電式流体噴霧器は、（例えば液体および空気などの）異なる流体を圧送する二重チャンバ式圧電ポンプを含む。二重チャンバ式ポンプから送出される流体は、マニフォルド内で混合されて噴射ノズルの下流へと供給される。 （もっと読む）

【課題】チューブの配設スペースが小さく取れ、種々の流動物、流動物の流動抵抗等の変化に対応でき、チューブの寿命を延ばすことができる小型でシンプルな流動物の圧送力に優れる直線スクイーズ式圧送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の直線スクイーズ式圧送装置１は、チューブ７を挟んで配置され、チューブ７を挟圧する一対の挟圧手段９と、一対の挟圧手段９を保持し、ループ軌道１３上に搬送させる一対の搬送手段１１と、一対の搬送手段１１を同期させて圧送方向に駆動する駆動手段１５とを備えている。またループ軌道１３上には挟圧手段９をチューブ７に沿わせて直線的に移動させる直線搬送部３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 搭載対象の機器の小型化及びコストダウンに貢献できる小型機器搭載用ポンプモジュールを提供することにある。
【解決手段】 ポンプモジュール１は、電動モータ52と、ポンプ10と、伝動部60と、ファン（送気手段）70とを具備する。電動モータ52は回転軸52ａを有する。ポンプ10はモータ52の回転動力により駆動され液体を送出する。伝動部60は、ポンプ10と回転軸52ａとを連結する。気体を送出するファン70は回転軸52ａ又は伝動部60に連結した入力軸71ａを有して駆動される。このポンプモジュール１は、液体を送出するポンプ10と空気を送出するファン70とに対して電動モータ52を共有している。 （もっと読む）

本発明は、一般に、流体移動のための方法、およびこの方法に基づくマイクロ蠕動ポンプに関する。マイクロ蠕動ポンプは、以下：ａ）モーターおよび該モーターにより駆動される第１の力エフェクタを備える作動パーツ；ｂ）カートリッジ本体に取り付けられた弾性膜を備えるカートリッジパーツであって、ここで、該カートリッジ本体に取り付けられた該弾性膜が、該カートリッジ本体内に閉鎖空間を形成し、該カートリッジ本体は、少なくとも３つのチャンバを備え、かつ、該カートリッジはまた、該第１の力エフェクタと相互作用する第２の力エフェクタを備える、カートリッジパーツ；ｃ）該少なくとも３つのチャンバが、入口および出口を有し、該チャンバは、タンデムに封着接続されている、チャンバ；を備える。マイクロポンプの分野の先行技術と比べると、本発明のマイクロ蠕動ポンプは、同等な全体のサイズでより大きな作動力を生じ得る。
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【課題】 ダイアフラムにかかる不規則な方向の応力を低減して、ダイアフラムの長寿命化が図れる電磁振動式ダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】 永久磁石５，６と、永久磁石５，６から生じる磁力に対して相互に吸引又は反発する電磁石２，３との磁気力により往復移動可能な可動子７を有するポンプ本体と、可動子７の両端部に結合され圧縮室１４，１５内に設けられたダイアフラム８，９とを備え、電源周波数に応じて可動子７を往復移動させてダイアフラム８，９を振動させることにより空気を吸入し、この空気を吐出するダイアフラム式ポンプにおける可動子７を、板バネ２４，２５により支持するようにした電磁振動式ダイアフラムポンプ１。
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【課題】 駆動部を有しない逆止弁機能を持つ部材を具備し、従来の逆止弁が流路に設けられたポンプにおける問題点を解決できる容積吐出式ポンプを提供する。
【解決手段】 ダイヤフラム３０を有し内容積が変化するポンプ室２８と、ポンプ室２８の吸入側に設けられ、多孔質膜で形成されて、ポンプ室内の液体圧力が降下するときに吸入側配管２２からポンプ室内への液体の流入を許容し、ポンプ室内から吸入側配管への液体の逆流を阻止する逆止弁機能を持つ吸入側機能膜３２と、ポンプ室２８の吐出側に設けられ、多孔質膜で形成されて、ポンプ室内の液体圧力が上昇するときにポンプ室内から吐出側配管２４への液体の流出を許容し、吐出側流路からポンプ室内への液体の逆流を阻止する逆止弁機能を持つ吐出側機能膜３４と、ポンプ室２８のダイヤフラム３０を作動させてポンプ室の内容積を変化させる手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波を励振する電極上に流路を形成して、より小型のマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、圧電性材料からなる圧電基板１０と、圧電基板１０上に設けられ、圧電基板１０の表面に弾性表面波を励振させる櫛型電極１２と、圧電基板１０上に配設され、弾性表面波が伝搬する伝搬面と共に管状の流路１８を形成するハウジング２０と、櫛型電極１２を駆動する駆動回路２２と、を備えている。流路１８は、中心線ｂの吐出口１６側で流路幅が拡大し、領域Ｂの流路面積Ｓ_Bが領域Ａの流路面積Ｓ_Aより大きくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 小型ながら効率よく、且つマイクロメンブレインポンプが設けられる小型電子機器における空間効率を極大化させるマイクロメンブレインポンプを提供する。
【解決手段】マイクロメンブレインポンプは、流体流入室および流体流出室から区切られたポンプハウジングと、流体流入室に応じた多数の中間流入開口および流体流出室に応じた多数の中間流出開口が形成されたバルブプレートと、中間流入開口および中間流出開口にそれぞれ設けられる流入チェックバルブおよび流出チェックバルブを備えたバルブ組立体と、バルブ組立体との間に所定のポンプチャンバーが形成されるべくポンプハウジングに設けられ、第１位置と第２位置との間に移動可能なメンブレインと、メンブレインを第１位置および第２位置のいずれかに位置するように駆動するアクチュエータとを含む。 （もっと読む）

サクション・ポンプ、特に搾乳ポンプは排出開口（４４、５４、６７）を有する排出弁、排出開口を密閉する排出部（３２）、ならびに排出部を作動させる作動手段（８）を有する。排出部は、弁が開くと、最初に排出開口の一部の領域だけを開放、引き続いてその大部分の領域あるいは排出開口全体を開放するように動作する。このサクション・ポンプは最小の大きさで大きな機能を提供し、さらに安価に生産され、組立てが容易である。
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【課題】 逆止弁（吸込弁及び吐出弁）へ脂成分などが蓄積され難く、また、短時間で簡単に呼び水の汲み上げを行うことができ、しかも、一般家庭における風呂場に容易に設置できるコンパクトな浴槽用循環濾過装置を提供する。
【解決手段】 浴槽の貯め湯を循環させる循環ポンプと該循環ポンプによって循環する貯め湯を濾過する濾過部と該循環ポンプへ呼び水を汲み上げる手動ポンプ機構とを備えた浴槽用循環濾過装置において、前記手動ポンプ機構を濾過部の下流側に設けると共に、該手動ポンプ機構において本体部を伸縮させるハンドルに支点を設けると共に本体部を伸縮動させる作用点を設ける。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】 本発明の第１の形態にかかる圧電体膜５は、
（Ｐｂ_１−ｄＢｉ_ｄ）（Ｂ_１−ａＸ_ａ）Ｏ_３の一般式で示される圧電体からなり、
Ｂは、ＺｒおよびＴｉの少なくとも一方からなり、
Ｘは、ＮｂおよびＴａの少なくとも一方からなり、
ａは、０．０５≦ａ≦０．４の範囲であり、
ｄは、０＜ｄ≦０．５の範囲である。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を実現すること。
【解決手段】
吐出ポンプ１３によるレジスト液Ｒの吐出・吸入動作を、正圧、負圧いずれの設定圧にも調整可能な電空レギュレータ５１を用いた作動エアの圧力調整により行うようにした。これにより、モータなどの発熱源が不要となり、吐出ポンプ１３からの発熱が防止される。そして、吐出ポンプ１３の作動室内を負圧として可撓性膜を反ポンプ室側に作動させることで、スプリング等の付勢手段も不要となるし、電空レギュレータ５１と吐出ポンプ１３とを接続する配管に、正圧、負圧を切り換える切換手段等の構成を設ける必要もなく、吐出ポンプ１３の小型化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 逆止弁及びこれを用いたダイヤフラムポンプにおいて、応答性が良く、弁室を小さくすることができ、気泡の影響を受けにくくすること。
【解決手段】 流体の導入口８ａを有する天壁８と流体の排出口９ａを有する底壁９と側壁とで形成される弁室１１と、弁室１１内で基端が側壁に固定され先端が自由端とされて片持ち状に支持されていると共に導入口８ａ上に配された弁体１２ａと、を備え、底壁９には、弁体１２ａに沿って基端から先端に向けて天壁８から漸次離間するように傾斜する傾斜面９ｂ２を有する弁座９ｂが形成されている。片持ち形状の弁体１２ａが天壁８と弁座９ｂとの間を移動することにより、弁の開閉動作の際、傾斜面９ｂ２を有する弁座９ｂに規制されて弁体１２ａの移動量が小さくなり、開から閉への応答時間が短くなる。 （もっと読む）