【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング８と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング８の外輪８１を軸方向から挟持し、該外輪８１を径方向に移動可能に保持する保持機構４２，４４，４５と、外輪８１の外周側に設けられた弾性部材４６と、を備えている。弾性部材４６は外輪８１の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材４６と外輪８１との隙間４７にオイルやグリスが注入される。弾性部材４６に外輪８１が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間４７にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプにおいて使用されるオイル潤滑転がり軸受から排出される潤滑剤を低減する。
【解決手段】軸１１０と、潤滑剤で潤滑され且つ軸を回転可能に支持する軸受１５０と、軸上に配置されたポンプ作用構造部分１４０、１４２とを備えた真空ポンプ１００において、軸受１５０のポンプ作用構造部分に向けられた側に、軸受１５０における熱によって発生した潤滑剤蒸気を再度液化させて潤滑剤貯蔵装置１５２側に戻す凝縮要素１８０を配置する。 （もっと読む）

【課題】油分を許容しない真空環境下で使用される軸受において、高回転数で使用できかつ長寿命な軸受の提供を目的とする。
【解決手段】内輪２および外輪３と、この内輪２および外輪３間に介在する複数の転動体４と、該複数の転動体４と摺接し保持する保持器５とを備えた転がり軸受１であって、上記保持器５が、金属材料または耐熱性樹脂材料からなり、上記保持器５表面の少なくとも一箇所以上の面に、二硫化タングステン粉末を含有する被膜を形成してなり、該被膜中に占める二硫化タングステン粉末の配合割合が 80 体積％〜95 体積％である。 （もっと読む）

【課題】メカニカルベアリングの寿命判定をより精度良く行うことができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ロータがボールベアリングにより回転自在に支持されたターボ分子ポンプにおいて、ベアリング状態データとしての起動時間カウント値およびモータ電流カウント値は、起動時間カウンタ２０１およびモータ電流積算カウンタにより積算され、演算・判定部２００は、それらの積算値に基づいて判定基準データを生成する。また、演算・判定部２００は、所定時間を経過した後のベアリング状態データ（起動時間カウント値およびモータ電流カウント値）に基づく寿命判定データを取得する。そして、演算・判定部２００は、寿命判定データと判定基準データとに基づいて、ボールベアリングの交換が必要か否かを判定する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、外側軸受環(36)を有する転がり軸受(28)を備えた、特に真空ポンプに適した真空式転がり軸受構成に関する。外側軸受環(36)とハウジング要素(40,50)との間に保持スリーブ(42)が配置されている。転がり軸受(28)からの放熱を改善するために、保持スリーブ(42)は突出部(52)を有している。従って、特には径方向に延びるこの環状の突出部(52)は少なくとも１つの更なる熱伝達面(56,58) を形成している。
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【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

【解決手段】真空装置の回転要素を支持するための転動体軸受が、軸受要素(12,14) 間に配置された複数の転動体(10)を備えている。軸受空間(26)が、例えば、密閉要素(22,24) によって両側で閉じられている。密閉要素(22,24) は僅かなシールギャップ(s) を置いて設けられている。本発明に係る転動体軸受は、圧力が10^-3mbar未満である真空部分で使用される。
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【課題】軸受け用の支持部材であって、高い接線方向摩擦だけでなく、軸受け自体が適切に作動するために必要な、軸方向の予備負荷を得ることができる支持部材を提供する。
【解決手段】外部回転リング119bを有する種類の転がり軸受け107a、107b用の支持部材1であって、回転リングと連携することができる内部部分3、15と、固定用外部部分17と、内部部分と外部部分との間に介在される連結部分19とを備え、連結部分19は円錐台形状の弾性の要素である、支持部材。 （もっと読む）

【課題】グリース封入式の転がり軸受によって回転軸を軸支している分子ポンプにおいて、転がり軸受部の熱を速やかにハウジング側に伝達して該転がり軸受の過熱を防止すると共に、該転がり軸受に発生した振動が前記ハウジング側に伝達されないような分子ポンプの軸受支構造を提供する。
【解決手段】上下の転がり軸受２、３をハウジング４の上部及び下部の円穴６ａ、９ａ内にそれぞれＯ-リング６ｂ、９ｂを介して支承し、更に前記上部円穴６ａの上端部及び前記下部円穴９ｂの下端部にそれぞれフランジ６ｃ又は９ｃを突設して、これらフランジ６ｃ、９ｃの内側面と前記転がり軸受２、３の各外輪の側端面との間にそれぞれグリース・コーティングを施した緩衝板８を介在させた。 （もっと読む）

【課題】特にヘッドが上にくる位置での運転においてその寿命が延長される真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、フランジ（２８）、ロータ（２）および潤滑剤循環回路を備えた真空ポンプ（１）であって、前記潤滑剤循環回路は、潤滑剤貯蔵室（３）および潤滑剤ポンプ（４；４′）を含み、且つロータを回転可能に支持する転がり軸受（５）を潤滑するために使用される、前記真空ポンプ（１）に関するものである。転がり軸受の寿命を上昇させるために、本発明は、前記潤滑剤循環回路の構成部品として、フランジと転がり軸受との間の真空ポンプ内部に潤滑剤回収室（６）が配置されていることを提案する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、少なくとも１つの転がり軸受(16)によりハウジング(12)に取り付けられたロータ(18)を有するターボ分子ポンプ(10)に関する。転がり軸受(16)は非回転軸受環(20)及び回転軸受環(22)を有する。非回転軸受環(20)は、弾性振動リング(14)によりハウジング(12)に取り付けられている。振動リング(14)は、ばね剛性が全周に亘って不均一なように異方性形状となしてある。
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【解決手段】本発明は、ターボ分子ポンプのような高速で回転するポンプに特に適しており、ロータ軸に接続されたポンプロータ(10)を有するポンプ軸受配置に関する。ロータ軸(14)は、２個の軸受配置(12)によって軸ハウジング(20)に支持されている。各軸受配置(12)は、ロータ軸(14)に接続された内側軸受リング(16)と軸ハウジング(20)に接続された外側軸受リング(22)とを有する。軸受支持体(24)が２個の軸受リング間に配置されている。本発明によれば、少なくとも１個の振動要素(26)が、外側軸受リング(22)と軸ハウジング(20)との間に設けられており、振動を減衰すべく機能し、更に放熱のために少なくとも0.3W/mK の熱伝導率を有する。
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【課題】振動適合性を向上させ且つここでロータに作用する力を考慮した軸受装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ロータと固定結合された軸受ロータ（２）とおよび軸受ステータ（３）とを有するロータ（１）の回転可能支持用軸受装置がハウジング部分（４ａ、４ｂ）を備え、この場合、軸受ステータが結合要素（５）と結合され且つ結合要素がハウジング部分に可動支持されている前記軸受装置に関するものである。振動特性を改善するために、ハウジング部分および結合要素がそれぞれ少なくとも１つの平面を有し、およびこれらの平面が相互に平行に且つ向かい合って配置されていることが開示される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つの転がり軸受により支持された高速回転ロータを有する真空ポンプの寿命を上昇させる。
【解決手段】本発明は、高速回転ロータと、内輪および外輪を有し、それらの間で内輪および外輪により形成された中間空間内に保持器および転がり本体が配置されている、ロータを回転可能に支持する転がり軸受とを備えた真空ポンプに関するものである。転がり本体への潤滑剤の連続供給を保証するために、保持器が、内輪に向けられたその表面の一部分内にねじ山状溝を有することが提案される。 （もっと読む）

【課題】ボールの転走を抑制することで、その耐久性を向上させることができるタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】磁気軸受で支持される回転部材３０に、内輪８又は外輪７の一方が対向して配置され、当該内輪８と外輪７の間に、保持器１０で保持されるボール９を組み込んだ磁気軸受装置のタッチダウン軸受。前記保持器１０は、前記内輪８又は外輪７の端面８ｂ、７ｂより、軸方向下方に突出する重量付加部１０ａを有している。
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ポンプのロータ（１４）を支持するポンプインサート（５０）は、ポンプボディ（２６）と係合する環状の弾性支持体（５２）を備え、弾性支持体（５２）は、転がり軸受（１０）のまわりに延びており、転がり軸受（１０）は、ロータ（１４）と係合するインナーレース（１２）と、弾性支持体（５２）に固定されて軸方向に予め負荷がかけられたアウターレース（１６）と、それらレースの間に配置された複数の転がり要素（１８）とを有する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ種々の取付姿勢に適した、転がり軸受への潤滑剤の供給装置を提供する。
【解決手段】本発明は、軸受モジュールが転がり軸受の外輪および潤滑剤貯蔵装置を含み、この場合、潤滑剤貯蔵装置は構造を有し、構造は軸側供給構造と滑り接触をなし、軸側供給構造は遠心力により潤滑剤を転がり軸受内に供給する、高速回転軸を有する真空ポンプ用軸受モジュールに関するものである。ターボ分子ポンプの種々の空間方向における位置決めの自由度を得るために、本発明は、転がり軸受に対して構造とは反対側にラジアル供給手段が配置され、ラジアル供給手段は、潤滑剤貯蔵装置内への潤滑剤の戻し供給を行うことを提案する。 （もっと読む）

真空ポンプが、ハウジングと、軸を中心にハウジングに対して回転するために軸受装置により支持された駆動シャフトと、ハウジング上に装着されたステータ部品及びこのステータ部品に軸方向に近接して駆動シャフト上に装着されたディスク状のロータ部品を含むポンプ機構とを備える。軸受装置が、複数の可撓性部材で連結された内側及び外側環状部分を含む弾性支持体により径方向及び軸方向の両方向に支持された軸受を含むことにより、軸受の内側レースと弾性支持体の外側部分との間に固定関係が存在して、ポンプ機構のロータ部品とステータ部品との間の軸方向の間隙を決定するようになる。
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