処理装置（１）、例えば、イオン注入装置において用いられるガスベアリングスピンドル（２）である。スピンドル（２）は、鋼製のベアリング面（２３）、及び、クロム（３ａ）または他の硬い材料にて被覆されたシャフト（３）を備えている。
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【課題】 工作機構等の可動機構に、構造が簡単で安価な防水・防塵構造を持たせること。
【解決手段】 静止部材１０、運動部材２０の間の間隙３０の入口相当部分に、静止部材１０の内側立壁部１１と外側立壁部１２で挟まれた液溜め１３を設ける。運動部材２０は、先端部２１を液体ＬＱ中に浸漬したまま運動する。液体ＬＱは、装置の内側の領域を装置の外側の領域に対して遮蔽し、ミスト、塵埃等の異物の進入を防止する。間隙３０を比較的広くとっても異物進入防止作用は発揮される。運動部材２０の運動方向は、防水・防塵構造が適用される可動機構の種類に応じて、上下、左右、前後、回転、あるいはそれらの合成等があり得る。液体ＬＱには、流体軸受で使用される作動流体や工作機械で使用される加工液を転用することもできる。 （もっと読む）

【課題】流体動圧軸受を有するスピンドルモータを提供する。
【解決手段】本発明のスピンドルモータは、回転駆動力を発生させるよう電源印加の際電磁気力を形成する巻線コイルを含むステーター; 上記ステーターに対して回転可能なよう上記巻線コイルと対面するマグネットを含むローター;上記ローターと一定の大きさの間隙を隔てて対面する上部プレートを設け上記ステーターに固定されるスリーブを含み、上記ローターと対応する上部プレートと上記ローター中いずれか一方に少なくとも一つの動圧発生用スラスト動圧溝を備える動圧発生部を含み、上記スラスト動圧溝に形成される中立半径が外側へ偏るよう上記中立半径から上記スラスト動圧溝の最内周までの内側幅は上記中立半径から上記スラスト動圧溝の最外周までの外側幅より広くなるよう備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ディスク装置の機構部品に使用される剛性、摺動性、摺動面からの微粉末の剥離、飛散とのバランスに優れた薄肉摺動部材の提供。
【解決手段】液晶ポリエステル４０〜８０質量％とタルク５〜５５質量％およびフッ素樹脂５〜２０質量％（全体で１００質量％とする。）とからなり、せん断速度１００ｓｅｃ^−１、３７０℃で測定される溶融粘度が１５０〜４００Ｐａ・ｓｅｃの範囲にある液晶ポリエステル樹脂組成物を射出成形して得られる摺動部材。 （もっと読む）

【課題】 自励振動を含む不安定振動を抑えることが可能な軸受構造を提供する。
【解決手段】 軸受装置は、それぞれ浮動ブッシュ型のすべり軸受からなるタービン側軸受２１とコンプレッサ側軸受２２とを備える。タービン側軸受２１と回転軸１３との隙間（タービン側内周クリアランスＴＩ）が、コンプレッサ側軸受２２と回転軸１３との隙間（コンプレッサ側内周クリアランスＣＩ）に比べて大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】 落下等の場合のように強い衝撃を受けた場合でも故障しにくく、耐衝撃性に優れたセラミックス製動圧軸受を提供すること。
【解決手段】 動圧軸受１５は、空気を動圧発生用流体とする動圧軸受であり、窒化珪素質のセラミックス焼結体からなる主軸２９と、主軸２９の回りを非接触で回転する同様な焼結体からなる軸受部３１とを備えるとともに、主軸２９の軸方向両側には、スラスト板３３、３５を備えている。この動圧軸受１５を構成する、主軸２９、軸受部３１、スラスト板３３、３５は、下記式（１）その熱衝撃破壊抵抗係数Ｒ’は、３５００以上（好ましくは１００００以上）である。
Ｒ’＝｛Ｓ（１−ν）／Ｅα｝ｋ ・・・・・・・（１） （もっと読む）

【課題】 潤滑油供給量の多寡に拘らず、回転軸受が傷、痕跡などを発生する前段階において、変形又は亀裂が生じたことによる異常状態を速やかに検出し得るような回転軸受の異常診断方法、及び当該方法に基づく潤滑油の供給方法の構成を提供すること。
【解決手段】 ＡＥ信号出力と安全運転を実現するＡＥ信号出力との差の絶対値、及び消費電力（Ｗ）と安全運転を実現する消費電力との差の絶対値について、それぞれ各数値範囲による区画を設定し、各区画に対応するランクに基づき、回転状態を示す総合ランクによる数値に基づき、回転が安全状態から危険状態に至るまでの如何なる段階にあるかを表す回転軸受の異常診断方法、及び当該診断方法に基づき、供給している潤滑油が不足しているか、又は過剰な状態にある場合に、それぞれ潤滑油の供給時間を短縮するか、又は拡張することによる潤滑油の供給制御方法。 （もっと読む）