【課題】複数の振動検出手段間における検出信号の大きさの比率が変化した場合であっても騒音を精度よく推定する。
【解決手段】伝達関数更新部２７が、加速度信号αの大きさの比率と伝達関数Ｇ_α^ＳＰＬとの関係を予め記憶し、加速度信号αの大きさの比率が変化した場合、騒音を推定する際に用いる伝達関数Ｇ_α^ＳＰＬを変化後の加速度信号αの大きさの比率に対応する伝達関数Ｇ_α^ＳＰＬに更新する。これにより、加速度信号αの大きさの比率が変化した場合、加速度信号αの大きさの比率と伝達関数Ｇ_α^ＳＰＬの整合を取ることができるので、加速度信号αの大きさの比率が変化した場合であっても騒音を精度よく推定することができる。 （もっと読む）

【課題】 振動源からの振動が地中を伝わり、除振台に設置されている振動センサが振動を検出してから除振台をアクチュエータにて駆動するまでの応答時間よりも振動センサが振動を検出してから除振台が地面からの振動を受けるまでの時間の方が早いことで、除振台を所定の位置に制御する前に除振台上に設置された精密機器が振動を受ける。
【解決手段】 移動している振動源が発生する振動を振動センサの少なくとも１つが検出して、且つ振動センサにて検出した信号レベルが予め設定したしきい値を超えた場合に、最も早くしきい値を超えた信号レベルの振動を検出した振動センサの検出信号とメモリに保存されているデータを制御手段にて演算した後で、振動源が発生する振動が除振台に到達する時間と同期するように演算した結果に基づいて１つ以上のアクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置、ウェハ処理システムおよび／またはラスタ顕微鏡を振動分離して支承するための、振動分離システムの制御方法およびアクティブ形振動分離システムを提供すること。
【解決手段】そのために、振動を表すセンサ信号を送出する複数の振動信号発生器と、アクチュエータ調整信号の供給により制御可能な、振動補償のための複数のアクチュエータと、送出された前記センサ信号を処理して前記アクチュエータ調整信号にするように構成された制御装置とが設けられており、前記振動信号発生器は、第１の周波数領域の振動を検出するための少なくとも１つの第１の加速度センサとしての少なくとも１つのジオフォンセンサと、前記第１の周波数領域を拡張した第２の周波数領域の振動を検出するための、前記第１の加速度センサとは異なる少なくとも１つの第２の加速度センサとを有する。 （もっと読む）

【課題】着座センサや温度センサ等のセンサ類を備えることなく、構造物の状態変化に応じた騒音低減制御を行う騒音低減装置を提供する。
【解決手段】制御指令信号生成フィルタ３３５は、加速度検出信号から構造物に波動を印加するピエゾアクチュエータの駆動信号である制御指令信号を生成する。伝達特性同定部３３１は、テスト信号を入力した場合における該テスト信号から加速度検出信号までの構造物の伝達特性を同定する。状態推定部３３２は、伝達特性に応じて車体の状態、例えば乗員数と乗車位置を推定する。特性変更部３３３は、推定された状態に応じて制御指令信号生成フィルタ３３５の特性を変更する。テスト信号発生部３３４は、テスト信号を発生する。加算部３３６は、制御指令信号とテスト信号を加算する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の良い建造物の制御装置等を実現する。
【解決手段】振動の加速度データを取得するための加速度センサと、該加速度センサにより取得された前記加速度データに対してハイパスフィルタによるフィルタ処理及び積分処理を行って前記振動の速度データと変位データを求め、求められた該速度データと該変位データとに基づいて、外力が入力されて振動する建造物を制御するコントローラと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの３軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】ボルト１２の一端に配設した検出体３４の３次元座標をステレオカメラ３３で計測することにより、ボルト１２の中心Ｋの位置座標Ｏ及びボルト１２の姿勢角を算出するカメラ計測工程と、ボルト１２の一端に配設した加速度ピックアップ３１で計測したボルト１２の３軸加速度を二階積分することにより、ボルト１２の３軸変位量を算出する加速度検出具計測工程と、ボルト１２の姿勢角に基づいてボルト１２の３軸変位量をカメラ座標系における変位量に変換する変位量変換工程と、ボルト１２の中心Ｋの位置座標Ｏに基づいて加速度検出具計測工程において行う二階積分の初期値を修正する座標修正工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電磁アクチュエータの動作方向が切り替わる近傍でのフィードバック制御の発散を抑制し、遅れのない内部慣性力の補償を行う電磁アクチュエータ装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】
電磁アクチュエータ装置は、電磁アクチュエータ４の電気モータ８と、電磁アクチュエータの動作加速度を検出する動作加速度検出手段２１と、動作加速度に基づき電磁アクチュエータ４の内部慣性力を演算する内部慣性力演算手段２４とを有する。電気モータ８は、アクチュエータ出力指令値から内部慣性力を減じた合力を発生するようにモータ制御手段２７で制御する。また、電磁アクチュエータ４のストローク方向の切り替え近傍を検出するストローク方向切り替え検出手段２１と、ストローク方向の切り替え近傍を検出したとき内部慣性力の演算値を内部慣性力の変化率が所定値未満となるように抑制する内部慣性力変化率抑制手段２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】機器１の載置される天板５がコイルばね４によって支持されているアクティブ除振台Ａを、できるだけ小さくかつ軽量にするとともに、コストの上昇を招くことなく所要の減衰特性が得られるようにする。
【解決手段】鉛直用リニアモータユニット６のボビン６７を、その当接部材７０の球面状凸部を介してケース２の床板２０上に転動可能に支持し、そのボビン６７の揺動によって水平方向の振動を吸収するとともに、適度な減衰力が発生するようポールピース６２との間に高減衰ゴムのＯリング６５を配設する。当接部材７０は樹脂材によって形成し、ポールピース６２とボビン６７との間に配設した予圧縮状態のコイルばね６６によって、ケース床板２０上に略一定の押圧力で押し付ける。水平用リニアモータユニット７も同様の構造とする。 （もっと読む）

【課題】車両の製造上のバラツキや、駆動系や懸架装置や車体の変化、タイヤの変化(摩耗や空気圧変化等)、タイヤの劣化等による伝達関数の変化に対応し、最適な伝達関数を得ることにある。
【解決手段】車両走行状態判定手段２が判定した車両の停止の際に、加減速度検出手段１が検出した車両の加減速度に基づき、車両伝達関数推定手段３が、車両の伝達関数を推定して出力する、車両伝達関数取得装置４である。 （もっと読む）

【課題】可変免振システムとして、部品積載の条件あるいは輸送条件が変更になってもその積載条件に応じて適切な制振を行うことができるようにすることである。
【解決手段】可変免振システム１０は、部品１２を積載できる部品容器体１４と床８との間に配置され、異なるバネ定数を有する複数のバネ体を有するバネ集合体を含む免振機構２０と、床８の振動加速度を測定する測定部１６と、制御部３０を備え、制御部３０は、測定された振動加速度を周波数解析して制振周波数を特定し、部品容器体１４の質量ｍ₁と部品１２の質量ｍ₂とに基いて、制振周波数に対応する制振バネ定数を算出し、部品容器体１４と床８との間の総合バネ定数が制振バネ定数となるための複数のバネ体の間の接続関係を求め、各バネ体の間の接続関係を変更して部品容器体１４と床８との間の総合バネ定数を制振バネ定数に変更する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータを保護しながら制振対象物の振動を抑制することが可能な制振装置を実現する。
【解決手段】制振装置１０は、建物１００の固有周期を長周期化させる免震支承体２０と、地盤１１０を支点として建物１００に制振力を付与して、所定方向における該建物１００の振動を制振する制振力付与機構３０とを有し、制振力付与機構３０は、該制振力付与機構３０が前記制振力を発生させる際に、その先端部を前記所定方向に変位させるアクチュエータ３１と、弾性を備え、前記アクチュエータの前記先端部の変位に伴って前記所定方向に沿って変形するバネ体３２と、地盤１１０から建物１００に向けて前記制振力が伝達される経路内に設けられ、該制振力が伝達される際に前記アクチュエータ３１に作用する荷重が該アクチュエータ３１の許容荷重を超えるのを防止するフェールセーフ機構とを有する。 （もっと読む）

【課題】所望の減衰効果を安定して得ることができる安価なサスペンションを備えたドラム式洗濯機を提供する。
【解決手段】洗濯機のサスペンション７は、シリンダ２０内部の軸受２３ａ，２３ｂに相対的に直線往復動可能に支持されたシャフト２１と、このシャフト２１の外周に嵌合され、そのシャフト２１の直線往復動に抵抗する摩擦力を発生させて水槽の振幅を減衰させる筒状の摩擦部材２８とを具備する。この摩擦部材２８とシャフト２１の外周面２１ｂとの間に磁気粘性流体を保持せしめると共に、摩擦部材２８の近傍に磁気粘性流体の粘性を制御するコイル２６を設けた。 （もっと読む）

【課題】除振台の水平方向の振動に対して、応答性良く、アクティブ除振を行い得ると共に、除振台に鉛直方向の移動が生じても、それによる悪影響を受けることの少ない、コンパクトな構造のアクティブ除振ユニットを提供すること。
【解決手段】微小変位センサ８による検出情報に基づき、除振台２における水平方向の微小変位を除去する微小変位アクチュエータ機構１０として、ダイヤフラム２８に永久磁石４４を取り付けてなる水平ダイヤフラムアクチュエータ２０を、床４に立設した支持板２２に配設する一方、永久磁石４４が磁着可能な鉄ブロック１６を除振台２側に設けてなる、水平方向の微小変位を除去するための第一の微小変位アクチュエータ１２を設け、更に、永久磁石４４と鉄ブロック１６とが、それらの鉛直方向の相互の摺動を許容する第一のすべり板４６を介して、磁着可能として、アクティブ除振ユニットを構成した。 （もっと読む）

【課題】 減衰力変更制御が路面からの振動を減衰することに対して追従できていない場合であっても、乗り心地の悪化を抑制できる車両のサスペンション装置を提供すること。
【解決手段】 サスペンションＥＣＵ２１は、バネ上加速度センサ２２から入力したバネ上加速度x_pb''を表す信号およびバネ下加速度センサ２３から入力したバネ下加速度x_pw''を表す信号を比較的高周波側の帯域にてバンドパスフィルタ処理する。そして、バンドパスフィルタ処理によって通過した最大信号振幅bと最大信号振幅aを取得する。次いで、ＥＣＵ２１は、最大信号振幅aに対する最大信号振幅bの比の値と予め「１」以下に設定された性能目標指数αとを比較し、b／aの値がαよりも大きいときは、制御追従性が悪化しているため、バネ上−バネ下相対速度Vが基準相対速度Vo以上のときの要求減衰力Freqを一定の要求減衰力Fconstに設定する。 （もっと読む）

【課題】投影システムまたはその部品の振動が制振され得る帯域幅が向上する投影組立体を提供する。
【解決手段】投影組立体ＰＡは、投影システムＰＳと、インターフェース制振マスＩＤＭおよびインターフェース制振マスＩＤＭの少なくとも一部分の振動を制振するアクティブ制振サブシステムを含む制振システムとを備え、インターフェース制振マスＩＤＭが投影システムＰＳに接続され、アクティブ制振サブシステムが、インターフェース制振マスＩＤＭの位置を測定するセンサＳＥＮＳと、インターフェース制振マスＩＤＭに対して力を作用させる電磁アクチュエータＡＣＴと、センサＳＥＮＳによって供給された信号に基づいて電磁アクチュエータＡＣＴを駆動するコントローラＣＯＮＴとを含み、アクティブ制振サブシステムは、第１のセンサによって供給された信号に基づいて対向力を作用させる、電磁アクチュエータに対する反作用マスＲＭを含む。 （もっと読む）

【課題】防振ゴムのゴム質の具体的な劣化を、直接的に速かに、しかも正確に検出することができる防振ゴムの劣化モニタリング装置を提供する。
【解決手段】受動タイプの防振ゴム３の、振動源側および振動伝達側のそれぞれにセンサー４ａ，４ｂを設けるとともに、それぞれのセンサー４ａ，４ｂの検知結果から、振動源側から振動伝達側への振動伝達率を求める演算手段５を設け、この振動伝達率の経時変化を監視して、防振ゴムの劣化を判定する判定手段６を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】 カウンタマスを用いたステージ装置を搭載した除振装置において、電磁アクチュエータの必要個数を減らして、配置機器の少ない簡単な構造となる。
【解決手段】
原版または基板を載置して位置決め動作を行なうステージ装置と、前記ステージ装置に連結され、前記ステージ装置とは同一自由度方向で逆方向に動作する慣性質量であるカウンタマスと、前記ステージ装置と前記カウンタマスとを搭載する定盤と、前記定盤を防振支持する防振支持手段と、前記カウンタマスと前記定盤との間に制御力を発生するアクチュエータと、前記定盤の物理量を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段の検出信号に補償演算を施して前記アクチュエータの駆動指令信号を生成する補償演算手段と、を備え、前記アクチュエータの駆動により前記定盤の振動を低減・減衰する。 （もっと読む）

【課題】従来の「可変の減衰力を有する振動ダンパー」によれば、車両の通常の走行シーンにおいて、常時、エネルギを消費することになってしまうため、省エネルギの観点から、エネルギ消費量の削減が望まれる。
【解決手段】通電電流に応じて減衰力を変化させることができ、通電電流が０から増加するに従って減衰力を減少させる第１制御領域と、通電電流が、第１制御領域における通電電流の最大値よりも大きい場合、通電電流が増加するに従って減衰力を増加させる第２制御領域との２つの制御領域を有する減衰力可変ショックアブソーバ１２と、通電電流の供給範囲を、第１制御領域或いは第２制御領域の何れかに選択するモード切替装置１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】解体中の解体建物に設置され、この解体建物から近隣建物へ伝達される振動を低減するアクティブマスダンパー、及びこのアクティブマスダンパーを用いた解体建物の振動制御方法を提供することを課題とする。
【解決手段】上方の階から下方の階へ解体される解体建物１０に、この解体建物１０の解体作業時に駆動するアクティブマスダンパー１８が設置されている。よって、解体建物１０の解体作業時に発生する解体振動をアクティブマスダンパー１８により制御し、解体振動を低減することができる。これにより、解体建物１０から、この解体建物１０の周辺に建てられた近隣建物１４へ伝達される解体振動を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】長手方向に走行するウエブ１６を外周面で支持するバックアップローラ２０と、バックアップローラ２０と一定間隔を離れて対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド１８と、塗布ヘッド１８とバックアップローラ２０とを上面で支持する一の架台３０と、架台３０の底面に設けられたアクチュエータ３３と、ウエブ１６の張力によるバックアップローラ２０が受ける力の方向を、水平に対して５０°〜７０°の角度となるよう、ウエブ１６をバックアップローラ２０に案内するパスローラ１４とを備える塗布装置。 （もっと読む）