【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）

【課題】永久磁石を応用した受動型磁気軸受があるが、特定の小型ターボ分子ポンプに限定されている。その原因は２つあり、１）被支持体（ロータ）のパラメータ（重量、重心位置、慣性モーメント、慣性モーメント比、定常回転数、構造体の共振周波数等）の変更に対して自在に対応できず、異なる被支持体に対して、個別に磁気軸受の設計が必要となる、２）ロータの振れ回り現象への減衰能を大きくすることが困難。１）と２）を解消することが、受動型磁気軸受を利用する製品を拡大する課題となる。
【解決手段】上記１）、ある基本となる磁気軸受ユニットを基準にし、それに径方向受動型磁気軸受を被支持体のパラメータの変化に応じて設定付加してゆく磁気軸受システムとする。上記２）、径方向受動型磁気軸受に受動ダンパーを付加するとともに、高真空や高温環境での応用製品に対しても使用可能な金属ファイバーを利用した受動ダンパーを付加して対応する。 （もっと読む）

【課題】スピンドル回転数の回転数の標準域（10000rpm〜60000rpm）と共に、高速域（例えば70000rpm〜100000rpm）においてもスピンドルの上下運動を抑制し、スピンドルのカジリ現象を防止することができるスピンドルアセンブリを提供する。
【解決手段】スピンドル（４８）を低速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の軸心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmで下方に偏心するように圧縮エアが供給され、スピンドル（４８）を所定の回転数を越える高速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の中心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmよりも大きい偏心量Ｙμmで下方に偏心するように、スピンドルアセンブリの複数のエア噴射領域から圧縮エアが噴出される。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成により磁気軸受システムを構成し、水蒸気排気速度の増大に対応可能なターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】高温超伝導磁気軸受をポンプロータの軸端に設け、クライオトラップを用いた冷凍機で高温超伝導磁気軸受を冷却するよう構成したので、被支持体のパラメータの変化（例えば、回転翼の重量増大）に応じて、排気速度、支持能力、および減衰能を増大させ、高温超伝導磁気軸受部の付加コストも極小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 面倒な制御ゲインテーブルを作成する必要がなく、磁気浮上運転前の調整に時間を要しない制御型磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 制御型磁気軸受装置は、回転体4を１つの水平な制御軸X方向の所定の目標位置に磁気吸引力により非接触支持するために前記制御軸X方向の両側から回転体4を挟むように配置された１対の電磁石29Xa,29Xbを備えているものであって、回転体4の目標位置からの前記制御軸X方向の変位を検出する変位検出手段と、回転体を目標位置に支持するために各電磁石29Xa,29Xbに一定のバイアス電流および回転体4の前記変位によって変化する制御電流からなる励磁電流を供給する電磁石制御手段とを備えている。電磁石制御手段が、バイアス電流を常に０とするゼロバイアス制御を行うもので、かつ、前記変位に応じて適応的に変化するゲインで負帰還する単純適応制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】装置を追加することなく、停電が発生した場合でも、軸支持運転を比較的長時間保つことができるモータ制御装置を提供する。
【解決手段】停電検出器５５が停電を検出したとき、駆動側制御回路１１では、切替スイッチ５６によって回転角速度指令値ω^*を零に切り替えることにより、ベアリングレスモータ１を減速させ且つ駆動側のインバータ１３を介してベアリングレスモータ１から直流リンク回路４６側へベアリングレスモータ１の発電電力を回生するように駆動側のインバータ１３を制御し、この回生電力が直流リンク回路４６を介して軸支持側のインバータ１４へ供給される構成とする。また、リミッタ下限値調整回路５１では、電圧検出器５４で検出される直流リンク電圧値Ｖ_DCが直流リンク電圧設定値Ｖ_DC^*よりも低下したときに負の下限設定値を出力し、可変リミッタ５７では、この負の下限設定値を可変リミッタ５７の下限設定値として設定する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受面への供給圧力を高めることができ、排気性能を向上できる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、ラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂとスラスト軸受面１３Ｃとラジアル軸受用給気孔１４Ａ、１４Ｂとスラスト軸受用給気孔１４Ｃと中間排気孔１５Ｂとを有する軸受ブロック１１と、軸受隙間に加圧気体を供給する気体供給装置２３と、中間排気孔１５Ｂから気体を吸引する排気装置２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】空転停止性能に優れたタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】磁気軸受とともに用いられる、内輪６１と、外輪６２と、内輪６１及び外輪６２の間で転動可能に配置された転動体６３とを有する転がり軸受のタッチダウン軸受であって、内輪６１及び外輪６２のそれぞれの対向面の一方に半硬質磁性材料からなる半硬質磁性部材６４が設けられている。円環状をなす一以上の磁石部材６５が、半硬質磁性部材６４に対向するように内輪６１又は外輪６２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でコストを抑えつつスラスト軸受に作用するスラスト荷重を低減させることが可能なスラストバランス調整装置及び回転機械を提供する。
【解決手段】スラストバランス調整装置１０は、回転体４に設けられたバランスピストン１１と、バランスピストン１１を回転可能に収容し、流体が流通可能に連通する略環状のバランス室１２と、バランス室１２内の外周側に設けられて流体の軸方向Ａへの流通を制限し、相対的にバランスピストン１１の軸方向Ａ一方側を高圧室１５に、他方側を低圧室１６に設定する第一のシール手段１３と、高圧室１５または低圧室１６の少なくとも一方に設けられてバランス室１２とバランス室１２の外側との流体の流通を制限する第二のシール手段１４と、スラスト磁気軸受を駆動させて、バランスピストン１１の軸方向Ａの位置を調整して、高圧室１５と低圧室１６との圧力差を制御する圧力制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】空転停止性能に優れたタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】内輪６１と、外輪６２と、内輪６１及び外輪６２の間で転動可能に配置された転動体とを有するタッチダウン軸受であって、少なくとも１個の転動体６３ｂの比重又は径を、他の転動体６３ａの比重又は径と異なるようにする。このように構成することにより、タッチダウン軸受が空転し始まる際、重量または径の異なる転動体が、慣性の違いから隣接する転動体に追いつくか、遅れるかして接触し、そのまま摺勤し続ける。この接触により、タッチダウン軸受の回転エネルギーを減少させ、タッチダウン軸受を早く停止させることができる。 （もっと読む）

【課題】センサ不使用による低コスト化と省スペース化が図れると共に、浮上体位置の検知精度を向上できる浮上体のセンシング方法を提供する。
【解決手段】磁気浮上している浮上体１０の周囲に配置され、それぞれコア１１、１２とコア１１、１２に巻回されたコイル１３、１４とを有する複数の電磁石１５、１６を用いて浮上体１０をセンシングする方法であって、各コイル１３、１４に共振回路１７、１８を形成するコンデンサ１９、２０をそれぞれ直列又は並列に設け、各コイル１３、１４間の電圧から浮上体１０の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】ベアリングレスモータの制御において、軸支持変調式で用いるパラメータを、実際のモータの特性に応じて最適に設定する。
【解決手段】トルク電流指令値（ｉ_mq^*）を順次変化させていき、軸支持電流指令値（ｉ_sq1^*）が０のときの軸支持電流指令値（ｉ_sd1^*）を基に、第１の軸支持側制御系に用いる比例係数Ｋ_A1，Ｋ_C1を求め、軸支持電流指令値（ｉ_sd1^*）が０のときの軸支持電流指令値（ｉ_sq1^*）を基に、第１の軸支持側制御系に用いる比例係数Ｋ_B1，Ｋ_D1を求め、軸支持電流指令値（ｉ_sq2^*）が０のときの軸支持電流指令値（ｉ_sd2^*）を基に、第２の軸支持側制御系に用いる比例係数Ｋ_A2，Ｋ_C2を求め、軸支持電流指令値（ｉ_sd2^*）が０のときの軸支持電流指令値（ｉ_sq2^*）を基に、第２の軸支持側制御系に用いる比例係数Ｋ_B2，Ｋ_D2を求める。 （もっと読む）

【課題】タッチダウン時において、転がり軸受が片当たりを繰り返すことを抑制できて転がり軸受が破損することを抑制できると共に、軌道輪の軌道面および転動体に焼付きが発生しにくい転がり軸受装置を提供すること。
【解決手段】ハウジング部材２の内周面に総玉軸受７０を締まり嵌めにより内嵌して固定する。総玉軸受７０の内輪３２の内周面に、形状記憶合金製で周方向に波打つ環状の変形部材５２の外周面を固定する。変形部材５２の内周面に金属製の円筒部材５４の外周面を固定する。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転周波数と異なる外力が作用する場合でも、その外力の周波数を危険速度を通過させることができ、回転同期成分以外の周波数帯域の位相を進めることができ、回転体の加減速が早い場合でもトラッキングが外れることがなく、回転同期成分を抽出するＰＬＬ（フェーズロックドループ）が不要である磁気軸受制御装置と方法を提供する。
【解決手段】ロータ１１の変位ｘ，ｙに基づきロータを中立位置に保持するフィードバック制御器２２と、予め設定した周波数範囲（ωｆ±Δω）のロータの変位信号ｘ，ｙ又はフィードバック制御器の電流指令信号Ｉｘ，Ｉｙのみを抽出する広帯域フィルタ２４と、抽出したｘ軸の入力信号に所定のゲインｋをかけてｙ軸用電磁石１２ｙの電流指令信号Ｉｙに重畳させ、抽出したｙ軸の入力信号に所定のゲインｋをかけてｘ軸用電磁石１２ｘの電流指令信号Ｉｘに重畳させるクロス回路２８とを備える。 （もっと読む）

内部に軸穴（１０４）を有するハウジング（１０２）内に加圧可能な軸方向に延びるチャンバ（１１０）を有する気体軸受（１００）。そして、軸方向に延びるチャンバ（１１０）は、レーザ切削された複数の細孔（１１８）を経由して穴として規定される軸受表面（１０８）との流体の流通に供される。軸受表面（１０８）におけるレーザ切削された個々の細孔の端部（１２２）は、細孔の幅の最も狭い部分が軸受表面（１０８）よりも後方に配置されるようにすそ広がりに形成されている。この形状は、軸受すきまではなく細孔の中に圧力制限が発生せざるを得ないようにするので、軸受（１００）の負荷を支える機能が、軸が偏心を起こしている最中に確実に損われないようにすることが可能である。軸受表面は、軸に対して、軸方向および／または半径方向に向き合っていてもよい。軸方向のチャンバは、ハウジングの外側の円周部分が切れ目がなく、したがって他の目的にも使用可能であるように、軸方向に加圧可能であればよい。
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【課題】ロータの回転周波数と異なる外力が作用する場合でも、その外力の周波数を危険速度を通過させることができる磁気軸受制御装置と方法を提供する。
【解決手段】ロータ１１の変位ｘ，ｙに基づきロータを中立位置に保持するフィードバック制御器２２と、ロータの回転周波数に同期する同期周波数ω_Ｎに基づきこれに一致する不釣合い力を相殺する同期フィードフォワード制御器２４と、ロータの回転周波数に同期しない回転非同期周波数ω_Ｆに基づきこれに一致する不釣合い力を相殺する１又は複数の回転非同期フィードフォワード制御器２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】低速回転時に、動圧軸受１９において摩耗が生じたり回転軸１０が偏心したりしない上、高速回転時には、前記動圧軸受１９によって、回転軸１０を非接触の状態で支持できる軸受装置１７と、それを用いた燃料電池用圧縮機を提供する。
【解決手段】軸受装置１７は、回転軸１０を支持する転がり軸受１８の内輪２８を、軌道面２７を有し回転軸１０との間に隙間を設けた第１内輪３０と、前記隙間に挿入されて第１内輪３０に内接する第２内輪３１の２ピースに形成し、前記第２内輪３１を、スライド調整部４１によって、低速回転時には前記内接した状態、高速回転時には隙間から引き出して内接を解除した状態となるように軸方向にスライドさせる。燃料電池用圧縮機は電動モータの回転軸を前記軸受装置１７によって支持する。 （もっと読む）

【課題】面精度の悪い接合面を有するハウジングを互いに組み付けても、使用給気圧力に対して自励振動発生圧力を十分高く保つことができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２０とを備えている。固定部２０はハウジング２およびシート４１，４２を含んでいる。ハウジング２は、複数の部材２１、２２、２３から構成されており、かつ複数の部材２１、２２、２３間の少なくとも１つの接合部にハウジング２より変形しやすい特性を有するシート４１，４２を介して複数の部材２１、２２、２３が結合されている。 （もっと読む）

【課題】摩擦損失の少ない軸受構造を有する圧縮機とそれを用いた冷蔵庫を提供する。
【解決手段】電動要素，フレーム，圧縮要素、前記電動要素と前記圧縮要素を繋ぐ軸、前記軸と同軸に設置される複数のリング形状の永久磁石を有する圧縮機において、内径側と外径側で異なる極となるよう着磁されたリング形状の永久磁石である回転側磁石２１と、内径側と外径側で異なる極となるよう着磁されたリング形状の永久磁石である固定側磁石２２を有する磁気軸受２０を備え、磁気軸受２０によりクランクシャフト７のスラスト方向を支持し、かつ、磁気軸受２０からコネクティングロッド２までの間の距離を、滑り軸受もしくは転がり軸受１ａからコネクティングロッド２までの間の距離よりも長くする構成を採用した。 （もっと読む）