【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】駆動軸と円筒部材とのクリアランスを確保しつつ、磁気軸受の起動時に、駆動軸を磁気軸受の中心軸方向へ移動させる際に必要な最大電磁力を低減する。
【解決手段】水平方向に延びるように配置される駆動軸（13）を、通電時に非接触状態で回転自在に支持する磁気軸受（14）と、駆動軸（13）を囲む円筒状に形成され、磁気軸受（14）の非通電時に駆動軸（13）を内周下部で支持する円筒部材（19）と、磁気軸受（14）の通電開始時に円筒部材（19）の内周下部に支持される駆動軸（13）が、円筒部材（19）の内周面に沿って上方へ移動する旋回動作と、該旋回動作後の駆動軸（13）が磁気軸受（14）の中心軸方向へ移動する軸移動動作と、を行うように、磁気軸受（14）の電磁力を制御する制御部（20）と、を備える軸受機構を構成する。 （もっと読む）

【課題】制御遅延や電流応答遅延が発生しても遠心力低減効果が低下せず、適切な軸位置指令値を求めるのに大きな負担を必要としないモータ制御装置を提供する。
【解決手段】振れ回り抑制制御部３０において、ローパスフィルタＬＰＦによって軸変位検出値ｄｑから軸の回転周波数に同期した直流成分の信号のみを抽出し、周期外乱オブザーバ５０によって前記直流成分の信号に基づいて外乱を推定し、前記推定した外乱を抑制する軸変位指令値α^*，β^*を演算する。そして、前記振れ回り抑制制御部３０で演算された軸変位指令値α^*，β^*を軸支持制御部２０に入力する。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下での良好な磁気軸受の封入磁石アセンブリを形成する方法を提供する。
【解決手段】非磁性材料で形成されたハウジングカバーの第２部分１５２を磁性材料で形成されたハウジングカバーの第１部分１５４に溶接して溶接ハウジングカバーを提供し、続いて、溶接ハウジングカバーを、溶接応力を緩和するのに有用な温度で熱処理する工程と、非磁性材料で形成された少なくとも１つの壁１６４を含みかつ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に磁石１５８を設ける工程と、ハウジングカバーの第２部分がハウジングの壁に固定して取り付けられてアパーチャが密閉されるように、熱処理された溶接ハウジングカバーをハウジングに溶接する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 ゼロパワー制御により電磁石への励磁電流を常にゼロに収束させる方式において、定常的な外力に起因する浮上体の位置変動を抑制することができ、且つ動的な外力が作用した場合でも良好な追従性を得る。
【解決手段】 浮上体１０と、浮上体１０に永久磁石及び電磁石による磁気回路を形成する磁石ユニット２３と、磁石ユニット２３を固定する可動枠２２と、可動枠２２を支持する固定枠２１と、固定枠２１に対して可動枠２２を支持すると共に固定枠２１と可動枠２２との距離を調整可能な可動枠支持機構２７と、浮上体１０と磁石ユニット２３との相対変位を測定する第１のセンサ２４と、固定枠２１と可動枠２２との相対変位を測定する第２のセンサ２５と、第１及び第２のセンサ２４，２５の各出力に応じて電磁石の電流を制御することにより浮上体１０を安定的に非接触支持する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありながら、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受の機能を併せ持たせることができる永久磁石磁気軸受を提供する。
【解決手段】 永久磁石磁気軸受は、インナー磁石１０とアウター磁石２０とを有し、インナー磁石１０の外周には、軸線から垂直なラジアル方向に略三角形に突出した突出部１２を形成すると共に、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。また、アウター磁石２０は、突出部１２に対向する内周面を有し、突出部１２の頂部に対応する平面で二分割され、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。そして、インナー磁石１０の突出部１２と、この突出部１２に対応するアウター磁石２０の内周面とは同極の磁極を有して、所定間隔で対向配置する。インナー磁石１０の略三角形の突出部１２と、アウター磁石２０の内周面とが同極のため、磁気的な反発力によってインナー磁石１０がアウター磁石２０の内周面に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】フライホイールエネルギー貯蔵装置の回転損失を低減させ、フライホイールエネルギー貯蔵装置のエネルギーの貯蔵時間や貯蔵量を増大させること。
【解決手段】本発明では、フライホイール（５）を接続した回転軸（３）を超伝導スラスト軸受（４）で回動自在に支持したフライホイールエネルギー貯蔵装置（１）において、回転軸（３）の中途部にフライホイール（５）を接続し、フライホイール（５）の前後で回転軸（３）を超伝導スラスト軸受（４、４）で回動自在に支持するとともに、フライホイール（５）を超伝導スラスト軸受（６）で回動自在に支持することにした。 （もっと読む）

【課題】磁性流体シールを使用する必要がない磁気浮上型を採用し、しかも装置としてのアキシャル方向の長さを極力短くすることができるようにする。
【解決手段】回転動力を出力する回転子１２を備え、回転子１２は、回転子１２のラジアル方向に配置されて該回転子１２のラジアル方向変位を非接触で制御する２組以上のラジアル磁気軸受４０と、回転子１２の周囲に３組以上に分割配置されて該回転子１２のアキシャル方向変位を非接触で制御するアキシャル磁気軸受５０によって、所定の位置に非接触で回転支承され、ラジアル磁気軸受４０のラジアル電磁石４４とアキシャル磁気軸受５０のアキシャル電磁石５４は、略同一平面上に配置されてケーシング部１４に固定されている。 （もっと読む）

【課題】回転体のナノメートルオーダーの回転精度を向上させる。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受は、回転体２４が回転軸２０の径方向へ鍔状に突出するスラスト部１９を有している。スラスト部１９の一方の面および他方の面が回転軸２０と垂直に交わる仮想平面２１と平行である。ハウジング１２には、スラスト部１９の一方の面および他方の面に対向する部位にそれぞれ一方の多孔質体１３および他方の多孔質体１４が配置されている。各多孔質体１３、１４表面の前記仮想平面からの距離の不均一を補償するように各多孔質体１３、１４からの気体の流出量を表面の孔の開口量によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】 スピンドルの駆動モータやスピンドル軸受部等から発生した熱を効率よく冷却し、外部の真空環境に対しアウトガス等の発生を抑えて真空環境を所望の清浄度に保つと共に、シール部材の劣化を防止し得る冷却構造を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、回転軸２と、回転軸２を支持しこの軸心回りに回転自在に支持する静圧気体軸受３と、モータ４とを備える。ハウジング本体１Ａ，１Ｂの表面と、同ハウジング本体の表面に重ねられる閉塞部材３２，３４との間に冷却液が循環する流路３３，３５を設け、両者の重なり面に介在して流路３３，３５を密封するシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを流路３３，３５に対して内外に並ぶ２重構造に設ける。２つのシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを互いに材質の異なるものとする。 （もっと読む）

【課題】磁気ベアリングは、取り付けの間に、多大な注意を要し、特に、磁気ベアリングの種々の構成部品を、構造体に対して非常に精度良く配置することが、しばしば必要である。
【解決手段】環状の本体２０は、クランプ手段に関連して設けられている少なくとも１つの径方向のスロットを有し、且つステータ構造体１０に面している面にセットバック部分２１を有する。前記ステータ構造体１０に面している前記環状の本体２０の面は、シース１３の表面部分１４と共動する摺動面２３を有しており、前記環状の本体２０の前記セットバック部分２１は、前記本体２０に面している前記シース１３の面に形成されている環状の溝１５に係合される調整リング３０のねじ部分３２と共動するねじ部分２２を形成している。前記調整リング２０は、前記環状の溝１５に軸方向に移動しないように防がれる。 （もっと読む）

【課題】 超電導磁気軸受装置のロータの大型化を図り、単位面積あたりの負担荷重を減らすことで、冷却温度の向上を図り得る超電導磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 超電導磁気軸受装置において、ステータとしての超電導磁石３に対応したロータを、超電導線を巻回した大口径で閉ループの超電導コイル４で構成する。 （もっと読む）

【課題】 変位吸収機構を有する磁気浮上装置において異なる方向から磁力を作用させる際に、装置の大型化を伴うことないく磁石ユニットおよび可動枠を構成できる磁気浮上装置を提供することにある。
【解決手段】
強磁性体を備えた浮上体２と、その外周に備えられる永久磁石および電磁石と浮上体２で磁束の磁気回路を形成する磁石ユニット１１と、浮上体２に異なる方向から電磁力が作用するように複数の磁石ユニット１１を固定する可動枠６、７と、可動枠６、７を、ばねを介して支持する固定枠３と、固定枠３と磁石ユニット１１間の距離の調整機能を有する可動枠支持手段と、電磁石の励磁電流をゼロに収束させながら、浮上体２の磁石ユニット１１からの非接触支持状態を維持する制御手段と、磁石ユニット１１は、可動枠６、７の、磁石ユニット１１が浮上体２の所定の軸に直行する平面上に配置されている磁気浮上装置。 （もっと読む）

【課題】スラスト給気孔から供給する加圧空気で形成されるスラスト空気軸受のスラスト力を高めて、回転軸の自重をスラスト空気軸受のみで支持することができ、かつスラスト空気軸受及びラジアル空気軸受に供給する加圧空気の圧力を独立に制御してそれぞれの剛性を独立に制御することができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】羽根車１ａがシール円板１ｂより大きい外径の円形端面１ｅをシール円板側に有しており、縦型バランス計測装置が、回転軸１をその軸心を鉛直に保持して支持する軸受マウント１０を備える。軸受マウント１０は、羽根車の円形端面１ｅの下面に加圧空気を供給するスラスト給気孔１２と、ラジアル支持用の円筒部１ｃに加圧空気を供給するラジアル給気孔１４と、スラスト給気孔１２とラジアル給気孔１４の間に位置しその間から加圧空気を排気するスラスト側排気孔１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】 コロガリ軸受および静圧軸受の両者の優れた面、すなわちコロガリ軸受においては、負荷荷重、剛性で優れた特性を発揮し、また静圧軸受においては、アキシャル方向の精度の良いロール軸受とした特性を発揮できるロールの軸受方法を提供することを課題とする。

【解決手段】 ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、静圧軸受次いでコロガリ軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。また、ロールの幅方向の両端部にある軸に、それぞれロールの幅方向の中心側から順に、コロガリ軸受次いで静圧軸受を直列に取り付け、回転自在に支承することを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、空気静圧軸受であることを特徴とするロールの軸受方法とした。 静圧軸受は、前述の空気軸受に替えて、油静圧軸受としたことを特徴とするロールの軸受方法とした。 （もっと読む）

【課題】ホールセンサ等のロータ回転位置検出機能を備えることなく、ロータ回転始動時における逆転を防止することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受３７，３８およびアキシャル磁気軸受３９により磁気浮上されたロータ３０を、モータ３６により高速回転して気体の排気を行う磁気浮上式真空ポンプにおいて、モータ駆動開始の前に、ラジアル方向の吸引力がラジアル磁気軸受３７，３８の中心軸に対して回転する回転磁界であって、ロータ３０をモータ回転方向Ｒと逆方向Ｒ２に公転運動させ、かつ、該公転運動に対して進み角を有する回転磁界をラジアル磁気軸受３７，３８により形成させるようにした。 （もっと読む）