【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】各種装置に搭載されるスピンドルアセンブリ内に水が侵入するのを防止する。
【解決手段】スピンドルハウジング２１に、エア供給口２３０とエアベアリング連通路２３１との間にウェータエアセパレータ２５を配設し、更に、ウォータエアセパレータ２５からエア排出路２４に連通しウォータエアセパレータ２５内で分離された水を排出する水排出路２５０を備え、エア供給口２３０から供給された高圧エアに含有される水分がウォータエアセパレータ２５内で分離され、分離された水分が水排出路２５０から押し出されエア排出路２４を介して外部へ排出されるように構成することにより、エアベアリング側へ水分が進入するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 回転精度が高いことに加えて、モータ等で発生した熱が主軸を経由してモータと反対側の回転テーブルへ伝わりにくく、かつ主軸の熱膨張を抑えることができ、さらに、不導体材料を使用しながら静電容量タイプの非接触計での測定を可能にした静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、主軸２と、この主軸２を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、主軸２の一端がモータ軸と２ｃなり主軸２を回転駆動するモータ４と、主軸２の他端に固定された回転テーブル５とを備える。主軸２における静圧気体軸受３により回転自在に支持される部分である主軸被支持部２ａ、および主軸２における主軸被支持部２ａよりも回転テーブル５側の部分である主軸テーブル側部２ｂをセラミックス材で形成し、主軸被支持部２ａにおけるラジアル軸受部３ｂに導電性のメッキを施す。 （もっと読む）

【課題】ポンプ運転中にハイレベル信号およびローレベル信号の生成が不安定になるのを未然に防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータと一体に設けられたセンサターゲットと、そのターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式の回転センサと、センサ信号の電圧レベルとHigh-Low判定用の閾値Ｖ_Ｌ，Ｖ_Ｈとを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する回転センサ回路とを備える。電源投入時に、ロータを複数の回転角度位置に順に停止させ、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｌ以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｈ以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、上記課題を解決するために、超電導磁気軸受・磁気浮上装置の振れ回りや振動を能動的に制御して、振れ回りや振動を低減又は抑制することができる制振制御機構を提供することを目的とする。
【解決手段】 超電導体により非接触支持される被支持体の変位を検知する変位センサーと、前記超電導体を駆動させる駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを有し、前記変位センサーが検知した前記被支持体の変位量に基づく変位信号を前記制御手段に伝達し、前記制御手段は、前記変位信号に基づいて前記駆動装置の駆動を制御することにより、前記被支持体の振れ回り及び振動を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】温度変化を少なくしたい場所への、熱量変動部からの熱の出入りを少なくする。
【解決手段】熱量制御器１９が、第１温度計１６が測定した第２流体の温度と第２温度計１７が測定した第２流体の温度との差と、流量計１８が測定した第２流体の流量とに基づいて第２流体の熱量を算出する。第２流体の熱量が所定値を越えたとき、熱量制御器１９が、第１恒温水循環装置１３とラジアル流路１０ａ，１０ｂとの間で第１流体の流量を調節する制御弁１４ａ，１４ｂを制御して第１流体の流量の増加調整を行う。また、第１恒温水循環装置１３を制御して第１流体の温度の低下調整を行う。この結果、第２流体の熱量の値が所定値以下になる。 （もっと読む）

【課題】潤滑液体の漏洩を防止しやすい構造で、始動トルクを低減するためのリフトポンプを備えたパッド型スラスト軸受、該パッド型スラスト軸受を用いた液中モータ、縦型液中モータポンプを提供すること。
【解決手段】軸受パッド４表面に潤滑液を加圧供給するリフトポンプ１２を備えたパッド型スラスト軸受であって、リフトポンプ１２の羽根車１２ａをスラスト軸受の軸受ハウジング１０内に設けた。また、リフトポンプ１２は、モータハウジング２２の一部が軸受ハウジング１０に挿入された状態で結合されている。 （もっと読む）

【課題】 磁気浮上装置において、磁石ユニットと浮上体間の空隙長を大きく設定でき、電力消費量を低減するとともに、様々な方向の外乱に対して浮上体の位置変動の抑制が図れる磁気浮上装置を提供することにある。
【解決手段】 電磁石と永久磁石で構成される磁石ユニット２２を対向配置するように磁石取付け部２８に取付け、当該磁石取付け部２８をサスペンション３０を介して一軸に対して可動とするとともに、制御装置４６により磁石ユニット２２から鉄製円環４８にゼロパワー制御に基づく電磁力を作用させて、この電磁力で浮上体１１を磁気浮上させることにより、外力に対する浮上体１１の位置変動と非接触支持に必要な電力消費量の増加を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】垂直軸盤式発電機用磁気浮上支持構造、および、垂直軸盤式発電機用磁気浮上支持構造を利用する垂直軸盤式発電機を提供することを課題とする。
【解決手段】
磁気浮上支持構造は２つ以上の磁気浮上支持部品（５、６）を備え、そのうち第１磁気浮上支持部品５は環状の第１上下永久磁石体組立部品で構成され、第１上永久磁石体組立部品を回転子の上端カバー３の下に取付け、第１下永久磁石体組立部品を固定子２の上に取付け、上下永久磁石体組立部品は磁化方向が対立して反発し合う推力を生じ、第２磁気浮上支持部品６は第２上下永久磁石体組立部品で構成され、第２上永久磁石体組立部品を回転子の下端カバー４の上に取付け、第２下永久磁石体組立部品を固定子２の下に取付け、第２上下永久磁石体組立部品は磁化方向が対立して反発し合う推力を生じることを特徴とする垂直軸盤式発電機用磁気浮上支持構造。
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【課題】減衰特性の高い静圧式の気体軸受を提供する。
【解決手段】気体軸受部は、空気供給口から供給される圧縮空空気を、オリフィスから固定軸受筒と浮動ブッシュとの間の隙間部分に通すことによって、固定軸受筒と浮動ブッシュとの間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第一の軸受部と、空気供給口から供給される圧縮空空気を、ジョイント部を通って浮動ブッシュの管路を経由してオリフィスから浮動ブッシュと回転軸との間の隙間部分に通すことによって、浮動ブッシュと回転軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、フルイドダンパ機構は、磁性流体の粘性または隙間を変えることによって、第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、回転軸の外乱に対する整定時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を抑えつつエレクトリカルランアウトを防止できるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数段の回転翼３２が形成されたロータ３０と、回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配置された複数段の固定翼２２と、ロータ３０が固定され、モータ３６により回転駆動されるシャフト１２と、シャフト１２を磁気浮上させる磁気軸受３７ａ，３７ｂ，３８と、シャフト１２の磁気浮上位置を検出する渦電流式ギャップセンサ２７ａ，２７ｂ，２８とを備え、ラジアルセンサ２７ａ，２７ｂの検出対象として非磁性金属から成るターゲット部材１３，１４と、スラストセンサ２８の検出対象として非磁性金属で形成されたロータディスク１５とが設けられている。なお、ターゲット部材１３およびロータディスク１５を、シャフト１２に着脱可能に固定するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】超高速回転でも長寿命と安全性を確保することができるスキャナモーターを提供する。
【解決手段】回転可能な軸支用回転軸１４０、及び回転軸１４０を回転可能に支持するために、上部に流体動圧軸系１３１が備えられ、下部に含油焼結軸系１３２が備えられた中空の円筒状ベアリング１３０を含む。また含油焼結軸系１３２と回転軸１４０の間の接触面が曲面であり、流体動圧軸系１３１の長さは含油焼結軸系１３２の長さより長いスキャナモーター。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、高回転にも耐える回転機器用の流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸孔を区画する内周面に軸方向に所定幅の軸受面１ａを持つ軸孔部材１と、軸孔に回動自在に保持され軸受面に対向する軸面２ａをもつ軸部材２と、軸受面と軸面の間に流体を供給する流体供給手段とを有し、軸受面及び軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、流体供給手段は軸受面及び軸面との間に軸方向に流体を供給する。軸受面と軸面は円錐台形の側周面状であり、それらの間隙に流体が軸方向に供給されるので、軸部材２が軸孔部材１の軸心に付勢され、半径方向の荷重と、軸方向の荷重とを１つの機構で受けることができ、構造が簡単な回転機器が実現できる。軸部材２は軸上にタービン８を有し、軸孔部材１のノズル６からの噴流で回転する。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けの流体軸受皿の底部や内外周方向にも潤滑油などの流体が確実に流れるようにして、流体軸受皿の底や内外周方向での流体の滞留をなくすとともに流体軸受皿の底に沈降する不純物を除去して清浄な流体とし、長期間にわたり流体軸受けとしての機能を確保して円滑な回転を可能とする平面ラップ／ポリッシュ盤を提供する。
【解決手段】流体軸受皿５の溝部内の下側軸受面５１に隣接する内周側底面部５２に内周側回収孔２７を、また、外周側底面部５３に外周側回収孔２８を設け、これら内周側回収孔２７と外周側回収孔２８との間をバイパス回路２９により内外で連通させて外周側への偏在をなくし、また、流体軸受皿５内に沈降する不純物を含む流体を回収するような平面ラップ／ポリッシュ盤とした。 （もっと読む）

磁気軸受および／または磁気駆動装置を含むフライホイールエネルギー貯蔵デバイスのための技術が一般的に開示される。いくつかの例示的な磁気軸受は、フライホイール磁石および回転するフライホイールを磁気浮上させるように配置された支持磁石を含むことができる。いくつかの例示的な磁気駆動装置は、フライホイールにトルクを与えるように、フライホイールに関連付けられた反磁性体に磁気的に係合するように配置された少なくとも１つの駆動磁石を含むことができる。
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【課題】高速回転時の振動発生を抑制すると共に、高速回転体の回転時だけでなく、静止時においても安定な状態に維持する。
【解決手段】回転主軸上にフライホイールを固定して回転体を構成し、該回転体を非接触支持する軸受の固定側をハウジングに取り付ける。この回転体の下端側を非接触支持する軸受として、１つのみの超電導軸受を備える。フライホイールは円板部と、その外周に固定或いは一体形成された円筒部から構成され、かつ、この円筒部は、超電導軸受の外周側に位置して覆うように配置される。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】熱の発生や熱伝達を効果的に低減できる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルＡは、主軸１を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、前記主軸１にモータロータ８を固定してなり主軸１を回転駆動するモータ６とを備える。主軸１の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部１ａとする。この被回転体設置部１ａの材料として、主軸１の被回転体設置部１ａを除く主軸本体部１ｂよりも熱伝導率の低いジルコニアセラミックスを用いる。 （もっと読む）

【課題】高精度の機械加工を行うため、静圧軸受等に供給する圧油に脈動を生じることなく圧送することができる精密加工機の油圧供給装置を提供する。
【解決手段】本願発明の油圧供給装置は、コンプレッサ（第一圧縮空気供給機）３０と、このコンプレッサ３０で得られた圧縮空気を増圧する増圧弁（ブースターシリンダ）３１と、増圧弁３１で得られた圧縮空気を第二圧縮空気として供給装置貯蔵するレシーバタンク（第二圧縮空気供給機）３２と、レシーバタンク３２で得られた圧縮空気を介して圧力を有する油圧に変換して圧力変動を吸収するアキュムレータ３３と、静圧軸受に使用された作動油を回収する圧油タンク３５と、を備えて構成し、油圧の脈動や変動を防止・減少させている。また、さらに湯の温度を安定にするための油温調節ユニットを備え、油温についても安定に供給している。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）