【課題】安価で、絶縁基板をプリンティングした後にも均一で、完成後に熱伝導に問題点がない面像発熱体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁基板２に積層されたアルミニウムホイル３を所定のパターンでエッチングし、カーボンペーストをプリンティングした後、電流入力端子５を並列に連結する面状発熱体１の製造方法において、該カーボンペーストが、低抵抗カーボンペーストと高抵抗カーボンペーストとの混合物であることを特徴とする面状発熱体の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、透明基材、前記透明基材の少なくとも一面に備えられた接着剤層、前記接着剤層に備えられた導電性発熱線、前記導電性発熱線および前記発熱線によって覆われていない接着剤層の上面をカプセル化するコーティング膜、前記導電性発熱線と電気的に連結したバスバー、および前記バスバーと連結した電源部を含む発熱体およびこの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 昇降温特性を向上させ、高スループットを実現できる剛性の高い加熱ヒータを比較的安価に提供する。
【解決手段】 本発明の加熱ヒータは、半導体またはフラットパネルディスプレイを加熱するための加熱ヒータであって、該加熱ヒータは金属箔からなる発熱体をポリイミドで絶縁被覆して発熱体ユニットとすると共に、被加熱物を載置する載置面を有する均熱板を有し、該均熱板はセラミックスまたはセラミックス金属複合体からなり、前記均熱板と発熱体ユニットとは均熱板の載置面とは反対側の面で融着または接着されており、前記均熱板の載置面とは反対側の面の表面粗さがＲａで０．０２μｍ以上１．０μｍ以下であることを特徴とする （もっと読む）

【課題】金属細線群が視認されにくく、金属細線群と電極との接触部の発熱を低コストで抑制する。
【解決手段】電熱窓ガラス１０は、長手方向に沿って形成された発熱部１４と、発熱部１４の上下に形成された第１電極１６及び第２電極１８とを備えている。発熱部１４には、金属細線４２の細線間隔が大きいメッシュ状パターン４３Ａからなる発熱区域４３が形成されており、第１電極１６及び第２電極１８には、金属細線４２の細線間隔が小さいメッシュ状パターン４４Ａからなる電極区域４４が形成されている。それぞれの区域が金属細線で覆われている面積のそれぞれの区域全体の面積に占める割合を電極区域４４はＡｅ％、発熱区域４３はＡｃ％とすると、
Ａｃ≦Ａｅ、５≦Ａｅ、かつ０＜Ａｃ≦２０を満たしている。 （もっと読む）

【課題】視認性と発熱性に優れた透明性の発熱体（透明発熱体）に用いて好適な透明導電体を提供する。
【解決手段】対向して配置された第１電極１２ａ及び第２電極１２ｂと、第１電極１２ａ及び第２電極１２ｂ間に配置された透明導電部１４とを有する第１透明導電体１０Ａであって、透明導電部１４は、１つの透明フイルム基材上に形成された複数の導電性の金属細線によるメッシュパターン１８を有し、このメッシュパターン１８は、第１電極１２ａと第２電極１２ｂ間の電気抵抗分布が変化するパターンにて形成されている。 （もっと読む）

【課題】自己接着性を有して接着剤を不要にでき、発熱体２等の段差を吸収できるヒータ部材を提供する。
【解決手段】高耐熱性且つ熱硬化性を有する樹脂材料１１と高耐熱性を有するエラストマ１０とを含む樹脂組成物を有機溶剤に溶解させたワニスから、可撓性を有する未反応固形状態で膜形状に形成された未反応熱硬化性フィルム１と、電源に接続されることで電流経路が発熱する平面状抵抗体５からなる発熱体２とを備え、発熱体２は、未反応熱硬化性フィルム１を完全硬化させる温度以下に加熱した時に発生する接着性により、未反応熱硬化性フィルム１に結合される。 （もっと読む）

【課題】均等な熱エネルギーの放散が可能で、温度を制御することもできる面状発熱ユニット体およびこれを用いた暖房器具を提供する。
【解決手段】一対の電極部４，５と、通電されてジュール熱を発生させる発熱性金属フィルムの抵抗発熱部６と、熱を発生しない複数の受熱部７とからなる熱放散部２が形成され、抵抗発熱部６は、２つの側部通電部６ａと、この両側部通電部６ａに対しこれらの間に平行に配設された複数の中間通電路６ｂと、側部通電路６ａと中間通電路６ｂとの端部間および中間通電路６ｂの各端部間をそれぞれ接続する連結通電路６ｃとからなる通電経路パターンに形成されている。受熱部７は、各側部通電路６ａから突出する配置と、中間通電路６ｂから突出する配置とで多数設けられている。暖房器具は、面状発熱ユニット体Ｈを収容部材の保持凹所に嵌め入れて、保持凹所を放熱板部材で密封する。 （もっと読む）

【課題】
従来のＳｉ合金電熱合金は、抵抗温度曲線が急峻な山の形状で、均一な温度分布が得がたい。温度の暴走、昇温不能に陥りやすい欠点がある。
【解決方法】
必須相成分としてＳｉ相と珪化物相が存在するミクロ組織を持つＳｉ電熱合金の珪化物相の面積率を２５体積％以上にすることで課題を解決する。またＳｉ成分の出発原料として９９質量％純度以下のシリコン原料を使用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】視認性と発熱性に優れた透明性の発熱体（透明発熱体）に用いて好適な導電性フイルムを提供する。
【解決手段】第１導電性フイルム１０Ａの導電部１２は、複数の第１金属細線１２ａと複数の第２金属細線１２ｂにて構成された多数の格子の交点（交差部２４）を有するメッシュパターン２２を有し、交差部２４間の導電部１２は、少なくとも１つの湾曲を有する波線形状に形成されている。平行に隣り合う第１金属細線１２ａのうち、一方の第１金属細線１２ａ１の円弧の配列周期は１周期であり、他方の第１金属細線１２ａ２の円弧の配列周期は２周期となっている。同様に、一方の第２金属細線１２ｂ１の円弧の配列周期は１周期であり、他方の第２金属細線１２ｂ２の円弧の配列周期は２周期となっている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、透明基材、前記透明基材の少なくとも一面に備えられた導電性発熱線、前記導電性発熱線と電気的に連結されたバスバー、および前記バスバーと連結された電源部を含む発熱体であって、前記透明基材の全体面積の３０％以上が、分布が連続的な閉鎖図形からなり、前記閉鎖図形の面積の平均値に対する標準偏差の比率（面積分布比率）が２％以上である導電性発熱線パターンを有することを特徴とする発熱体およびその製造方法を提供する。 （もっと読む）

電極層を含む積層ヒータ構造、及び、積層ヒータ構造の電極層を高精度にチューニングするための局所的チューニング方法が提供される。局所的チューニング方法は、ヒータ表面における温度オフセットを最小化するために、電極層を、その適切な局所抵抗値にチューニングし、それによって、研磨またはブラスティングのような厚さのトリミング作業、又は、局所的熱処理のような抵抗率調節に基づく、従来の非局所的な抵抗チューニングアプローチと著しく異なる、望ましい温度特性を提供する。
（もっと読む）

【課題】温度制御に対して良好な応答性を有し、また、熱処理装置の立上げや立下げ時間の短縮が可能であり、しかも、装置重量の軽量化を可能とした熱処理装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板用熱処理装置Ａは、炉体内部に通電により発熱可能としたヒータ装置３２を所定間隔を空けながら多段に配設している。前記ヒータは、0.01〜１mmの厚みを有する薄膜状のシート体で、発熱体をサンドイッチ状に挟持して形成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、リード線が接合された端子部も含む発熱体回路が多層ポリイミドフィルムで熱融着によって被覆されており、端子部がその周辺に空間を残さないように充填され且つ接着性が良好な極めて耐熱性が優れたフレキシブルヒーター及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】 少なくとも、１〜１０μｍ厚の熱融着性ポリイミド表面層を有する多層ポリイミドフィルム（Ａ）及び（Ｂ）、リード線が接合された端子部を有する発熱体回路（Ｃ）、及びガラス転移温度が２００〜３００℃の熱可塑性ポリイミド樹脂（Ｄ）からなり、端子部を含む発熱体回路（Ｃ）が多層ポリイミドフィルム（Ａ）及び（Ｂ）の間に挟まれて熱融着されており、更に発熱体回路（Ｂ）のリード線が接合された端子部の周辺の空隙が熱可塑性ポリイミド樹脂（Ｄ）によって充填され且つ熱融着されていることを特徴とするフレキシブルヒーターに関する。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を招くことなく、感熱媒体を均一にむらなく加熱する。
【解決手段】発熱部材１０３から放出される熱エネルギーを、熱伝導率の高いアルニウムから構成された熱容量の大きい加熱部材１０２を介して、熱可逆性を有する記録カード７０の記録面に伝導させることで、記録カード７０の記録面をむらなく均一に加熱する。これにより、記録カード７０に記録された情報を精度よく消去することが可能となる。また、発熱部材１０３として安価な発熱体を用いることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高い発熱性、高い透明性、優れた視認性とを同時に有する、透光性層中に通電発熱性の金属細線をパターン状に有してなる透明フレキシブルフィルムヒーターを提供すること、さらに、パターンの形成が容易であり、しかも安価に大量に製造できる該透明フレキシブルフィルムヒーターの製造方法を提供すること。
【解決手段】透明フレキシブル支持体上に実質的に透明な導電性金属パターン構造を有する発熱体であって、且つ該発熱体の印加電極間の距離をＬ（ｃｍ）、発熱体の電極間の抵抗をＲ（Ω）、電源電圧をＥ（ｖ）としたとき下記の式（１）を満足する、透明フレキシブルヒーター。０．１≦Ｅ^２／（Ｌ×Ｒ）≦２．０ 式（１） （もっと読む）

【課題】通電時に発生する音が抑制された発熱ガラスシステムを提供する。
【解決手段】発熱ガラスシステム１は、導電膜４１が表面に設けられたガラス部２２及び導電膜４１に電圧を印加する一対の電極４２Ａ，４２Ｂを有する発熱ガラス部４０と、交流電圧を直流化することによって、一対の電極４２Ａ，４２Ｂに供給するための直流化電圧を生成する直流化部３Ｂと、を備える。この場合、直流化部３Ｂによって交流電圧が有する振動成分をほぼ除去した直流化電圧を導電膜４１に印加できるので、ガラス部２２の振動が抑制され、結果として、通電時の音が減少することになる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のある高容量なヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】発熱材６と、発熱材６を覆う耐熱絶縁材７と、耐熱絶縁材７の外側に熱溶着可能な絶縁材にてなる熱溶着材８を形成したことにより、ヒータを高容量にしても耐熱絶縁材が溶けなくなり、非加熱物に溶着可能で絶縁性の高いヒータができる。 （もっと読む）

【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）

【課題】 基本的にセラミックスを使用せず、安価であって、しかも破損しにくいヒータ、特に半導体製造装置用ガスシャワー基板として有用なヒータを提供する。
【解決手段】 絶縁被覆された発熱体１を、１枚の金属製支持体３の表面上に支持固定するか、あるいは２枚の金属製支持体３で挟み込んで固定することにより、ヒータを構成する。発熱体の絶縁被覆は、酸化物等の絶縁材料の溶射膜や、テフロン樹脂又はポリイミド樹脂などの樹脂膜が好ましい。また、金属製支持体３にも同様に絶縁被覆を施すことができ、特に金属製支持体がアルミニウム又はアルミニウム合金のときは、アルマイト処理により絶縁被覆を形成することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 基本的にセラミックスを使用せず、安価であって、しかも破損しにくいヒータ、特に半導体製造装置用ガスシャワー基板として有用なヒータを提供する。
【解決手段】 絶縁被覆された１枚の金属製支持体３上に発熱体１を支持固定するか、あるいは、絶縁被覆された２枚の金属製支持体３の間に発熱体１を挟み込んで固定することにより、ヒータを構成する。金属製支持体３の絶縁被覆は、酸化物等の絶縁材料の溶射膜や、テフロン樹脂又はポリイミド樹脂などの樹脂膜が好ましい。特に金属製支持体３がアルミニウム又はアルミニウム合金のときは、アルマイト処理により絶縁被覆を形成することが好ましい。 （もっと読む）