【課題】より簡便な方法によりヒータ線付きシートを製造して、低コスト化を図る。
【解決手段】ミシンを用い、電気絶縁性及び耐熱性を有する長繊維を編組してなる被覆体で発熱素線を包囲したヒータ線を、所定のパターンに沿って連続的に供給しながら耐熱性縫糸によりシート状基材に縫い付けて、ヒータ線付きシートを製造する。 （もっと読む）

【課題】基板を格段に薄くして温度変更を高速化した場合でも、確実に接地しつつ、基板の撓みを生じ難くでき、かつ熱逃げの影響を小さくできる加熱装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置は、導電性を有するベースプレート２と、ベースプレート２の上方に位置してウェハが載置されるフェイスプレート３と、ベースプレート２およびフェイスプレート３の間に配置されて互いを導通させるアース部材８とを備え、フェイスプレート３は、表面がアース部材８との導通部分を除いて電気的に絶縁されたアルミ基板と、アルミ基板に設けられてウェハを加熱するフィルムヒータとを備え、アルミ基板のアース部材８との導通部分は、当該アルミ基板の中央に設けられているとともに、アース部材８の長手方向の途中には、複数の折曲部８Ａ〜８Ｄが設けられている。 （もっと読む）

【課題】加熱効率および冷却効率に優れ、被処理物の諸特性に悪影響が及ぶおそれがなく、製造コストも比較的少ない、冷却機能を有する加熱装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置Ｅ１は、トレー５および基板６が載置されるアノード電極７と、アノード電極７の内部に一方端部から他方端部へかけて埋設された加熱部材３１と冷却部材３２とを備えてなる。加熱部材３１は、アノード電極７の他方端部寄り箇所に平面形状がＵ字型の湾曲部分３１ａを有し、それ以外の箇所に直線状部分３１ｂを有し、互いに並列状に隣り合って設けられた５本の管状ヒータ３１からなる。冷却部材３２は、対応する管状ヒータ３１の湾曲部分３１ａを臨む箇所に蛇行状部分３２ｃを有し、それ以外の箇所に直線状部分３２ｂを有し、それぞれの管状ヒータ３１の外側に沿って互いに並列状に隣り合って設けられた７本の冷却管３２からなる。 （もっと読む）

【課題】 均熱板にウエハを支持するウエハ加熱装置において、均熱板の載置面が凹状になると、中心付近で均熱板とウエハの間のギャップが大きくなるので、特に、均熱板の温度設定を変更したり、ウエハを交換したりした際の昇温過渡時に中心部の加熱が遅れ気味になり、その結果ウエハ面内の温度分布が大きくなるという課題があった。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の載置面を凸状にする。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１層のグレージング材料と、アンテナと、加熱回路を形成している導電体の配列と、を具えている加熱車両窓を開示している。加熱回路は、複数の導電体と、導電体が接続され、直流を供給するための少なくとも２つのバスバーと、を具える。別個の導電層は、少なくとも２つのバスバーの少なくとも一部分を、直流的には電気絶縁状態で覆うように設けられている。バスバーおよび別個の導電層は、交流が存在する際には、キャパシタとして働く。 （もっと読む）

【課題】複数のヒータの取り付け、取り外しが容易で周囲の気流の影響を低減した取り付け構造を提供する。
【解決手段】複数のヒータ１２を保持する保持体１３の取付け面に保持溝１６を形成し、複数のヒータ１２を、その位置が保持体１３の長手方向に異ならるように前記保持溝１６内に保持し、ヒータ１２が加熱対象であるＴダイに接触するように、保持体１３をＴダイに取り付けている。 （もっと読む）

【課題】基板を載置する上面の局所的な温度分布を低減する。
【解決手段】基板が載置される上面１２ａを有する基体１２と、上面１２ａを含む上部１２１に埋め込まれ上面１２１に略平行な平面形状を有する第１発熱体１４と、上面１２ａを含む上部１２１に接合される下部１２２に埋め込まれ上面１２ａに直交する方向において、上面１２ａに対して第１発熱体１４よりも下方に配設される平面型の第２発熱体１６とを備え、第１発熱体１４を基体１２の上面１２ａに投影した第１投影パターン２４と、第２発熱体１６を上面１２ａに投影した第２投影パターン２６とが重なる重複部を有する。上面１２ａの面積に対する第１投影パターン２４と第２投影パターン２６との面積の合計の占有率が８５％以上であり、上面１２ａにおける第２投影パターン２６の面積に対する重複部の面積の割合が５％以上である。 （もっと読む）

【課題】面状ヒータの下方への輻射熱の伝播を抑制する面状ヒータであって、特に、面状ヒータのシャフト部を構成する前記大径のシリカガラス管内部を通過する輻射熱の伝播を抑制する面状ヒータを提供する。
【解決手段】電力を供給する電源端子部１０８が前記シリカガラス板状体１０２の下面中央部に設けられた面状ヒータ１であって、前記電源端子部は、カーボンワイヤー発熱体に電力を供給する接続線を収容する小径のシリカガラス管１０５ａ，１０６ａと、小径のシリカガラス管１０５ａ，１０６ａを収容する大径のシリカガラス管２とを備え、前記大径のシリカガラス管２の下端部にはフランジ部２ａが形成されると共に、前記上端部と前記フランジ部２ａとの間に径を異ならしめた屈曲部２ｂが形成され、かつ前記屈曲部下方の大径のシリカガラス管内に、金属板あるいは不透明シリカガラス板からなる第１の熱遮蔽板１９，２０，２１が収容されている。 （もっと読む）

【課題】印刷速度を早めた場合の定着フィルムによる磨耗を低減し、搬送不良や定着不良の発生を防止する。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１７を形成する。オーバーコート層１７上には複数の突起１７１を一体的に形成する。突起１７１上を摺動する定着フィルムの摺動性を向上させることができる。また、突起１７１の間に定着フィルムを摺動させることにより発生する突起１７１の屑を入り込ませることで定着不良の発生の防止にも寄与する。 （もっと読む）

【課題】 複数の電極が基板の同一端部側にあるセラミックヒータにおいて、ヒータ単体での長手方向温度分布の、抵抗体両端部での発熱量を均一化し、端部定着不良を防止することを目的とする。
【解決手段】 非電極側の導電部の折り返しパターンを、非電極側に延長する。延長する長さは、セラミック基板の熱伝導率によって決定し、アルミナ基板であるときは２ｍｍ以上、窒化アルミ基板であるときは４ｍｍ以上とする。 （もっと読む）

【課題】温度制御に対して良好な応答性を有し、また、熱処理装置の立上げや立下げ時間の短縮が可能であり、しかも、装置重量の軽量化を可能とした熱処理装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板用熱処理装置Ａは、炉体内部に通電により発熱可能としたヒータ装置３２を所定間隔を空けながら多段に配設している。前記ヒータは、0.01〜１mmの厚みを有する薄膜状のシート体で、発熱体をサンドイッチ状に挟持して形成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子写真方式による画像形成装置の定着装置のための発熱体として、耐熱性、熱伝導性および耐磨耗性に優れ、摩擦係数も低い保護層を設け、シームレスのシートを用いない簡略化された定着方式を構成できる新規な定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基材と、該基材上に設けられ、アモルファス炭素と該アモルファス炭素中に均一に分散した導電性阻害物質としての金属または半金属化合物とを含む炭素系発熱体層と、該炭素系発熱体層を被覆する、耐熱樹脂体質材中に半金属化合物を混合した保護層とを設け発熱体を構成する。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体層が薄く、厚さのバラツキの小さいヒーター基板およびそれを用いたヒーター装置並びにその製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｔｉ−Ａｇ−Ｃｕ系活性金属ペーストを塗布、焼成した後、エッチングすることにより、窒化チタン層を主成分とする発熱抵抗体層を具備したヒーター基板を得ることができる。これらヒーター基板は発熱抵抗体層は厚さ１０μｍ以下の活性金属窒化物層であり、厚さのバラツキが２０％以下と平坦性が優れている。これらのヒーター基板はガラス基板と密着するヒーター装置に好適である。 （もっと読む）

【課題】記録材が加熱体の長手方向に片側に寄って搬送された場合においても、非通紙部領域の温度上昇を低減する。
【解決手段】加熱体１００に設けられた抵抗発熱体１０２，１０３は加熱体長手方向において互いに異なる発熱分布を有すると共に、個々の抵抗発熱体は加熱体長手方向両端部の領域における単位面積あたりの発熱量が異なる。さらに、記録材検知手段の検知状態により各々の抵抗発熱体への通電比率を制御する。 （もっと読む）

本発明は、導電性格子をプラスチックパネル（２４）に印刷する装置（４０）及び方法を提供し、また、結果としての生産物を提供する。ノズル（４８）がアーム（４２）の端部に取り付けられ、ノズル（４８）が導電性インク源に連結される。インク源（４９）に連結された流量調整弁（４７）は、ノズルからのインクの流量を調整し、制御装置によって制御される。制御装置は、最初の導電性トレースをパネルに適用し、次の導電性トレースを最初の導電性トレースの近くあるいはその上に適用するようになっており、その長さの一部に沿って格子線の容量を変えている。
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【課題】ヒータの発熱量のバラツキをなくし、被処理基板の面内温度の均一性を向上させた熱板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を載置し該被処理基板を加熱するための熱板４１であって、基材となるシリコン基板４２と、シリコン基板の裏面に成膜された金属の電気抵抗体からなるヒータ４３と、シリコン基板の裏面又は表面に成膜された金属の電気抵抗体からなる温度センサ４７と、被処理基板を下方から支えて熱板の上に昇降するための支持ピンを挿通させるべくシリコン基板に設けられたピン孔４９と、シリコン基板４２の表面に形成され、熱板の上に載置される被処理基板との間に隙間を形成するためギャップ用突起５０とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】セラミックス製の基体と、この基体の中に埋設されている発熱体とを備えており、基体に被加熱物を処理するべき加熱面が設けられている加熱装置において、加熱装置の各部分における動作状態を安定化する。
【解決手段】基体２内において、所定のセラミックスの体積抵抗率よりも高い体積抵抗率を有する他のセラミックスからなる抵抗制御部２ｃが設けられている。所定のセラミックスが、マグネシウムおよびリチウムを実質的に含有していない窒化アルミニウム質セラミックスであり、他のセラミックスが、マグネシウムを酸化物に換算して０．５重量％以上含有する窒化アルミニウム質セラミックスであるか、または、所定のセラミックスが、マグネシウムおよびリチウムを実質的に含有していない窒化アルミニウム質セラミックスであり、他のセラミックスが、リチウムを１００ｐｐｍ以上、５００ｐｐｍ以下含有する窒化アルミニウム質セラミックスである。 （もっと読む）

【課題】定着ヒータの全長より小さいサイズを通紙する場合、通紙部のみを定着に必要な温度になるよう均一に発熱させ、通紙部以外の部分での異常発熱は防ぎながらも、グリースによるローラの潤滑性を阻害させないようにする。
【解決手段】耐熱・絶縁性の材料で形成された絶縁基板１１上に、比抵抗の大きい発熱抵抗体１２，１３の両端に、発熱抵抗体１１，１２の比抵抗より小さく発熱抵抗体１２１，１２２と１３１，１３２を直列接続して形成する。直列接続された１２１，１２，１２２と直列接続された１３１，１３，１３２に対し電極１４，１５から電力を供給する。これにより、各発熱抵抗体は発熱を始めるが、通紙部以外の発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の比抵抗を発熱抵抗体１２，１３の比抵抗より小さくしたことで、発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の異常昇温を防止することができる。 （もっと読む）