【課題】ガラス基板用熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
炉体内部に配設したヒータで被処理物を加熱する熱処理装置において、前記ヒータは発熱体よりなるヒータ本体を、中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、熱板の両端間に熱板よりも熱膨張率の小さい金属製の緊張手段を介設することにより熱板にテンションを掛けるべく構成してなる熱処理装置である。また、炉体内部に配設したヒータで被加熱物を加熱する熱処理装置において、前記ヒータは、発熱体よりなるヒータ本体を中空金属製のケース状の熱板中に収納して構成すると共に、補強材の立上げ壁を熱板に貫通し、補強材の一側端部を炉体フレームに固定し、他側端部には熱膨張を吸収可能な熱膨張吸収機構を設けたことを特徴とする熱処理装置である。 （もっと読む）

【課題】低抵抗化と抵抗安定性を両立させ得る発熱定着ベルト用素材を開発し、高発熱性でありながら、長期に亘り使用しても発熱性能が安定している耐久性の高い、発熱定着ベルトを提供する。
【解決手段】
発熱層に導電性繊維を含有する発熱定着ベルトであって、導電性繊維が導電性繊維Ａと導電性繊維Ｂよりなり、前記導電性繊維Ａと導電性繊維Ｂの長さと添加量が下記関係にあることを特徴とする発熱定着ベルト。
０．２≦（導電性繊維Ｂの長さ）／（導電性繊維Ａの長さ）≦０．８
０．０５≦（導電性繊維Ｂの添加量）／（導電性繊維Ａの添加量）≦０．２５ （もっと読む）

【課題】流動するガスを効率よく加熱することができるとともに、熱分解させることができ、さらに、単独であるいは他のガス分解装置と組み合わせて用いることができる多孔質発熱体、多孔質発熱素子及びガス分解素子を提供する。
【解決手段】連続気孔１ｂを有する金属多孔質体からなる多孔質発熱体１であって、
少なくとも表面に、Ｎｉ−Ｗ合金層１０ａを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】Ｓ波及びＰ波の両方に共鳴を生じさせスペクトル幅の狭い電磁波を放射する電磁波放射装置を提供する。
【解決手段】電磁波放射体が加熱機構に加熱され、電磁波放射体の放射面から電磁波が放射される。放射面には周期構造が露出する。周期構造においては、単位構造が周期方向に周期的に配列される。単位構造の各々は、負誘電率部及び正誘電率部を備える。負誘電率部の複素比誘電率の実部は負である。正誘電率部の複素比誘電率の実部は正である。負誘電率部及び正誘電率部は周期方向に交互に配列される。放射面における実効的な波長λ_eが周期構造の周期Ｐに一致する電磁波を考え負誘電率部の表皮厚Δを当該電磁波の電界の法線方向振動成分の強度が表面の１／１０に低下するまでの厚さと定義した場合に正誘電率部の幅Ｔがλ_e／２≦Ｔ≦Ｐ−Δを満たす。 （もっと読む）

【課題】接続部材、それを用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】接続部材１０２は、複数の導電糸５ａを有する導電性布帛（図４の導電性布帛５参照）に電気的に接続される帯状の接続部材１０２であって、導線が長手方向に延びるように配された帯状の導電部２と、導電部２の一端部２ｃに取り付けられた接続端子４と、を備える。また、導電部２は長手方向に沿って切断され、導電部の一片側２ａ及び導電部の他片側２ｂの２片を有する。接続構造体は、導電性布帛と接続部材とが接続されてなり、導電性布帛には、複数の導電糸が互いに略平行になるように並んで配置されており、導電性布帛の端縁からは、複数の導電糸の端部が露出しており、複数の導電糸の端部が、導電部と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ヒータなどに接続される電極として導電性布帛を用いる場合において、当該電極として機能する導電性布帛を容易かつ自在に分割することができる構成を提供する。
【解決手段】
導電部１１を有する導電性布帛１０と、この導電性布帛１０に接続されるクリップ２０と、を備える導電性布帛とクリップの組立体１（ヒータ装置２）であって、クリップ２０は、導電性布帛１０の導電部１１を挟む本体部２１と、この本体部２１が導電性布帛１０の導電部１１を挟むことにより導電性布帛１０の導電部１１を切断し、その切断部分の一方側に位置する導電部１１と他方側に位置する導電部１１を絶縁する切断部２２と、切断部分の一方側に位置する導電部１１と電気的に接続される第一の導電性部材２３１、および、切断部分の他方側に位置する導電部１１と電気的に接続される第二の導電性部材２３２を有する接続部２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 常温のみならず高温においても体積抵抗率を高い値に維持することができる窒化アルミニウム焼結体、及び該窒化アルミニウム焼結体を少なくとも部分的に用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブを内部に含んだ窒化アルミニウム粒子からなる窒化アルミニウム焼結体であって、その常温及び５００℃における体積抵抗率がそれぞれ１.０×１０^１３Ω・ｃｍ以上及び１.０×１０^８Ω・ｃｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】温度分布の制御精度の向上を図ることができるセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックスヒータ１によれば、各発熱抵抗体Ｑｋ（ｋ＝１〜５）から発せられた熱を、セラミックス基板２から伝熱面としての接合界面Ｓｊ（ｊ＝１〜３）を通過させた上で、セラミックス支持部材４の低温箇所に流れ込ませることができる。セラミックス基板とセラミックス支持部材との接合界面Ｓｊは、セラミックス基板２の載置面Ｓに対して垂直な軸線を取り囲むとともに、当該軸線に対して垂直な方向に離散的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】導電性線材とワイヤーハーネスの接続部分の他の導体との短絡を防止するととともに当該引き出された導電性線材の断線を防止することができる導電性布帛と接続端子の組立体を提供すること。
【解決手段】導電性線材１１１を含む導電部１１を有する導電性布帛１０と、この導電性布帛１０の導電部１１の端部から引き出された前記導電性線材１１１に電気的に接続されるワイヤーハーネス２０と、を備える導電性布帛とワイヤーハーネスの組立体であって、前記導電性線材１１１と前記ワイヤーハーネス２０の接続部分Ｃが、前記導電性布帛１０と前記導電性布帛の導電部の外面を覆う絶縁部材４０との間に挟み込まれている組立体１とした。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】機械的強度が高く、かつ、通電発熱性を有し、抵抗発熱体として好適に使用可能であること。
【解決手段】発熱体１は、金属アルミニウム粉２と、アルミニウム２の溶融点より低い温度では溶融しない炭素粉３と、アルミナ及びシリカ、アルミナとシリカとの複合酸化物、並びに、アルミニウムのケイ酸塩のうちの少なくとも１種を含有する無機酸化物材料の粉４と、有機化合物５と、水及び／またはバインダ６とが混合されてなる焼結原料混合物７を、圧力を加えて成形し、アルミニウム２の溶融点より高い温度で焼成してなるものであり、金属アルミニウム（Ａｌ）、金属シリコン（Ｓｉ）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、シリカ（ＳｉＯ₂）、並びに、アルミナとシリカとの複合酸化物またはアルミニウム酸化物とケイ素酸化物との複合酸化物を主成分とし、５％〜５０％の範囲内の空隙を有する多孔質材料に形成してなるものである。 （もっと読む）

【課題】表皮材が皮革製であっても、速熱感及び温熱感を得ることができるヒータ構造体を提供する。
【解決手段】本発明のヒータ構造体１は、皮革製の表皮材を複数に裂いて作製した第１表皮材片１１と、皮革製の表皮材を複数に裂いて作製した第２表皮材片１２と、第１表皮材片１１と第２表皮材片１２の間に挿入されている発熱体２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】機械的強度が高く、かつ、通電発熱性を有し、抵抗発熱体として好適に使用可能であること。
【解決手段】多孔質焼結体１は、アルミニウム粉２と、黒鉛粉３と、陶磁器用の粘土粉４と、木粉５と、これら原料が比重の違いによって移動が生じない量の水及び／またはバインダ６とを混合してなる焼結原料混合物７を圧力を加えて成形し、１０００℃〜１２００℃の範囲内で焼結して５％〜５０％の範囲内の空隙を有する成型体としてなる通電によって成型体が発熱するものである。 （もっと読む）

【課題】還元性雰囲気において好適に使用することのできるセラミックスヒーターを提供すること。
【解決手段】絶縁性セラミックス部材からなる基材の上に、順次、両端に端子部を有する導電性部材からなるヒーターパターン及び絶縁性セラミックス部材からなる被覆層を有し、前記端子部には前記絶縁性セラミックス部材からなる被覆層が存在せず、電源に連結するリード線が該端子部に接続されたセラミックスヒーター。前記ヒーターの端子部は導電性保護膜によって覆われており、該ヒーターの端子部と前記リード線が、伸展性を有する導電性材料からなるワッシャーを介して固着接続されてなる点が特徴である。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、多種多様な幅や厚みを有する被加熱体に応じて発熱部を制御することが可能である定着装置を提供することにある。
【解決手段】必要な回路に電力を供給する制御装置と、前記制御装置より供給される電力により発熱する発熱体を備えた定着装置であって、前記発熱体が少なくともポリイミドを含んでなる独立した複数の発熱部からなり、それぞれの発熱部に被加熱体の大きさに応じて制御装置より個別に備えられた発熱部の電極へ電力を供給されることで、被加熱体の大きさに応じて発熱する範囲を制御する。 （もっと読む）

【課題】 耐久性の高いセラミックヒータ及びヘアアイロンを提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックヒータは、セラミック基体２２と、セラミック基体２２中に内蔵された発熱抵抗体と、セラミック基体２２に設けられた開口部２８から露出し、発熱抵抗体に電気的に接続された取出電極２７と、取出電極２７の表面にロウ材３５によりロウ付けされたリード部材２４とを備え、ロウ材３５が３層以上の金属層からなる層構造を有することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】接続端子を大きくすることなく電気的な接続状態を良好なものとすることができる導電性布帛と接続端子の組立体を提供すること。
【解決手段】導電性部材を含み導電性を有する面が形成された導電部１１を有する導電性布帛１０と、この導電性布帛１０に接続される接続端子２０と、を備える導電性布帛１０と接続端子２０の組立体１であって、前記導電性布帛１０の一部が幅方向に丸められ、その導電性布帛１０の丸められた部分を囲むように前記接続端子２０が接続されている組立体１とする。 （もっと読む）

【課題】セラミック原料を焼結してなる基板に低温焼成のために希土類元素でなる発熱線を印刷し、これにグリーンシートを密着させて接合した二枚のシートを大気中で低温焼成工程で焼結することで、優れた物性を持つセラミック発熱体をより容易に製造することである。
【解決手段】セラミック原料を焼結してセラミック基板１０を製作し、前記セラミック基板１０に通電用貫通孔１２を形成する第１段階；前記セラミック基板１０に低温焼成用ペーストをスクリーン印刷して発熱線１４を形成する第２段階；前記貫通孔１２に対して銀ペーストをスクリーン印刷して電極１６を形成する第３段階；前記セラミック基板１０の発熱線１４形成面に対してグリーンシート１８を加熱及び加圧して接合する第４段階；接合された前記セラミック基板１０と前記グリーンシート１８を低温焼成して基板本体２０を製作する第５段階；及び前記基板本体２０の電極１６に溶加剤を介してリードワイヤ２２を大気中に露出された状態でろう付けする第６段階を含む。 （もっと読む）

【課題】生産性や耐久性に優れた高性能の面状発熱体を提供する。
【解決手段】編物１からなり、タテ方向に間隔をおいて発熱糸３ａが複数本ヨコ方向に編み込んであり、両側の縁部６，６に導電糸４が複数本タテ方向に編み込んである面状発熱体とする。 （もっと読む）

【課題】スケールの生成付着を抑制でき、高寿命の熱交換器を提供する。
【解決手段】熱交換器１０は、下部のヘッダ部４５はヘッダ部主流路４５ａと、流路断面積が徐々に狭くなるヘッダ部絞り流路４５ｂが流路スペース２５に開口された構成にすることによって、ヘッダ部絞り流路４５ｂでの流速が先に行くほど次第に速くなり、気泡が途中に取り残されることがなくスムーズに流出され、泡により流れが偏流して、伝熱面の一様な熱交換が阻害されることを防止でき、安定した熱交換が可能で高寿命の熱交換器を提供することができる。 （もっと読む）