【課題】本発明は、裏面加熱用のヒータを電極と確実に最適な位置で接続することが可能な半導体製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体製造装置は、ウェーハを裏面から加熱するためのヒータエレメント１１と、ヒータエレメント１１と一体化され、ヒータエレメント１１に電圧を印加するための第１の接続部１２ａ及び第２の接続部１２ｂと、第１の面で第1の接続部１２ａと接触、固定され、第１の接続部１２ａに電圧を印加するための第１の電極１４ａと、第1の面と面方向が９０度異なる第２の面で第２の接続部１２ｂと接触、固定され、第２の接続部１２ｂに電圧を印加するための第２の電極１４ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックスヒーター上に直接載置された被加熱物を均一に加熱でき、加熱効率も高く、ヒーター本体が大型化せずコンパクトであり、不純物やパーティクルの飛散が少なく寿命が長い安価なセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】一対以上の貫通孔１３が形成された絶縁性セラミックスからなる板状部材１２と、導電性セラミックスからなる導電層１９と、絶縁性セラミックスからなる被覆層２１とを備えたセラミックスヒーター１１であって、貫通孔に導電性セラミックスからなる接続部材１４が挿入され、該接続部材の一端面１６が板状部材の主面１５と同一平面をなし、接続部材は導電層１９が被覆されて板状部材に固定されるとともに、ヒーターパターン２０を有する導電層と接続され、接続部材の反対側は板状部材から突出するとともに該突出部１８は被覆層が形成されていない端子を構成するセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】均質性に優れ製造コストが安価で溶射皮膜の長さと厚みの調整で所望の電気抵抗値を得ることが可能な低温用の溶射発熱体及びその製造方法並びにそれを用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０の加熱源として使用できる低温用の溶射発熱体１１であって、導電性の立体、パイプ１３、及び板材のいずれか１つを基材としその表面に溶射処理形成された絶縁溶射皮膜１５と、絶縁溶射皮膜１５の表面上に溶射処理形成された鉄酸化物の導電性溶射皮膜１６と、導電性溶射皮膜１６の表面上に形成され導電性溶射皮膜１６の酸化を防止すると共に絶縁を行う絶縁保護皮膜１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】着座感に優れ、かつ耐久性、信頼性の高い発熱線を用いた面状発熱体を提供する。
【解決手段】可撓性を有する支持体に配設される発熱線３を、複数本の金属繊維強化を利用した銀入り銅合金線４の素線に個別に絶縁被覆を施して撚り線状に構成し、かつ発熱線３の外側には被覆を施さないように構成する。これにより、外径が小さいために着座時の違和感が無く、かつ金属繊維強化で個別に絶縁を施した素線を用いたために、耐久性、信頼性をより向上することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温で連続使用が可能で、極めて均一な発熱領域を有し、発熱層および絶縁層が強固に一体化されたフレキシブルな面状発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る面状発熱体は、発熱層、電極、および絶縁層を積層してなる。発熱層では、ポリイミドからなるマトリックス樹脂中にカーボンナノ材料及びフィラメント状金属微粒子からなる導電性物質が実質的に均一に分散されて存在している。電極は、発熱層に電力を供給するためのものである。絶縁層は、発熱層および電極を被覆する。 （もっと読む）

【課題】 Ａｕ、ＡｇやＰｔのような金属の単体を発熱抵抗体として使用したウエハ加熱装置は、発熱抵抗体の抵抗温度係数が４０００／℃以上と大きいため、ウエハ交換や設定温度変更のために急速昇温させようとした際、温度調節がうまくできずウエハの温度バラツキを低減できないという課題があった。
【解決手段】 ウエハ加熱装置の均熱板上に形成する発熱抵抗体の一部の抵抗値を小さくすることによって前記発熱抵抗体の抵抗値分布を調製する。 （もっと読む）

【課題】 冷却中、特に急速冷却中の被加熱物の均熱精度をさらに改善ヒータユニットを提供する。
【解決手段】 本発明のヒータユニットは、被加熱物を搭載して加熱処理するためのヒータ基板と、該ヒータ基板を冷却するための冷却モジュールを備えたヒータユニットにおいて、前記ヒータ基板と冷却モジュールの間に介在物を配置することで、介在物の変形能を利用して、介在物が配置されない場合に比べて非接触部分の割合を少なくすることができ、冷却時のヒータ基板の温度均一性を向上させることをできる （もっと読む）

【課題】本発明は、柔軟・伸縮性と難燃性を有する信頼性の高い発熱体を提供することを目的としている。
【解決手段】反応性樹脂を用いてその反応生成物によりバリアー性を確保した難燃性バリアーフィルムを難燃性ベース不織布、難燃性カバー不織布に設けた構成とする。これにより、柔軟・伸縮性と難燃性と高い信頼性が確保できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面状発熱体に機械的ストレスを与え、ＰＴＣ高分子抵抗体の抵抗特性を安定させて面状発熱体の性能・品質性能を向上させることにある。
【解決手段】ＰＴＣ高分子抵抗体１４は導電性微粉末を高分子ポリマーに配合した自己温度制御性を有するＰＴＣ抵抗体としてあるので、発熱部が面状であり発熱面積が広く、発熱表面温度が低くできるので、安全性が向上するとともに、快適性の向上が図れ、このＰＴＣ抵抗体であるＰＴＣ高分子抵抗体１４は、抵抗値がばらついたり、経時的に変化して、面状発熱体１１の性能が安定しない心配があるが、伸縮繰り返し等の機械的ストレスを与えて、ＰＴＣ高分子抵抗体１４の結晶化と配向を進行させ安定した状態に近づけるようにしてＰＴＣ高分子抵抗体１４の抵抗特性を安定させてあり、面状発熱体１１の性能・品質を向上させることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、柔軟・伸縮性を有するとともに信頼性の高い発熱体を提供する。
【解決手段】柔軟性を有するベース不織布２と、ベース不織布２に貼り合わされた柔軟・伸縮性を有するバリアー性ベースフィルム５と、バリアー性ベースフィルム５上に形成された電極８と、電極８により給電される高分子抵抗体９と、柔軟性を有するカバー不織布１３と、柔軟・伸縮性を有し、カバー不織布１３に貼り合わされ、電極８、高分子抵抗体９、及びバリアー性ベースフィルム５と接着性を有するバリアー性カバーフィルム１０と、電極８及び高分子抵抗体９をバリアー性ベースフィルムとバリアー性カバーフィルム間に熱融着より密封され、前記バリアー性ベースフィルムが、少なくとも２層の積層フィルムよりなり、前記ベース不織布側に配置されたフィルムＡの成分である樹脂Ａと、印刷面のフィルムＢ中の成分である樹脂Ｂとが反応性を有する組合せとしてなる発熱体。 （もっと読む）

【課題】 低コストかつ簡単な構成で装置のスペックを低下させることなく非通紙部昇温を防止することができ、より信頼性の高い加熱装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板と、基板上に形成された負の抵抗温度特性を有する抵抗発熱体と、抵抗発熱体に給電する電極とからなる加熱体によって被加熱材を加熱する加熱装置において、抵抗発熱体を長手方向において3個以上の部分に分割し、分割した抵抗発熱体の各ブロックは被加熱材搬送方向に電流が流れるように給電され、かつ分割した抵抗発熱体の各ブロックは電気的に直列に接続する。抵抗発熱体の加熱面から見た形状は長方形、もしくは平行四辺形と台形とする。各ブロック間の隙間近傍で抵抗発熱体の抵抗を高くして、隙間部分の発熱量低下を補う構成をとってもよい。 （もっと読む）

表面を加熱するヒーター・システム及び関連する方法を本発明により提供する。本発明は、一実施例では、加熱面を形成する表面と、加熱面に接して設けた積層ヒーターとを含んでいる。また、加熱面に沿って複数接続点が配置され、該接続点が、複数リード線に接続されているのに加えて、積層ヒーターの抵抗発熱層と電気接触している。一実施例では、複数リード線を介してマルチプレクサが複数接続点と接続され、制御装置がマルチプレクサと接続されている。その場合、マルチプレクサは、抵抗を複数接続点から制御装置へ順序付けて伝送し、制御装置は、接続点間の抵抗差に基づいて複数接続点の各々へ供給される電力量を制御する。
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【課題】 繰り返しの使用でも平面状電極から剥がれることがないと共に、リード線が引き抜かれ難く、耐久性に優れた接続端子および面状発熱体を提供すること。
【解決手段】 ボタン状取付具３０のピン３０ａを通すための装着孔４６が形成してある導電性の平板部４０を有する接続端子２０である。平板部４０の裏面が取り付けられる平面状電極６に対して食い込む導電性の爪部４８が、平板部４０に一体的に形成してある。平板部４０と取付具３０との間に電気的に接続されるリード線２２を軸方向移動不能に把持することが可能な断面略Ｕ字形状の小把持部４２が、平板部４０の軸方向に連続して一体的に形成してある。リード線２２の外周に被覆してある絶縁チューブ２２ｂを軸方向移動不能に把持することが可能な断面略Ｕ字形状の大把持部４４が、小把持部４２の軸方向に連続して一体的に形成してある。 （もっと読む）

【課題】
透明発熱層に入射する光を透過させることが可能な領域の大きさを維持しつつ、電極が配設される部分の電極幅を小さくすることにより、その外形寸法を小さくすることが可能となるパネルヒータを提供することである。
【解決手段】
本発明のパネルヒータ１は、透明基板２と、透明基板２の面に形成されている透明発熱層３と、透明発熱層３に接続されている電極５と、電極５に接続されている配線４とを備えている。そして、この電極５が、透明基板２の対向する２辺のそれぞれにおいて、透明発熱層３上に蒸着された対の金属薄膜であることを特徴としている。また、電極５を透明基板２上に形成する場合、当該電極５を透明発熱層３で被覆する。 （もっと読む）

【課題】自己温度制御機能を有するヒータミラーを均一に発熱させ、かつ熱膨張によるクラックの発生を抑える。
【解決手段】ヒータミラーであって、少なくとも背面が非導電性の基板と、基板の背面に形成された、スリット１５により分割された複数の反射膜兼抵抗発熱膜１２ａ、１２ｂと、反射膜兼抵抗発熱膜１２ａ上に形成された第一電極１３ａと、反射膜兼抵抗発熱膜１２ｂ上に形成された第二電極１３ｂと、スリット１５を覆うＰＴＣ材料層１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
発熱効果が高く、高温で安全に使用でき、製作コストの低い半導体電熱膜の製造方法の提供。
【解決手段】
上記の半導体電熱膜の製造の下記のステップで完成した。(1)塩化物及び硅化物を主体材料とし、金属化合物を混合し、溶剤を加えて原料とする。(2)調合剤として少量の無機酸を加え、主体材料を酸化、または還元させる。(3)基板を超音波と純水で洗浄し、高温炉に入れて徐々に加熱し、双態点温度に達したとき、ノズルから高温の調合された燒着原料の荷電粒子を基板に噴射燒着する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで加熱効率が高く、しかも製造コストを低減できるセラミックヒータ、熱交換ユニット、温水洗浄便座、及びセラミックヒータの製造方法を提供すること。
【解決手段】 セラミックヒータ（５）は、セラミック製のヒータ部材（１１）が円筒状に２重に巻かれて、その円周方向の両端が重ね合わされた形状を有しており、その軸方向には洗浄水が通過する貫通孔（１７）が形成されている。つまり、ヒータ部材（１１）とは、アルミナ製のセラミック基体（１９）の表面に発熱体（２１）が蛇行状に形成されたものであり、このロール形状の焼結体であるヒータ部材（１１）によりセラミックヒータ（５）が構成されている。従って、このセラミックヒータ（５）では、従来のようなスリットが無く、発熱体（２１）は、セラミックヒータ（５）の円周方向にほぼ均等に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 載置台の内部に収容される作動液の蒸気の流れがよどむことを抑制して、基板面内にわたって均一に熱処理を行うことができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 載置台１の内部の空間Ａには、作動液が収容されるとともに、中央部に配置される冷却プレートを囲むように４本の棒状ヒータ３が配置されている。加熱時は、各棒状ヒータ３によって発生した蒸気が、載置台１の中心部及び周縁端側に向かって拡がる（矢印を付した２点鎖線で模式的に示す）。このように、蒸気が互いに衝突することなく周縁端まで到達することができ、よどみ点の発生を抑制できる。したがって、載置台１を均一に昇温できるので、基板に対して基板面内にわたって均一に熱処理を行うことができる。また、冷却プレートを載置台１の中央部に配置することにより、載置台１を効率よく冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】既知の加熱素子の利点を維持しながら、過熱保護および／あるいは温度調節を提供するために、加熱素子内の温度変化を検出するための方法を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも、電流によって熱を発生する層、加熱面、そしてそれらの間に設けた誘電体からなる加熱素子に関する。この場合、誘電体は、少なくとも第一および第二の誘電層からなり、それらの間に導電層が配置される。本発明は、また、そのような加熱素子を備えた液体容器からなる。 （もっと読む）

【課題】 環境試験装置等に採用される操作孔付き観測窓を改良するものであり、操作孔の直近部分についても曇ったり霜が付くことのない操作孔付き観測窓を提供することを課題とする。
【解決手段】 透明基材６には、操作孔１５，１６が設けられている。操作孔を除く全域に導電発熱層２０が設けられている。透明基材６の左右の両端には、母線（主電極）２１，２２が設けられている。操作孔１５，１６の近傍には、補助電極２５，２６が設けられている。補助電極２５，２６は、一方側補助電極片２７と他方側補助電極片２８によって構成されている。一方側と他方側の補助電極片２７，２８は対称形であり、いずれも円弧状をしている。補助電極片２７，２８は、いずれも操作孔１５，１６に対して同心的に配置されている。 （もっと読む）