セラミック抵抗イグナイター要素を製造する新規方法であって、実質的に高められた圧力の不存在にての該要素の焼結を含む方法が提供される。本発明の製作方法から得られ得るセラミックイグナイターもまた提供される。
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【課題】優れた急速昇温性を有し、短時間で定常状態に達するセラミックヒータを提供することである。
【解決手段】棒状のセラミック基体１１と、該セラミック基体１１中に埋設された発熱体１２とを備え、発熱体１２は、セラミック基体１１の先端側に延びる２本の線状部１２ａ，１２ｂと、これらの線状部１２ａ，１２ｂの先端同士をつなぐ折り返し部２ｃとを有し、セラミック基体１１の軸方向に垂直で、かつ、２本の線状部１２ａ，１２ｂを含む平面で切ったときの断面において、一方の線状部１２ａが円形ないし楕円形であり、他方の線状部１２ｂが多角形である。 （もっと読む）

【課題】高周波プラズマを発生可能な加熱装置において、プラズマの分布を被加熱物の中央部と周縁部とで均一にして、良好な特性の製品を安定して生産することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】被加熱物を加熱する加熱面を有する絶縁性セラミックス基体１０と、この絶縁性セラミックス基体１０に配設された発熱体１３と、この加熱面より絶縁性セラミックス基体１０の内部にて、この加熱面と平行に近接して設けられた低抵抗セラミックス部材１６と、この低抵抗セラミックス部材に接続する導電性部材１８とを備える加熱装置。 （もっと読む）

【課題】製造過程において素子成形体にクラックが発生することによる不具合を抑制することのできるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータは、１対の棒状のリード部、リード部の先端部同士を連結する略Ｕ字状の連結部、及び、各リード部から外周方向に突出する電極取出部を具備し、導電性セラミックからなる発熱素子と、発熱素子を保持する絶縁性セラミックからなる基体とを備える。上記セラミックヒータは、素子成形体３１を成形しておき、そのまわりを絶縁性セラミック粉末で固めるプレス成形を施して保持体を得た後、保持体を脱脂し加圧条件下で焼成することで得られる。素子成形体３１の電極取出部３７，３８のうち少なくとも付け根部分を、外周側ほど先細りする湾曲面５１を具備する変化部５２とし、変化部５２のリード部長手方向の長さＲ２及び当該長手方向に直交する突出方向の長さＲ１をいずれも０．５ｍｍ以上とする。 （もっと読む）

【課題】コストの増大を招くことなく、密度ムラに起因する不具合を抑制することの可能なセラミックヒータの製造方法を提供する。
【解決手段】素子成形体３１を成形する工程と、絶縁性セラミック材料粉末を用いて半割絶縁成形体４０を成形する工程と、外枠５２を具備する金型装置を用い、セットされた半割絶縁成形体４０上の所定位置に、素子成形体３１を設置し、さらに絶縁性セラミック粉末を充填し上からプレスすることで、素子成形体３１を絶縁成形体で保持した保持体を得る工程と、保持体を加圧焼成して焼成体を得る工程とを経ることでセラミックヒータが製造される。素子成形体３１は、１対の棒状のリード部及び略Ｕ字状の連結部を備え、当該連結部のうち先端側の所定区間は小断面積部３６となっている。保持体形成工程では、絶縁性セラミック材料粉末を小断面積部３６においてより厚く充填する。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ない、すなわち発塵性の少ないサセプタを提供する
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するゲルマニウムとイオウの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のゲルマニウムの含有量が１００ｐｐｍ以下であり、かつイオウの含有量が２００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 絶縁性セラミックからなる基体に、導電性セラミックからなり金属製ではない発熱部材が埋設された構造を備えたセラミックヒータにおいて、焼成課程に形成されうる残留気孔による不具合を解消するセラミックヒータの製造方法を提供する。
【解決手段】
基体材料に発熱部材材料を埋設して一体化した一体成形物を形成した後に、１７００℃以上のホットプレス焼成を行い、その後、さらに１５００℃以上１８００℃以下、５ＭＰａ以上２００ＭＰａ以下の窒素雰囲気にてＨＩＰ焼成を行う。この焼成手順の恩恵をより有効に得られる構成は、絶縁性セラミック基体に対して導電性セラミック発熱部材が占める体積割合を１０％以上とした構成である。
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【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ないサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するカドミウムとリンの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のカドミウムの含有量が１５０ｐｐｍ以下であり、かつリンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体設置面の均熱性を向上させ、ヒーターの端子部が半導体製造装置内部の雰囲気への暴露を防止できるようにした半導体加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０Ａは、半導体設置面２ａを備えるヒーター１Ａ、およびヒーターの背面２ｂに対して固定される中空の支持部材１１を備え、支持部材１１の外周面間寸法よりも、支持部材長寸法のほうが大きく、ヒーターが、板状の基体２、抵抗発熱体からなる第一の加熱素子３、第一の加熱素子３とは独立して制御される第二の加熱素子４、第一の加熱素子３に接続された第一の端子部６Ａ、および第二の加熱素子４に接続された第二の端子部７を備え、支持部材の内側空間１２に、第一の端子部６Ａに接続された第一の電力供給手段１５と、第二の端子部７に接続された第二の電力供給手段１４と、第一の加熱素子３と第二の加熱素子４とが互いに電気的に接続しないように略同一の平面Ａ内とした構成である。 （もっと読む）

【課題】 冷却中、特に急速冷却中の被加熱物の均熱精度をさらに改善ヒータユニットを提供する。
【解決手段】 本発明のヒータユニットは、被加熱物を搭載して加熱処理するためのヒータ基板と、該ヒータ基板を冷却するための冷却モジュールを備えたヒータユニットにおいて、前記ヒータ基板と冷却モジュールの間に介在物を配置することで、介在物の変形能を利用して、介在物が配置されない場合に比べて非接触部分の割合を少なくすることができ、冷却時のヒータ基板の温度均一性を向上させることをできる （もっと読む）

【課題】 低コストかつ簡単な構成で装置のスペックを低下させることなく非通紙部昇温を防止することができ、より信頼性の高い加熱装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板と、基板上に形成された負の抵抗温度特性を有する抵抗発熱体と、抵抗発熱体に給電する電極とからなる加熱体によって被加熱材を加熱する加熱装置において、抵抗発熱体を長手方向において3個以上の部分に分割し、分割した抵抗発熱体の各ブロックは被加熱材搬送方向に電流が流れるように給電され、かつ分割した抵抗発熱体の各ブロックは電気的に直列に接続する。抵抗発熱体の加熱面から見た形状は長方形、もしくは平行四辺形と台形とする。各ブロック間の隙間近傍で抵抗発熱体の抵抗を高くして、隙間部分の発熱量低下を補う構成をとってもよい。 （もっと読む）

【課題】耐酸化性を向上させることができるように改良された、半導体製造装置に使用される給電用電極部材を提供することを主要な目的とする。
【解決手段】セラミックスで形成されたサセプタ１上にウエハ２を搭載し、該サセプタ１を加熱して、上記ウエハ２を加熱する半導体製造装置に使用されるものであり、かつ上記サセプタ１に外部から給電するための給電用電極部材１１に係る。給電用電極部材１１の、室温から５００℃までの熱膨張係数は３．０×１０^-6／Ｋ以上、８．０×１０^-6／Ｋ以下であり、室温における電気導電率は１０^-3Ωｃｍ以下であり、５００℃大気中における酸化による重量増加は０．１％／時間以下にされている。 （もっと読む）

【課題】 比抵抗が小さく、抗折強度が大きい窒化珪素質導電性セラミック及びその製造方法並びにこれを用いたセラミックヒータ及びセラミックグロープラグを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化珪素質導電性セラミックの製造方法は、窒化珪素、導電性セラミック成分及びＲＥ_２Ｓｉ_２Ｏ_７（但し、「ＲＥ」は希土類元素である）を含有し且つ焼成されて発熱抵抗体となる未焼成発熱抵抗体を、焼成されて絶縁性基体となる未焼成絶縁性基体に埋設した状態で焼成する焼成工程を備える本発明のグロープラグは、主体金具２１と、その一端側に嵌め込まれた固定筒２２と、これに嵌挿され且つ先端部が固定筒の端面から突出して配設された本発明のセラミックヒータ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 フィルム加熱方式の加熱装置に好適に用いられる、優れた温度即答性と強度を共に有する多孔質セラミックス加熱体及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】板状多孔質セラミックス抵抗発熱層１１と、板状多孔質セラミックス補強層１２との積層構造物であり、該補強層に、該抵抗発熱層の表面が露出する温度検出素子埋設用の穴を設けた加熱体１０。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒーターにおけるリード部材の接合部の冷熱サイクルに対する耐久性を向上させ、長期間にわたり使用できるセラミックヒーター及びこれを用いた加熱用こてを提供する。
【解決手段】発熱抵抗体２と該発熱抵抗体２に接続する引き出しパターン３を埋設したセラミック体１と、該セラミック体１に形成されたスルーホール４と、該スルーホール４の少なくとも内周に形成されたスルーホール導体層５と、セラミック体１表面にスルーホール導体層５と接続された電極パッドパターン６を有し、少なくとも上記電極パッドパターン６にリード部材７を接続してなり、導体層５と引き出しパターン３の間に金属材料９が充填されている。 （もっと読む）

【課題】押出性に優れた押出成形用坏土を製造する方法を提供すること。
【解決手段】セラミック原料粉末成分と水系バインダ成分とを含む配合物を形成する配合工程と、密封かつ冷却可能な混練容器２を有する混練機１を用い、前記配合物を前記混練容器２内で密封かつ冷却しながら混練して押出成形用坏土とする坏土調製工程と、冷却可能な押出成形機１０を用い、前記押出成形用坏土を冷却しながら押出す押出工程とを有するもの。 （もっと読む）

【課題】発熱性能を向上させることが可能な発熱体、および、その発熱体を備えた加熱用構造部材および容器と、発熱性能を向上させることができるとともに容易に所望の形状に成形することが可能な発熱体の製造方法とを提供することである。
【解決手段】発熱体は、セラミックス相と、アルミニウムの第１の金属相と、アルミニウム以外の金属を含む第２の金属相とを含む。加熱用構造部材および容器は上記の発熱体を備える。発熱体の製造方法は、アルミニウム粉末またはアルミニウム合金粉末を防水処理するステップと、セラミックスと、防水処理されたアルミニウム粉末またはアルミニウム合金粉末と、水とを混合して成形することにより成形体を得るステップと、成形体を加熱することにより焼成するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 1,600℃は勿論のこと1,800℃以上の高温域においても安定した発熱を得ることができる消耗の少ない発熱材料を提供する。
【解決手段】 50〜95重量％の炭素成分と、70重量％前後の二酸化珪素、15重量％前後の酸化アルミニウム、2.2重量％前後の酸化鉄、3.5重量％前後の酸化カルシウム、3.0重量％前後の酸化ナトリウム、2.5重量％前後の酸化カリウム及び1.0重量％前後の酸化マグネシウムを含む天然鉱物を主成分とする鹿児島県鹿児島郡桜島町南岳で採取した火山灰とからなり、電気比抵抗が3,000μΩcm以上であり、且つ、一辺が１cm以上のブロックに形成されている発熱材料。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで加熱効率が高く、しかも製造コストを低減できるセラミックヒータ、熱交換ユニット、温水洗浄便座、及びセラミックヒータの製造方法を提供すること。
【解決手段】 セラミックヒータ（５）は、セラミック製のヒータ部材（１１）が円筒状に２重に巻かれて、その円周方向の両端が重ね合わされた形状を有しており、その軸方向には洗浄水が通過する貫通孔（１７）が形成されている。つまり、ヒータ部材（１１）とは、アルミナ製のセラミック基体（１９）の表面に発熱体（２１）が蛇行状に形成されたものであり、このロール形状の焼結体であるヒータ部材（１１）によりセラミックヒータ（５）が構成されている。従って、このセラミックヒータ（５）では、従来のようなスリットが無く、発熱体（２１）は、セラミックヒータ（５）の円周方向にほぼ均等に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ガスや液体を効率良く加熱でき、また構成も簡素で小型化、軽量化を図ったセラミックス多孔体ヒータを提供する。
【解決手段】 低嵩密度の三次元網目構造セラミックス多孔体と高嵩密度の三次元網目構造セラミックス多孔体とが、該網目構造を構成する骨格により結合し一体化された三次元網目構造セラミックス多孔体からなり、前記高嵩密度の三次元網目構造セラミックス多孔体部分を電極部としたセラミックス多孔体ヒータ。 （もっと読む）