【課題】機械的強度が高く、かつ、通電発熱性を有し、抵抗発熱体として好適に使用可能であること。
【解決手段】多孔質焼結体１は、アルミニウム粉２と、黒鉛粉３と、陶磁器用の粘土粉４と、木粉５と、これら原料が比重の違いによって移動が生じない量の水及び／またはバインダ６とを混合してなる焼結原料混合物７を圧力を加えて成形し、１０００℃〜１２００℃の範囲内で焼結して５％〜５０％の範囲内の空隙を有する成型体としてなる通電によって成型体が発熱するものである。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体の柔軟性を高め、耐久性の改善を図ったものである。
【解決手段】柔軟性を有する電気絶縁性基材２と、主成分が樹脂組成物と導電体とからなる導電性被覆を有した少なくとも１対の線条電極３と、主成分が樹脂組成物と導電体とからなる高分子抵抗体４とからなり、前記高分子抵抗体４は前記１対の線条電極４に電気的に接続するとともに、前記電気絶縁性基材２および前記１対の線条電極３と機械的に接合した構成としている。したがって、電気絶縁性基材２と少なくとも１対の電極と高分子抵抗体の３層構造で構成しているので、柔軟性を発揮しやすくすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記二つの電極の少なくとも一つの電極がカーボンナノチューブ構造体を含み、該カーボンナノチューブ構造体が複数のカーボンナノチューブを含む。前記複数のカーボンナノチューブが分子間力で接続され、均一に分布されている。前記カーボンナノチューブ構造体が、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム、少なくとも一本のカーボンナノチューブ線状構造又はカーボンナノチューブフィルムとカーボンナノチューブ線状構造との複合構造を含む。 （もっと読む）

【課題】 面ヒーターの熱を有効に加熱板に伝え、効率よく加熱し、加熱板裏面の温度を正確に測定して、温度制御を容易とする。
【解決手段】 第１電気絶縁シート１１、面ヒーター５、第２電気絶縁シート１２、温度センサー１６、第３電気絶縁シート１９の順に積層してヒーター・センサーユニット２０とする（ｃ）。剛性フレーム２２に固定した加熱板１の裏面２ａ側に、ヒーター・センサーユニット２０を密着させる。加熱板１の裏面２ａ側を縦方向及び横方向に区画した形状・大きさの押さえ板２５を配置する（ａ、b）。剛性フレーム２２に剛性ビーム２８を架設して、剛性ビーム２８と押さえ板２５との間にバネ２９を介装して、総ての押さえ板２５、２５をヒーター・センサーユニット２０側（加熱板１側）に押圧して、加熱装置３０とする。 （もっと読む）

熱間スプレーされたガスヒーターは、ハウジングを通るようガスを推進するガス流れ装置と、該ガス流れ装置の表面に接合された熱間スプレーされたヒーターと、を具備しており、該ヒーターは該ハウジング内の該ガス流れを加熱するように配置される。他の側面では、乱流ガスダクト用のヒーターシステムは、ガス流れチャンネル内で乱流ガス流れを提供するように形作られた表面を有するガス流れチャンネルを備えるダクトと、そして該ガス流れチャンネル内の該ガス流れを加熱するように配置された熱間スプレーされたヒーターと、を具備する。 （もっと読む）

積層ヒータ２０は、少なくとも１つの曲がり部分３２を有する抵抗回路パターンを画定する抵抗層２６を含む。電流集中効果を緩和するために、曲がり部分３２の上面３８と底面４０の少なくとも一方に導電性オーバレイ３６が設けられ、それによって、電気回路の早期故障が防止される。積層ヒータを製造する方法も開示する。このオーバレイは、抵抗層が形成された後に曲がり部分上に形成することができる。このオーバレイはまた、抵抗層が形成される前に、抵抗層を支持する基板又は誘電体層の上に形成することもできる。
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【課題】ヒータ寿命が長く、且つ、到達温度が高い結晶成長装置を実現する。
【解決手段】結晶基板支持部１０は、蓋部１２と、アルミナスリーブ１４と、石英管１６と、を備えている。蓋部１２の上には結晶基板１００が載置され、上方から原料ガスが導入される。アルミナスリーブ１４は、円筒状をなしており、その円筒の一方端には蓋部１２が配置される。さらにこの一方端の内部には第１の平面ヒータ１８ａと、第２の平面ヒータ１８ｂとが重畳して取り付けられている。第１の平面ヒータ１８ａと第２の平面ヒータ１８ｂとは電気的に直列に接続されており、同じ電力の場合、電流値を小さく電圧値を大きくすることができる。電流値が小さくなるので、電源コード等を細くすることができ、さらに水銀接点等の発熱を抑制できる。さらに、平面ヒータ１８を２枚で構成したので、発生する熱量をより多くすることができ、高温をより容易に実現可能である。 （もっと読む）

【課題】 簡単に装着できかつ装着するときおよび装着したときに 周辺部に多大なスペースを要求しないバンドヒーターを提供すること。
【解決手段】 本発明のバンドヒーター１は、筒状部材６の外周面に配置されるバンドヒーター１であって、発熱体２と、導線４と、ハウジング３と、係止手段５と、を有し、係止手段５は、ハウジング３の外周で周方向にそって配置されハウジング３の両端部を近接させる係止部５１１をもち、かつ導線４がハウジング３および係止手段５の外周面より径方向内方にもうけられたことを特徴とする。本発明のバンドヒーターは、バンドヒーターに要するスペースを小さくできる効果を発揮する。 （もっと読む）

【課題】小型の電熱器のベースに埋め込む放射電気加熱エレメントを提供する。
【解決手段】放射電気加熱エレメントは、導電材料の細長いリボン（１２）から成り、この細長いリボン（１２）が、対向する第１の長い縁（１６）及び第２の長い縁（１８）を有して、前記第１の長い縁（１６）で電熱器内の熱及び電気絶縁材料のベース（８）上に直立して支持されるようにされている。前記細長いリボン（１２）の第２の長い縁（１８）に、実質的にその長さに沿って互いに間隔を置いて離れている複数の導電フィン（２０）が設けられて、高さ（Ｈ）が変化する導電バンドを形成するようにしている。 （もっと読む）

細線状抵抗体３０の各側にそれに沿って正電極１０と負電極２０を配置する。正電極１０は、抵抗体３０に沿って間隔を置いて配置された複数の枝部１３、１４によって接続点Ｐ２、Ｐ３で抵抗体３０に接続される。負電極２０は、抵抗体３０に沿って間隔を置いて配置された枝部２３、２４によって接続点Ｐ１、Ｐ４で抵抗体３０に接続された抵抗発熱体である。接続点Ｐ１〜Ｐ４は、抵抗体３０に沿って互いにずれた位置にある。接続点Ｐ１とＰ２並びに接続点Ｐ３とＰ４の間にある抵抗体３０の部分３１と３２は、抵抗体３０の有効領域として機能する。
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【課題】 昇温・降温特性に優れたヒータユニットを提供する。
【解決手段】
通電によりヒータを昇温させる電極と、上記電極に接続された炭化ケイ素を含む材料から構成されたヒータと、被加熱体を保持するウェハホルダーと、上記ヒータと前記ウェハホルダーを取り囲む、少なくとも内側表面に反射層が設けられたチャンバーと、を備えるヒータユニット。 （もっと読む）