【課題】帯状ヒータエレメントの加熱面からの熱の輻射を促進して被加熱物を効率良く加熱するととともに、前記支持板に対向する対向面からの熱の輻射を抑えて、支持板及び接続端子の温度上昇を抑制してこれらの部材の寿命延長を図ることができる輻射ヒータを提供する。
【解決手段】概略矩形状をなす支持板の一方の面に立設されている一対の接続端子の間に、帯状ヒータエレメント４０を、その幅方向が前記支持板と平行な平面に沿うように前記支持板の一方の面を覆うように配置した輻射ヒータであって、帯状ヒータエレメント４０は複数の張架支持部材によって支持されており、さらに、帯状ヒータエレメント４０の被加熱物に向けられる加熱面４０Ａには、輻射率を向上させる塗膜４６が形成されているが、加熱面４０Ａとは反対面であって前記支持板に対向する対向面４０Ｂには、塗膜４６が形成されていないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高頻度の使用を繰り返してもヒーター電極層の亀裂や基板からの剥離が起こらない信頼性に優れたセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 酸化アルミニウムからなるセラミックス基板と、このセラミックス基板の上面に溶射により形成されたヒーター電極層と、このヒーター電極層を被覆するように前記セラミックス基板の上に溶射により形成された酸化アルミニウム層と、を具備するセラミックスヒーターにおいて、前記ヒーター電極層の気孔率が３〜７％であることを特徴とするセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】パネル状ヒータの用途を広げ、様々な環境で利用可能にする。
【解決手段】パネル状ヒータ１において、炭を含有して通電により発熱する炭シート１０を、繊維強化樹脂によって構成される保護ボード１２、１３によって挟みこむようにし、更にこの炭シート１０の端縁に沿って電極１４を配置するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被加熱体を加熱した際に当該被加熱体の温度均一性を向上できるヒータユニットを得ることを目的とする。
【解決手段】シャフト２２の径方向内側部分である第２熱伝導体３２は、シャフト２２の径方向外側部分である第１熱伝導体３０よりも熱伝導率が低い。このため、抵抗発熱体１８の発熱状態と非加熱状態とが繰り返し切り替えられた場合に、第２熱伝導体３２では、第１熱伝導体３０と比べて、シャフト２２の先端部２２Ｂから基端部２２Ａ側への熱の移動が抑制される。このため、ヒータプレート１６のうちシャフト２２の空洞４２と対峙する部分では、ヒータプレート１６、ひいてはウエハ２８の加熱温度が所望の温度に達するまでの時間が従来のヒータユニットに比べて短縮される。従って、ヒータプレート１６で加熱されるウエハ２８の温度均一性を向上できる。 （もっと読む）

積層ヒータ２０は、少なくとも１つの曲がり部分３２を有する抵抗回路パターンを画定する抵抗層２６を含む。電流集中効果を緩和するために、曲がり部分３２の上面３８と底面４０の少なくとも一方に導電性オーバレイ３６が設けられ、それによって、電気回路の早期故障が防止される。積層ヒータを製造する方法も開示する。このオーバレイは、抵抗層が形成された後に曲がり部分上に形成することができる。このオーバレイはまた、抵抗層が形成される前に、抵抗層を支持する基板又は誘電体層の上に形成することもできる。
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【課題】半導体の製造に用いるためのウェーハ加工装置内に埋め込まれた抵抗加熱素子の回路パターンに関する。
【解決手段】 抵抗加熱素子用の最適電極パターンを有するウェーハ加工装置が、開示される。最適電極パターンは、接触域、電気接続部、及びスルーホール等の区域の近傍又は周囲により多くの熱を発生させて最高温度均一性をもたらすことによって、これらの周囲の熱損失を補償するように設計される。本発明の最適設計の別の実施形態では、加熱素子の抵抗は、より高効率のために、詳細にはより高い動作温度又はより高い電気出力を必要とする時に電源のインピーダンスに密接に整合する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱用窒化アルミニウム基板１００は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分１１０と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分１２０とを備える。高熱伝導部分１１０は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分１２０は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター１は、加熱用窒化アルミニウム基板１０と、高熱伝導部分１１に形成された発熱層２０と、低熱伝導部分１２に形成された電極層３０とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分１２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 板状のヒーターの表面全体から遠赤外線を放射し、対象物に対して広い範囲から柔かく遠赤外線を照射することができる、遠赤外線パネルヒーターを提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁体よりなる芯板５に電熱ヒーター６を巻回して電熱板７を形成し、当該電熱板７を絶縁板８で挟持して発熱体４を形成し、金属板２の裏面に前記発熱体４を取り付けると共に、当該金属板２の表面に加熱により遠赤外線を放射するセラミック３を塗装してなる。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱量のバラツキをなくし、被処理基板の面内温度の均一性を向上させた熱板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を載置し該被処理基板を加熱するための熱板４１であって、基材となるシリコン基板４２と、シリコン基板の裏面に成膜された金属の電気抵抗体からなるヒータ４３と、シリコン基板の裏面又は表面に成膜された金属の電気抵抗体からなる温度センサ４７と、被処理基板を下方から支えて熱板の上に昇降するための支持ピンを挿通させるべくシリコン基板に設けられたピン孔４９と、シリコン基板４２の表面に形成され、熱板の上に載置される被処理基板との間に隙間を形成するためギャップ用突起５０とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】機械的負荷に対して強く、安全かつ寿命の長い発熱体を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも部分的に相互接触によって上下に電気的に直接又は間接的に互いに接続し、許容最大温度を超える場合少なくとも一時的にその導電性を少なくとも部分的に消失する少なくとも一つの発熱導体（１１，１１’，１１’’）又は発熱導体部分（１３）とを有する、少なくとも一時的にユーザと接触する面を加熱するための発熱体（１）に関する。少なくとも二つの発熱導体（１１，１１’，１１’’）又は発熱導体部分（１３）の電気抵抗は、少なくとも部分的にその機械的負荷に依存しており、前記発熱導体（１１，１１’、１１’’）又は発熱導体部分（１３）は電気的に互いに並列接続されており、スペーサゾーン（２２）においてそれらの間の電気接続を防ぐために前記発熱導体又は発熱導体部分はスペーサゾーン（２２）によって少なくとも部分的に互いに離間される。 （もっと読む）

【課題】長手方向に均一な発熱を得ることができ、素早い温度立ち上がり特性を有する定着等に用いるヒータを実現する。
【解決手段】長尺板状絶縁基板１１に短手方向に幅広の発熱抵抗体１６を形成し、発熱抵抗体１６の両端部にＡｇの含有率が９０ｗｔ％以上の配線パターン１４，１５を介して電力供給用の電極１２，１３を形成する。少なくとも配線パターン１４，１５、発熱抵抗体１６上にオーバーコート層を形成する。発熱抵抗体１６の一端と幅に相当する配線パターン１４，１５長をＬｃとし、配線パターン１４，１５の短手方向長の計をＷｃとする。これらＬｃとＷｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃを４０〜７５とする。これにより、配線パターン１４，１５の長さに対して幅を広くすることができ、配線パターン１４，１５全体に電流が流れやすくなる。このため幅広の発熱抵抗体１６の絶縁基板１１の長手方向に対して略均一な発熱量と温度分布を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ヒータの長手方向で均一な温度分布を得ながら被加熱体のサイズに応じて短手方向の場所を変えることなく発熱領域を変えた定着の実現を図る。
【解決手段】長尺板状絶縁基板１１に短手方向に幅広の発熱抵抗体１９を形成し、発熱抵抗体１９の両端部に形成された配線パターン１５，１６と接続する。配線パターン１５，１６、発熱抵抗体１９上にオーバーコート層２５を形成する。配線パターン１５，１６の絶縁基板１１の長手方向中間部と電極１２，１３をそれぞれ接続する。配線パターン１６の両端に電極１４を、絶縁基板１１の裏面の導体パターンを介してスルーホールを用いて接続する。電極１２，１３あるいは電極１２，１４に選択的に電力を供給することにより、絶縁基板１１の長手方向で均一な温度分布を得ながら、短手方向の場所を変えることなく異なるサイズの被加熱体に対応が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 加熱板一枚当りの実質的な重量軽減、使用電気容量の低減、分割・軽量による加熱板交換・組立の容易化、加熱板厚み低減による多段段数の確保を可能とした、熱板、複合熱板及びこれらを備えた加熱炉を、提供することを目的とする。
【解決手段】 中空部４を有する支持体５と、この支持体５の上面に積層される発熱体６と、この発熱体６の上に積層される伝熱体７とを備えた熱板１、さらに、中空部４が、上下２枚の支持層と、この支持層を保持する長手方向に走る梁３とに囲まれた熱板。 （もっと読む）

【課題】面状ヒータ、例えばシートに搭載した場合において、使用者が座っても突っ張り感により座り心地を損なわず、抵抗値が変化すること無く一定の暖かさが得られるものを目的とする。
【解決手段】あみ目７に対して斜めの方向に引っ張りなどの機械的ストレスＢが加えられた場合、糸６同士の交差位置はずれること無く、あみ目７だけが機械的ストレスＢの方向へと変形し、伸びる。よって、加えられた引っ張り力が無くなると、元のあみ目７の形状に戻る。 （もっと読む）

【課題】 高温下でも絶縁性に優れており、かつ、他の諸特性にも優れている絶縁シートを提供する。
【解決手段】 アルコキシド縮合脱水物からなるバインダーと、酸化チタン、アルミナ及びジルコニアの少なくとも一つを含む顔料と、溶媒とからなる塗料が、シート形状又は非シート形状の基材または発熱体の表面に設けられて膜を形成している絶縁構造体であって、アルコキシド縮合脱水物が、トリメチルメトキシシラン又はトリメチルエトキシシランと、テトラメトキシシラン又はテトラエトキシシランとを５対２以下の割合で含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動車、モーターボート等のステアリングホイールに用いられる面状発熱体に関するもので、ステアリングホイールへ装着した面状発熱体の温度部分を調整して、ステアリングホイールを握ったときの使用感を向上すること目的とする。
【解決手段】面状発熱体１４の線状ヒータ１７は前記リング部１２の円周方向に沿って折り返しを繰り返して配設し、かつ、リング部１２の最外周部の線状ヒータ１７の折り返しを疎となるように配設してあるので、使用者がリング部１２を握ったときに手のひらがあたるリング部１２の最外周部の温度を調整することができるようになり、使用者の握り方に合わせて、面状発熱体１４の発熱を調整出来、ステアリングホイールを握ったときの使用感を向上することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に窒素ガス透過率が１×１０^−２ｃｍ^２／ｓｅｃ以下である耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかもチャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストな加熱素子を提供する。
【解決手段】 少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に第三の元素が含有された化合物からなる耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかも、チャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層の上に酸素量が量論比以下である酸化物である耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】製品の全体長が予め決められている場合、全体長が枝電極間最短距離の整数倍とならない限り、均等に枝電極を配置できず発熱温度に斑が生じる。
【解決手段】ＰＥＴフィルム２上に対向する一対の主電極３、４と、主電極３、４から櫛形形状に配設される枝電極５〜９と、高分子抵抗体１０と、接着性を有する接着性樹脂層１１とを予め形成された被覆材１２に貼り合わせて形成した面状発熱体１において、枝電極９は他の枝電極５〜８よりも太く形成されており、かつ隣あう異極となる枝電極５と枝電極６との最短距離Ｘは他の枝電極間最短距離と同様となるように配設し、同極枝電極５、６の最短距離Ａは同極枝電極６、７の最短距離Ｂよりも長くする。 （もっと読む）