【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）

【課題】 発熱面積が広く、瞬時に昇温することにより熱効率が高く、さらに平面で発熱するために均一的な温度分布が得られ、低コストで効率よく加熱保温することができる栽培容器用温床装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の栽培容器用温床装置は、農産物栽培用ハウス内の高設ベンチ上に配設される栽培容器内に、発熱体を内設したことを特徴とする。また前記発熱体は、ポリエステルフィルムの上面にニッケルインヂウム酸化化合物を添加した塗料を塗布した面にポリエステルフィルムを積層被覆し、両端に電極を圧着接合し電極部に電源を接続して形成される。 （もっと読む）

【課題】透水性および通気性を有する線面タイプの面状発熱体を確実かつ効率的に製造する方法を提供すること。
【解決手段】導電性糸を有する横糸２と、絶縁性の縦糸３と、電極線４，４と、が織り込まれた平織の織布５を有する面状発熱体１を製造する方法であって、前記導電性糸の両端部を除く部分に絶縁性ポリマー８との密着性を高めるための表面処理を施す工程と、行列状に目開き孔が形成されるように、横糸２、縦糸３および電極線４，４を織り込んで織布５を作製する工程と、織布５に織り込まれた電極線４，４の表面に接着剤を塗布する工程と、目開き孔が塞がれることなく表裏面を貫通する貫通孔９となるように、織布５に絶縁性ポリマー８を含む被覆液を塗布して乾燥することにより、導電性糸および電極線４，４の周囲を絶縁被覆する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】エアフォイル等のガスタービンエンジン構成要素の除氷／氷結防止用ヒータアセンブリ及びその形成方法を提供する。
【解決手段】ガスタービンエンジン構成要素の除氷／氷結防止用ヒータアセンブリ１０は、最大５５０゜Ｆ（２８８℃）の作動温度に耐えられる耐熱性樹脂を含浸した高密度の布地層１２に隣接して取り付けられる金属の発熱体１４を備える。ヒータアセンブリ１０は、エンジン構成要素の強度に影響しない程度の厚さに設計され、ワイヤ等の導線を用いて電源に接続されるとともに、エンジン構成要素に埋め込まれる。発熱体１４により、電気エネルギが熱エネルギに変換され、ヒータアセンブリ１０が除氷されるとともに、氷結防止される。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体を含み熱効率を向上することのできるヒートローラ及びこれを使用した定着装置を得る。
【解決手段】抵抗部材が絶縁部材に埋設されている円筒状の面状発熱体を備えるヒートローラ。面状発熱体は内管と外管との間に配置される。抵抗部材は、面状発熱体の発熱密度がヒートローラの軸線方向について変化するように形成される。面状発熱体の発熱密度がヒートローラの軸線方向について中央部よりも端部が大きい。 （もっと読む）

【課題】ガラスクロスにフッ素ゴムを含浸させたフッ素ゴムシート及びこのシートを用いたフッ素ゴム面状ヒーターにおいては、フッ素ゴムとガラスクロスの密着性が弱いため界面剥離の原因となっていた。また、そのため絶縁抵抗・絶縁耐圧の低下が起きていた。
【解決手段】本発明のフッ素ゴムシートは、ガラスクロスと、このガラスクロスに接着力強化剤を介して含浸せしめたフッ素ゴム層とより成ることを特徴とする。本発明のフッ素ゴム面状ヒーターは、ガラスクロスに接着力強化剤を塗布した後フッ素ゴムを含浸せしめてシートを得、このシートに対し加熱、加圧を複数回加え、得られたシートをヒーターエレメントに接着力強化剤を介して熱圧着せしめて製造する。 （もっと読む）

【課題】ウエアや椅子、シート、ハンドル、グリップ、カーテンなどに装着した場合にも、異物感を感じることのない柔軟性を維持すること。
【解決手段】第１の樹脂層２と、第１の繊維層１を積層してなる基材３と、前記基材３の前記樹脂層２の面に形成されてなる一対の電極４と、前記一対の電極４の面に形成されるＰＴＣ抵抗体５と、前記基材３と前記電極４と前記ＰＴＣ抵抗体５の表面全体を被覆すると共に、前記第１の樹脂層２に熱融着可能な第２の樹脂層７と第２の繊維層８を積層してなる被覆材１１と、前記一対の電極の端部に形成された一対の給電部６よりなり、前記第１の繊維層及び前記第２の繊維層の少なくとも一方の繊維層が粘着剤９を含有してなる柔軟性ＰＴＣ発熱体を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウエアや椅子、シート、ハンドル、グリップ、カーテンなどに装着した場合にも、異物感を感じることのない柔軟性を維持すること。
【解決手段】第１の樹脂層２と、第１の繊維層１を積層してなる基材３と、前記基材３の前記樹脂層２の面に形成されてなる一対の電極４と、前記一対の電極４の面に形成されるＰＴＣ抵抗体５と、前記基材３と前記電極４と前記ＰＴＣ抵抗体５の表面全体を被覆すると共に、前記第１の樹脂層２に熱融着可能な第２の樹脂層７と第２の繊維層８を積層してなる被覆材１０と、前記一対の電極の端部に形成された一対の給電部６よりなり、前記第１の繊維層及び前記第２の繊維層の少なくとも一方の繊維層が、加熱時に接着機能を示す樹脂組成物９を含有してなる柔軟性ＰＴＣ発熱体を提供する。 （もっと読む）

【構成】電気加熱パネルである。このパネルは、矩形ベース部をもつ内側シェルと、内部に、一連のＵ字形ベンドをもつカバーからなる外側気密アルミニウムシェルからなる。このカバーの内部に、一連のＵ字形ベンドを有し、外側シェルと一体化された気密コネクタモジュールの内部まで延長する２つの擬似円形端部をもつ平面蛇線体の形を取るオーミック抵抗を配設する。蛇線体は、断面が矩形、幅および厚みが一定で、幅／厚み比が３未満のステンレスＡＩＳＩ３０４鋼からなる剛性バーから構成する。それぞれ蛇線体の各面に接触する内側シェルおよびカバーに接触する２枚の雲母シートが蛇線体を外側シェルから絶縁するとともに、自由内部空間を最小限に抑える。内側シェルのベース部が、ハードな陽極処理によって形成され、かつ赤外線照射に有利に作用する黒色の厚い酸化物層を有する。内部の断熱体がカバーに向う熱の流れを妨害する。コネクタモジュールは、広い円形ベース部を有し、ベース部のねじによって給電ワイヤおよび蛇線体の端部に接続された、２つの真鋳カラムを有する。プロウブが、蛇線体に接触する温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】容器入り飲料を必要な本数分だけ飲み頃温度まで効率よく短時間に加温する自動販売機を提供する。
【解決手段】ＰＴＣ素子により構成された発熱手段４５と販売する容器入り飲料の容器とを直接接触して飲料を加温するものであるから、必要な本数分だけ飲み頃温度まで熱の拡散を極力抑えて効率よく短時間に加温できる。また、ＰＴＣの自己温度制御作用により低温の容器入り飲料には高能力の加温エネルギーを与え、一方飲み頃温度間近の容器入り飲料には低能力の加温エネルギーを与えることとなり負荷に応じた合理的な加熱が行える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の大型化やコスト増を伴うことなく、加熱後のヒータの冷却速度を従来よりも格段に高めることができ、生産性の改善向上に寄与し得るヒータモジュール、及びこれを用いた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】ヒータモジュールは、表面上にウエハを載置して加熱制御するヒータ部１ａと、ヒータ部１ａに対し相対的に移動可能に設けられ、ヒータ部１ａの裏面に当接又は分離してヒータ部１ａとの合計熱容量を変えるためのブロック部３ａとを備えている。ブロック部の熱容量をヒータ部とブロック部の合計熱容量の２０％以上とすることで、ヒータ冷却速度を１０℃／分以上にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 基本的にセラミックスを使用せず、安価であって、しかも破損しにくいヒータ、特に半導体製造装置用ガスシャワー基板として有用なヒータを提供する。
【解決手段】 絶縁被覆された１枚の金属製支持体３上に発熱体１を支持固定するか、あるいは、絶縁被覆された２枚の金属製支持体３の間に発熱体１を挟み込んで固定することにより、ヒータを構成する。金属製支持体３の絶縁被覆は、酸化物等の絶縁材料の溶射膜や、テフロン樹脂又はポリイミド樹脂などの樹脂膜が好ましい。特に金属製支持体３がアルミニウム又はアルミニウム合金のときは、アルマイト処理により絶縁被覆を形成することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 基本的にセラミックスを使用せず、安価であって、しかも破損しにくいヒータ、特に半導体製造装置用ガスシャワー基板として有用なヒータを提供する。
【解決手段】 絶縁被覆された発熱体１を、１枚の金属製支持体３の表面上に支持固定するか、あるいは２枚の金属製支持体３で挟み込んで固定することにより、ヒータを構成する。発熱体の絶縁被覆は、酸化物等の絶縁材料の溶射膜や、テフロン樹脂又はポリイミド樹脂などの樹脂膜が好ましい。また、金属製支持体３にも同様に絶縁被覆を施すことができ、特に金属製支持体がアルミニウム又はアルミニウム合金のときは、アルマイト処理により絶縁被覆を形成することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は保温性の高い全体的に均一な発熱が可能で結露現象も防止することができる暖房用発熱パネルを提供する。
【解決手段】電気の供給により発熱する板状の面状発熱体（１００）と、前記面状発熱体の上面に結合されるマグネシウムボード板（２００）と、板状で発泡成型され前記面状発熱体の下面に結合されるもので上面の縁には前記面状発熱体に連結されるリードワイヤが収容される安着溝を備える底部材（３００）と、前記底部材の下面に結合され多数の隔壁により空気層が形成される隔室が備えられる中空板（４００）とを含んで構成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、柔軟性と印刷性そして強度をそれぞれの機能を有する材料で項別に構成し、柔軟性を維持したまま、ものづくりをしやすくするとともに、器具に装着した際の面状発熱体の使用感と耐久性等の信頼性を向上させることにある。
【解決手段】前記柔軟性基材２および柔軟性樹脂フィルム４は電極５と高分子抵抗体６の印刷形成時に必要な強度あるいは使用時の伸び等の応力に対する強度を有しないようにして柔軟性を保持させるとともに、柔軟性基材２の表裏のどちらか１面あるいは両面に電極５と高分子抵抗体６の印刷形成時に必要な強度あるいは使用時の伸び等の応力に対する強度を有する伸び規制部３を設け、柔軟性基材２の柔軟性を維持しながら、柔軟性基材２及び柔軟性樹脂フィルム４の伸びを規制して、柔軟性基材２上に形成された電極５及び高分子抵抗体６に柔軟性を保ちながら伸びが生じないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維を堅固に固定させながら電熱シートを連続的かつ大量に生産できる電熱シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】シート供給工程と、炭素繊維供給工程と、加熱搬送工程と、１次導電テープ付着工程と、２次導電テープ付着工程と、中間部材付着工程と、圧着工程と、切断工程とを有する電熱シート製造方法である。また、上部シート及び下部シート、上記の上部シートの底面と下部シートの上面に付着される第１，２，３導電テープ、上記の第１，３導電テープの間に接着される中間部材、上記の第１導電テープと中間部材の間および第３導電テープと中間部材の間に各々設置される炭素繊維を含めて構成される電熱シートである。 （もっと読む）

【課題】 高温で使用できかつケミカルな汚染を防止するとともに真空装置に容易にインストールできる構造を提供することである。
【解決手段】 抵抗加熱ヒータを石英ガラスで覆ったヒータモジュールであって、各ヒータには給電用の端子が２つ以上あり、その端子に接続された電力導入部材がヒータモジュールの１個所より集中的にまとめて配置することにより半導体ウェハなどのプロセスにおいて処理物を高温に維持できるとともに、個々の抵抗加熱ヒータに近接して設ける温度制御用の熱電対により複数の領域で独立して温度を調節できる。 （もっと読む）

【課題】 発熱素子を安定に発熱させる。
【解決手段】 断熱筒１と、断熱筒１の上蓋２および下蓋３と、発熱素子４と、対の電極端子５，６と、放熱体７とを有している。断熱筒１は、断熱性を有する角筒であり、上蓋２は、熱伝導性シート、下蓋３は断熱性の板である。発熱素子４は、対の電極端子５，６に挟んで断熱筒１内に配置される。上蓋側の電極端子５は平板であり、下蓋側の電極端子６は平板の対向縁に対のばね座９，９を有している。放熱体７は、放熱筒１３と、締付縁１４とを有し、放熱筒１３は、上蓋２に接してその外面に配置され、締付縁１４は、断熱筒１を跨り、下蓋３の下面に折り返され、前記放熱筒１３を上蓋２の外面に圧接すると共にばね座９，９を圧縮し、発熱素子４に両電極端子５，６を均等に接触させる。 （もっと読む）

【課題】加熱容量等に関する低下なしにヒータの材料が更に良好に撓曲させる。
【解決手段】加熱デバイスは電気絶縁基材上に位置された導電層を含む。該導電層は好適には上記基材上にスクリーン印刷される。基材は導電層の伸びを制限することで導電体の耐久性を改善すると共に自動車座席などの可撓用途における当該加熱デバイスの使用を可能とすべく設計される。基材はヒータの可撓性、疲労抵抗および通気性を更に改善すべく該基材を貫通する少なくとも一個の開孔を含み得る。導電層は加熱デバイスの周縁部の内方近傍の第１バス用アースと、加熱デバイスの一方の縁部から他方の縁部まで延在する蛇行経路を備えた第１バスとを備えたバス構造を含むべく構成される。バス構造は更に蛇行経路と第１バス用アースとの間に位置されたＬ形状部分を備えた第２バスを含む。各蛇行経路の間における中央箇所には第２バス用アースが配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定形状の板状部材における外周面に沿って巻回されるように配置された薄膜状の発熱抵抗素子を備える面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】面状発熱体１は、絶縁性の板状部材２１と、板状部材２１の外周面に巻回されるように配置される薄膜状の発熱抵抗素子２０と、記板状部材２１の第１の面２１０Ａに配置される絶縁性の第１のカバー部材３と、板状部材２１の第２の面２１０Ｂに配置される絶縁性の第２のカバー部材４と、を備える。 （もっと読む）