【課題】ヒータの本体部分のみならず端部における防爆対策をも併せ持った二重管式ヒータの防爆構造を提供する。
【解決手段】フィラメント１２が封入された石英管１３を、冷却流体が供給される外側管１４の内部に封入して二重管式ヒータとし、その端子部にリード線収納用のチューブ１８を取り付け、このチューブ１８の内部にパージエアを供給して炉内ガスの侵入を阻止した。可燃性の有機溶媒蒸気が発生するワークを乾燥する炉の加熱源として適している。 （もっと読む）

【課題】加熱部位より末端側の延出部分の放熱を促進することができ、しかもその部分の屈曲性が阻害されず、良好な作業性が得られるシース型ヒータの取付に関する技術を提供せんとする。
【解決手段】金属製外筒１０内の少なくとも一部に発熱線を収納してなるシース型ヒータ１を、加熱対象となる真空装置９に取り付けた構造であり、シース型ヒータ１の発熱線を有する発熱部３を、真空装置９の加熱部位５である均熱板９１に固定するとともに、該均熱板９１（加熱部位５）より延出される当該シース型ヒータ１端末側の外筒１０に、軸方向所定領域Ｒにわたり別部材の金属製コイルスプリング２を設け、これにより表面温度を低下させたい延出部分４の放熱を促進させる。 （もっと読む）

シャンクと、先端とシャンクと先端との間の融合部であって先端内の熱の閉じ込めを改善するために抵抗勾配を与えるように構成された融合部と、を含む熱極を提供する。熱極はまた一体化冷却用ノズルを含んでもよい。シャンク、先端、融合部および一体化冷却用ノズルすべてが単一の工作物で形成されてもよい。熱極はまた、シャンクと一体化された小型取り付け台により形成されてもよい。小型取り付け台は、熱極を締め付け構造から効率的に交換するように、締め付け構造と結合されることができる。
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【課題】 絶縁層および抵抗発熱体からなる発熱層が積層された発熱部材を有する加熱部材であって、加熱部材を構成する部材間で局部的な剥離が発生するのが防止されて、局部的な伝熱効率の低下が発生するのが防止され、表面の温度分布が設定温度に対してばらつきのない加熱部材を提供する。
【解決手段】 加熱部材２０は、放熱部材２０１と、低硬度良熱伝導部材２０２と、発熱部材２０３と、発熱部材２０３を放熱部材２０１に近接する方向に弾発的に押圧する押圧部材２０４とを含む。そして、放熱部材２０１は、円筒体の一部を成す筒状に形成される筒状部２０１ａと、筒状部２０１ａの周方向両端部から内側に屈曲する屈曲片２０１ｂとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】通風方向の寸法の拡大を抑制しつつ、一層放熱性能を向上することが可能な電気ヒータ装置を提供すること。
【解決手段】一対の電極板３２、３３が通風方向に直交するように加熱ユニット３０を配置して、通風方向に薄型のＰＴＣヒータ装置とし、電極板３２、３３には、ＰＴＣ素子３１を挟持しない放熱部３２４、３３４に切り起こしたルーバ３２５、３３５を設けている。 （もっと読む）

【課題】高効率、高出力の熱交換装置を提供することを目的とする。
【解決手段】多数枚のプレートフィン１に設けられた貫通孔１４に貫通されて密着保持された伝熱パイプ３と、前記伝熱パイプ３内に挿入されたシーズヒータ４とを備えた熱交換装置である。したがって、伝熱パイプ３を拡径することによって、プレートフィン１との密着性が向上し、また、シーズヒータ４の熱は確実に伝熱パイプ３に伝達される。これにより、シーズヒータ４からプレートフィン１への熱移動が確実となり、高効率熱交換を実現できることとなる。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れ、高効率、高出力の流体加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】並設される多数枚のプレートフィン１と、前記プレートフィン１に設けられた貫通孔に貫通されて密着保持された伝熱パイプ４と、前記伝熱パイプ４内に挿入された丸棒形状をした電気ヒータ３とを備え、前記伝熱パイプ４と電気ヒータ３との間には空気層となる間隙ｔを設けたもので、前記間隙ｔの空気層が熱緩衝作用を発揮し、加熱すべき流体などの負荷が変動しても、伝熱パイプ４およびプレートフィン１の急激なる温度変動を抑制できるものである。 （もっと読む）

【課題】電気加熱装置の要素をより単純に組み立てる製造方法を提供する。さらに、より単純に、より低コストで製造できる電気加熱装置を提供する。
【解決手段】電気加熱装置は、ハウジング２を備えており、ハウジング内には、少なくとも１つのばね要素のテンション力によって加熱ブロック８が保持されており、このばね要素は、その組立て後位置において加熱ブロックとほぼ同じ高さに位置しており、ハウジングには対向するハウジング開口が画成されており、これらのハウジング開口を通じて加熱ブロック８が露出している。加熱ブロック８をハウジングパーツ４に挿入し、別のハウジングパーツ６によって加熱ブロック８をハウジング２内に囲む。組立てを容易にするため、ハウジング２を閉じて加熱ブロック８を囲むときに、ばね要素がその組立て後位置に配置されて弾性変形することを提案する。 （もっと読む）

【課題】フィラメントとリード間およびリード同士間の不所望な放電を防止し、フィラメント以外から不所望の光放射を防止する。
【解決手段】発光管２内部に、各フィラメント４１１〜４５１の両端に一対のリード４１２〜４５２が連結されてなる複数のフィラメント体４１〜４５が、発光管の管軸に沿って順次に並んで配設され、各リードが封止部５において電気的に接続されて各フィラメントに対して各々独立に給電されるフィラメントランプ１において、発光管内部に、各リードを挿通する開口を備え、発光管の内面に近接するよう管軸に沿って配置され、各フィラメントと各リードとの間に介在する絶縁壁（内管）３と、発光管と絶縁壁とにより区画され、各リードに対応して設けられた複数のリード収容空間１１１〜１１５とを備え、各リードが、絶縁壁の開口を通って、各リード収容空間に、互いに短絡することなく配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】この発明は、加熱用のヒーターランプ装置において、隣接するヒーターランプから放射される光がヒーターランプ内のフィラメントに直接入射し、該フィラメント自身が異常加熱され、断線による短寿命を改善するヒーターランプ装置を提供することにある。
【解決手段】発光体がガラス管内部に配置されたヒーターランプを複数本並列配置し、反射ミラーと冷却機構を持ったヒーターランプ装置であって、該ヒーターランプの発光体から放射される光が、隣接するヒーターランプの発光体に直接入射することを妨げる遮光手段として、該ヒーターランプ間に該ヒーターランプの管軸方向に添った概略板状の遮蔽部材を具備し、該反射ミラーを介して隣接するヒーターランプに入射する間接光の通過する空間が該反射ミラーと該遮光部材との間に設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】巻き戻しを防止した放熱フィン付ヒータを提供する。
【解決手段】シース２の両端に碍子４及び端子３を配設して形成したシーズヒータ１のシース２に金属製の薄板からなるフィン５を螺旋状に接した状態で巻き回して形成し、フィン５との両端を略同一のステンレスにて形成されシース２を挿通させたもリング状の巻崩れ防止部材６に溶接固定することにより、フィン５をシーズヒータ１に対し、Ａ方向に膨張可能な構成とした。 （もっと読む）

【課題】流体を効率良く加熱することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】第１の流入口３に連通する第２の流入口７、第１の流出口４に連通する第２の流出口８、第２の流入口７から第２の流出口８へ流体を案内する流路９及び流路９に配設されたシーズヒータ１０を有する加熱部５を、相互に並列配置して設けた。これにより、第１の流入口３に流入した流体を、複数の加熱部５に分岐させて、それぞれの加熱部５で加熱できる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱用窒化アルミニウム基板１００は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分１１０と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分１２０とを備える。高熱伝導部分１１０は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分１２０は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター１は、加熱用窒化アルミニウム基板１０と、高熱伝導部分１１に形成された発熱層２０と、低熱伝導部分１２に形成された電極層３０とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分１２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の大型化やコスト増を伴うことなく、加熱後のヒータの冷却速度を従来よりも格段に高めることができ、生産性の改善向上に寄与し得るヒータモジュール、及びこれを用いた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】ヒータモジュールは、表面上にウエハを載置して加熱制御するヒータ部１ａと、ヒータ部１ａに対し相対的に移動可能に設けられ、ヒータ部１ａの裏面に当接又は分離してヒータ部１ａとの合計熱容量を変えるためのブロック部３ａとを備えている。ブロック部の熱容量をヒータ部とブロック部の合計熱容量の２０％以上とすることで、ヒータ冷却速度を１０℃／分以上にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子の微細パターンを精度良く形成するにはウェハに成膜処理やエッチング処理を行う際にウェハの表面温度をこれまで以上に小さく制御する必要があった。しかし、これまでのセラミック製のヒータはウェハの面内温度差が５℃以上と大きく微細パターンを形成すると半導体素子の歩留まりが低下する虞があった。
【解決手段】 コイル状の抵抗発熱体を埋設した板状セラミック体の一方の主面を板状の被加熱物を載せる載置面とし、該載置面から見て前記コイル状の抵抗発熱体の中心線は円弧状と折り返し形状とを連続させて略同心円状に配設され、同一円周上に位置する一対の折り返し形状をなす抵抗発熱体の間の距離が半径方向に隣り合う前記円弧状をなす中心線の間の距離よりも小さくすると、上記一対の折り返し形状をなす抵抗発熱体付近の発熱量が大きくなり、この付近にクールスポットを発生する虞がなくウェハＷを均一に加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】スペース事情が制約されている場合にも効果的な使用が達成されると共に自動組み立てが可能となるような電気ヒータモジュールを提供する。
【解決手段】空気流加熱のための電気ヒータモジュールであって、少なくとも１つのＰＴＣ発熱体１０とこの発熱体１０と隣接する少なくとも１つの空気貫流可能な熱放出アッセンブリと枠体１とを備え、熱放出アッセンブリがＰＴＣ発熱体１０と接続されている熱伝導板１３を有し、枠体１がＰＴＣ発熱体１０と前記熱伝導板１３を一体的にモジュール化する。熱放出アッセンブリがリング体状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハーを保持加熱する際の局所的な放熱を抑え、ウエハ−保持面の均熱性を高めたウエハー保持体を提供し、このウエハー保持体を用いることで、大口径のウエハーの処理にも適した半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 セラミックス基体２中に抵抗発熱体３等を有し、リード４が反応容器６を貫通して設けられたウエハー保持体１であって、リード４を筒状のガイド部材５内に収納し、ガイド部材５と反応容器６の間及びガイド部材５の内部で気密封止されている。ガイド部材５とセラミックス基体２は接合されておらず、内部封止されたガイド部材５内のセラミックス基体２側の雰囲気が反応容器６内の雰囲気と実質的に同一であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】過剰電力が投入された時に、ヒーターの抵抗発熱体間でリークが発生することによる熱応力割れの発生を低減する。
【解決手段】ヒーター１００の複数の抵抗発熱体１０２間に空隙Ｓを形成するように各抵抗発熱体を絶縁層１０４によって被覆する。 （もっと読む）

【課題】 加熱効率及び成形型の温度均一性がいずれも良好な加熱装置を、単純な形状の反射板を使用して提供する。
【解決手段】 赤外線ランプヒータ１は赤外線を放射する。固定治具２は、赤外線ランプヒータ１をひとつずつ個別に保持する。内側面が平滑な円筒形状である透明石英管３の側面には金メッキ７が施されており、当該円筒形状の内側に複数配置される赤外線ランプヒータ１から放射される赤外線を当該円筒形状の中心軸の方向へ反射する。成形型は透明石英管３の内側における当該中心軸上の位置に配置される。同一形状である固定治具２を積み重ねたことによって、透明石英管３内での当該中心軸に平行な向きにおける赤外線ランプヒータ１の配置が等間隔にされている。 （もっと読む）

本発明は、サブストレートを熱処理するための方法および装置に関する。ここではサブストレートがホットプレートに接触しているか、または狭い間隔で保持されており、該ホットプレートは別個に制御可能な複数の加熱素子により、前記サブストレートとは反対の側で加熱され、ホットプレートはその高さで、当該ホットプレートに対して間隔をおいたフレームにより包囲されており、ガスが該フレームと前記ホットプレートの少なくとも１つのエッジとの間のスリットを通って導かれ、該ガスはサブストレートと接触しないように導かれ、ガスの通流量および／または温度を制御することにより、ホットプレートのエッジの温度を調整する。 （もっと読む）