【課題】熱板のカバー（蓋体）の断熱性を確保しつつ、低温領域での熱板の設定温度の変更にも高速で追従することができる加熱処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを載置し加熱する熱板５０と、熱板５０上に載置された基板Ｗを覆い処理室４１を形成する蓋体６０と、蓋体６０の温度を計測する温度センサ１００とを有する。蓋体６０は、上面と下面との間に形成された空間層７４、７５を有し、蓋体６０を冷却するときに、空間層７４、７５に冷却用気体を通流させて、温度センサ１００の出力信号に基づいて、冷却用気体の流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】発熱コイルの温度を検出するためのハイリミッター用感熱センサー６への油や不純物の付着を防止し、ハイリミッター用感熱センサー６の耐久性の向上を図る。またハイリミッター用感熱センサー６の組込み作業の容易化、材料コストの低減を図る。
【解決手段】蛇行部２１と立ち上がり部２２とを有する金属パイプ２と、蛇行部２１内に挿入された発熱コイル３と、蛇行部２１と発熱コイル３の間に充填した無機絶縁物４とを備えたフライヤー用ヒーター１において、蛇行部２１の先端部２１ｃ内の発熱コイル３のコイルピッチ間隔を、それ以外の箇所のコイルピッチ間隔よりも大きく設定する。基端部２１ｄから最初の折り返し部２１ｅまでの間の蛇行部２１の内部に、ハイリミッター用感熱センサー６を配置する。 （もっと読む）

【課題】従来のシーズヒータは熱電対が劣化した場合には、シーズヒータごと交換しなければならないという欠点があった。
【解決手段】本発明のシーズヒータは、筒状金属シースと、この金属シース内に挿入した、発熱コイルと、この発熱コイル内に挿入した金属中空管と、この中空管内に挿脱自在ならしめた温度検出手段とよりなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均等な熱エネルギーの放散が可能で、温度を制御することもできる面状発熱ユニット体およびこれを用いた暖房器具を提供する。
【解決手段】一対の電極部４，５と、通電されてジュール熱を発生させる発熱性金属フィルムの抵抗発熱部６と、熱を発生しない複数の受熱部７とからなる熱放散部２が形成され、抵抗発熱部６は、２つの側部通電部６ａと、この両側部通電部６ａに対しこれらの間に平行に配設された複数の中間通電路６ｂと、側部通電路６ａと中間通電路６ｂとの端部間および中間通電路６ｂの各端部間をそれぞれ接続する連結通電路６ｃとからなる通電経路パターンに形成されている。受熱部７は、各側部通電路６ａから突出する配置と、中間通電路６ｂから突出する配置とで多数設けられている。暖房器具は、面状発熱ユニット体Ｈを収容部材の保持凹所に嵌め入れて、保持凹所を放熱板部材で密封する。 （もっと読む）

【課題】発生磁界の洩れを低減させる機能を有するヒーター線、すなわち、戻り導線を設けたヒーター線において、使用中のヒーター線の異常発熱をヒーター線に内包させた検知線によって正確に検知して、迅速かつ安全な通電停止を行うことを目的とする。
【解決手段】発熱導線、戻り導線、検知線を全長に亘って内包するヒーター線であって、発熱導線はヒーター線の手元部で電源に接続され、ヒーター線の末端基部で戻り導線に接続され、戻り導線はヒーターの手元部で電源に接続され、検知線は、異常検知器に接続されているヒーター線において、巻き芯に発熱導線をスパイラル状に巻きつけた上に樹脂を被覆した発熱電線を形成し、該発熱電線の上に検知線をスパイラル状に巻きつけた検知線付き発熱電線と、戻り導線に樹脂を被覆した樹脂被覆戻り電線とを互いに撚り合わせて形成した複合電線の上に外被を被覆したヒーター線である。 （もっと読む）

【課題】発熱線が異常発熱したときの安全性を高めることができる電気暖房器を提供する。
【解決手段】巻き芯に巻回した発熱線と、該発熱線との間に感熱層を介在させた同軸上に螺旋状に巻回した検知線とを備え、該検知線を絶縁外被により被覆した発熱体を備え、電源に対して温度ヒューズを介して前記発熱体を直列に接続してなる電気暖房器において、前記２本の発熱体６，６を設け、該一方の発熱体６に備えた発熱線６Ａと該他方の発熱体６に備えた発熱線６Ｂとを互いに流れる電流方向Ｉ１，Ｉ２が逆方向となるように電源Ｄに対して並列に接続し、前記発熱線の異常発熱により前記感熱層６Ｅ，６Ｆを溶融して該発熱線６Ａ，６Ｂと前記検知線６Ｇ，６Ｈとが短絡し、該検知線６Ｇ，６Ｈに流れる電流により発熱して前記温度ヒューズＦを溶断させる制御部Ｓを備えた。 （もっと読む）

【課題】 電気による給湯を効率的に行う給湯装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、帯状の発熱体を螺旋状に形成し、この螺旋状発熱体の長手方向両端から通電する面状発熱体１と、この面状発熱体１を収容し、該面状発熱体１の一方の側に給水口３１を設け、他方の側に給湯口３３を設けた収容体とを有して、面状発熱体１に通電して発熱させると共に給水口３１から冷水を取り込み該冷水を加熱して給湯口３３から吐出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】３線式コード状ヒータを組み込んだ電気式床暖房パネルにおいて、３線式コード状ヒータに疲労断線が生じて異常発熱した場合に、出火に至るのを確実に防止すること。
【解決手段】３線式コード状ヒータとして、通電により発熱する第１と第２の２本のヒータ線と検知線との３線式ヒータを用いる。第１のヒータ線と検知線は第１の被覆樹脂で被覆されており、第２のヒータ線は第１の被覆樹脂の溶融温度よりも高い溶融温度を持つ第２の被覆樹脂で被覆されている。電気式床暖房パネルと床暖房用コントローラを配線キット１で接続する。配線キットには、電気式床暖房パネルに組み込んだ３線式コード状ヒータの第１の被覆樹脂が溶融することにより生じる第１のヒータ線と検知線との短絡により検知線に流れる電流が流れ込む抵抗器と、抵抗器が発熱する熱により溶断する温度ヒューズとからなる抵抗器付き温度ヒューズを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄水加熱手段の電熱線が断線することが防止された衛生洗浄装置を提供する。
【解決手段】シーズヒータ９１の中央部の領域ＥＲ２における電熱線９１ｗの単位長さ当りの巻き数に比べて、シーズヒータ９１の両端部近傍の領域ＥＲ１における電熱線９１ｗの単位長さ当りの巻き数が少ない。これにより、銅管９１ｃの両端部近傍において酸化マグネシウムの粉末が充填されやすくなる。それにより、シーズヒータ９１の両端部における酸化マグネシウムの密度を高くすることができるので、シーズヒータ９１の一方または他方の端部近傍における電熱線の断線が防止される。 （もっと読む）

【課題】熱処理中の基板の温度および温度分布を計測することができる装置を提供する。
【解決手段】熱プレート１０を平面視で複数の区画に分割し、各区画ごとに個別に制御可能な分割ヒータを配設し、熱プレート上に支持されて熱処理されている基板Ｗの温度および温度分布を計測するサーモグラフィ２８を備える。サーモグラフィ２８によって計測される基板Ｗの温度および温度分布と、熱プレート１０の各区画に対応する予め記憶された位置および平面的大きさの情報とに基づいて、基板の、熱プレートの各区画に対応する各領域における平均温度が等しくなるように、各分割ヒータをフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】 安価で定着効率も良く、記録材全体で一様かつ良好な定着性の確保と安全素子の誤動作防止との両立を達成できる加熱装置及びそれを具備した画像形成装置を提供することを本発明の目的とする。
【解決手段】 フィルム加熱方式の加熱装置及びそれを具備した画像形成装置において、加熱体の基板幅全体に複数本の抵抗発熱体を配置し、複数本中の少なくとも2本以上の抵抗発熱体を長手方向の一部分において他の部分よりも幅の広い1本の抵抗発熱体に結合させ、その幅広の結合領域に絞り部を設ける。絞り部に対応する基板の裏面に、異常昇温時に抵抗発熱体への通電を遮断する機構を有する安全素子を当接する。加熱体の基板は定着ニップ内に収める。 （もっと読む）

【課題】熱板の温度設定のタイミングを適正化及び一定化する。
【解決手段】ＰＥＢ装置の熱板は、複数の熱板領域に区画されており、各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には、熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず、フォトリソグラフィー工程の終了したウェハ面内の線幅が測定される（Ｓ１）。その測定線幅の面内傾向Ｚがゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Ｚ_ｉに分解される（Ｓ２）。その算出された複数の面内傾向成分Ｚ_ｉから、温度補正値の変更により改善可能な面内傾向成分Ｚａ_ｉが抜き出され、それらが足し合わされて、ウェハ面内の測定線幅の改善可能な面内傾向Ｚａが算出される（Ｓ３）。改善可能な面内傾向Ｚａの大きさが予め設定されている閾値Ｌを超えた場合にのみ、熱板の各熱板領域の温度補正値の設定変更が行われる（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】気中通電時にも安全で、しかも、広い範囲で水槽内の水を加熱する。
【解決手段】多数の抵抗器18をベース11に分散配置するとともに、配線パターン14に通電することで、これら多数の抵抗器18を同時に発熱させるようにしたので、従来の電熱部材と合計発熱量を同一としたとき、１個の抵抗器18の発熱量は電熱部材よりかなり小さくなる。この結果、ヒーター装置が気中通電をしても、各抵抗器18の温度はあまり上昇せず、安全となる。しかも、抵抗器18が広い範囲で同時に発熱するため、広い範囲で水槽内の水を加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】流体を効率良く加熱することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】第１の流入口３に連通する第２の流入口７、第１の流出口４に連通する第２の流出口８、第２の流入口７から第２の流出口８へ流体を案内する流路９及び流路９に配設されたシーズヒータ１０を有する加熱部５を、相互に並列配置して設けた。これにより、第１の流入口３に流入した流体を、複数の加熱部５に分岐させて、それぞれの加熱部５で加熱できる。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱量のバラツキをなくし、被処理基板の面内温度の均一性を向上させた熱板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を載置し該被処理基板を加熱するための熱板４１であって、基材となるシリコン基板４２と、シリコン基板の裏面に成膜された金属の電気抵抗体からなるヒータ４３と、シリコン基板の裏面又は表面に成膜された金属の電気抵抗体からなる温度センサ４７と、被処理基板を下方から支えて熱板の上に昇降するための支持ピンを挿通させるべくシリコン基板に設けられたピン孔４９と、シリコン基板４２の表面に形成され、熱板の上に載置される被処理基板との間に隙間を形成するためギャップ用突起５０とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 印加された電力によって所定の温度が維持される機能を有する温度自動調節ケーブルを容易に屈曲させることによりジグザグ状に配列できる温度自動調節ケーブルの屈曲方法およびこれを適用した過熱防止温熱マットを開示する。
【解決手段】 過熱防止温熱マットは、印加された電力によって所定の温度を維持する発熱手段１３０と、発熱手段１３０に電気的に接続され、発熱手段１３０に供給される電力を調節する制御部１４０と、発熱手段１３０を取り囲む外装材１１０とを含んでなる。温度自動調節ケーブルの屈曲方法は、温度自動調節ケーブルの屈曲部分を設定する段階と、屈曲部分に対応する部分の絶縁膜を除去して半導電性ポリマーを露出させる段階と、露出した前記半導体性ポリマーを除去して一対の電線を露出させる段階と、露出した屈曲部分に対応する部分の一対の電線部分を屈曲させる段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】電気的特性の信頼性や耐久性が高く、簡易な製造工程で得ることができるマイクロヒータ及びそれを用いたフローセンサを提供すること。
【解決手段】マイクロヒータ１は、一対の主面１１ａ，１１ｂを有するガラス基板１１と、このガラス基板１１の一対の主面１１ａ，１１ｂで露出するように埋め込まれた断面略Ｕ字形状のシリコン部材１２とから主に構成されている。シリコン部材１２は、一対の柱部１２ａと、この一対の柱部１２ａを連接する薄肉部１２ｂとを有する。柱部１２ａの端部１２ｃがガラス基板１１の主面１１ａで露出し、薄肉部１２ｂがガラス基板１１の主面１１ｂで露出している。このような構成を有するマイクロヒータ１においては、柱部１２ａの端部１２ｃが端子を構成し、薄肉部１２ｂが発熱体を構成する。 （もっと読む）

【課題】 搬送ローラの表面が焼損することがなく、しかも、短時間でガラス製の被加熱物を加熱処理できる加熱装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明の加熱装置は、定位置で回転する搬送ローラ１が複数離間して配置され、この搬送ローラ１の表面にはテフロン樹脂１２が設けられており、搬送されてくるガラス製の被加熱物Ｗの裏面を近赤外線放射手段２で加熱し、表面を遠赤外線放射手段３で加熱する加熱装置であって、近赤外線放射手段２は白熱ランプ２１と反射鏡２２よりなり、近赤外線放射手段２は隣接する搬送ローラ１間であって、白熱ランプ２１から放射される直射光が搬送ローラ１に照射されない位置に設けられており、遠赤外線放射手段３は、近赤外線放射手段２から放射された光を受けて加熱されて遠赤外線を放射するものであることを特徴とする加熱装置。 （もっと読む）

【課題】電気伝導性層を含む積層構造のフィルム又はシートの形をした新しい電気発熱体を提供すること。
【解決手段】本発明の発熱体は、新しい発熱体（８）であって、少なくとも一つの基材（１）と、融解温度が当該発熱体の動作温度より高くそして当該基材へ薄い層として付着させることができる少なくとも１種のポリマーの分散液、溶液又は粉体から得られた結合剤（３）により当該基材へ付着している少なくとも一つの電気抵抗層（４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 寒冷地において、結露を抑制し、効率的に機器を配送するための加熱装置、結露防止装置及び結露防止方法を提供する。
【解決手段】 加熱装置１０は平板型ヒータ１１を備える。吊り下げ部２４には、吊り下げ紐２５が取り付けられ、平板型ヒータ１１を吊り下げるための引掛鉤２６が設けられている。吊り下げ紐２５を運搬用容器の上面を経由して、平板型ヒータ１１が吊り下げられた側面の対面の底部付近に引掛鉤２６を固定する。これにより、平板型ヒータ１１が運搬用容器に密着されて吊り下げられる。この状態で、機器保温カバーを画像形成装置の入った運搬用容器に被せる。そして、ヒータ線１２に通電を行ない、加熱装置１０を加熱する。そして、搬出直前まで十分な蓄熱を行ない、蓄熱を完了した場合、通電を停止する。そして、加熱装置１０を機器保温カバーから取り出す。 （もっと読む）