【課題】
本発明では、凸版印刷法により印刷を行う際、凸版の側面にインキが流入することにより、膜厚が所望の膜厚からずれてしまうという減少を防ぐことが出来た印刷用凸版の製造方法及び精密印刷製造物を提供することが求められていた。
【解決手段】
本発明では、電子材料の印刷用凸版の製造方法であって、該凸版にレジストをコーティングした後、フォトリソ法により凸状部の頂部面にのみレジスト層を形成した後、全面に撥液剤をコーティングし、その後レジストを剥離する工程からなることを特徴とする印刷用凸版の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 発光効率の高い、かつ特性寿命の長い高分子有機ＥＬ素子を安価に生産できる有機ＥＬ用印刷機を提供する。
【解決手段】 凸版５２を設置する回転式の版胴５１と、被印刷基板５５を載置する定盤５４と、凸版５２の表面に発光層用のインキを供給するインキ供給手段５６を備え、インキ供給手段５６が、凸版５２と被印刷基板５５との接触点５２ａから版胴５１の回転方向と反対の方向に９０°の角度範囲内に位置して版胴５１の周面と対向するように配設した。 （もっと読む）

【課題】 ガラス表面に均一にエッチング液を接触させ、ガラス表面を均一にエッチングすることが可能なエッチング方法及びこの方法に使用する装置の提供。
【解決手段】 エッチング方法としては、ガラス表面にエッチング液を吹き付け、その後エッチング液を除去することによってガラス板のエッチングを行う。このとき、水平にしたガラス板の底面にエッチング液を吹き付けることが好適である。エッチング装置は、ガラス板を支持する支持具と、ガラス表面にエッチング液を噴射するノズル８と、該エッチング液を貯留するエッチング液貯留槽とを備えたガラスエッチング装置である。この装置において、支持具はガラス板を水平にして支持するものであることが好適であり、ノズル８は、水平に支持したガラス板の底面に向けてエッチング液を吹き付け可能に配置することが好適である。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する基板上へのスピンコート成膜において、使用溶液の粘度が低い場合
に生じる膜厚ムラを低減し、また低濃度の溶液でも膜厚ムラの無く膜厚を増加できるスピ
ンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】不活性ガス導入ラインによって、密閉構造内を予め乾燥雰囲気にし、それに
よって、スピンコート中に溶媒が速やかに乾燥することができる。その結果、凹凸のある
基板上でスピンコートを行う場合、凹凸の影響を受けるまで溶液が減少した時点で溶媒が
揮発し膜厚ムラの発生を防止することができる。また、低濃度の溶液のスピンコートにお
いて膜厚ムラ低減のために高速回転でスピンコートを実施しても溶媒の揮発が早いため十
分な膜厚が確保することができる。 （もっと読む）

【課題】熱架橋性の高分子膜を、短時間で均一に加熱、及び冷却することを課題とする。
【解決手段】グローブボックス1内部に、送風装置9、温度制御プレート8、窒素循環口6、扉5、グローブ10を備えている。また、グローブボックス1内部は、窒素ガス４で満たされている。基板2は、基板2全体をむら無く熱処理できるよう、送風装置9の直下かつ温度制御プレート8上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ダークスポットが経時的に発生しにくく信頼性の高い、高分子有機ＥＬ素子の有機薄膜層成膜方法等を提供する。
【解決手段】高分子ポリマーと有機溶媒とを含む有機薄膜溶液をベタ膜状に塗布し有機溶媒を揮発させて発光層や正孔輸送層等の有機薄膜層を成膜する有機ＥＬ素子の有機薄膜層成膜方法において、成膜に先立って、有機薄膜層を成膜する雰囲気を低露点でかつ有機蒸気を含んだ雰囲気に調節し、この雰囲気中で有機薄膜層を成膜することを特徴とする有機ＥＬ素子の有機薄膜層成膜方法とした。このような成膜方法を実現するための簡易な成膜装置は、有機薄膜層を成膜するコーター(51)と、コーター(51)を内部に設置する成膜ボックス71と、成膜ボックス71の内部空間を低露点雰囲気に調節する除湿機81と、成膜ボックス71の内部空間を有機蒸気を含んだ雰囲気に調節する有機蒸気発生機(91)とから構成される。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子における有機発光層を有機発光インキを用いて凸版印刷法により形成する場合に代表される、非常に高い印刷精度が必要とされるインキパターンを形成することが可能な高精細印刷用凸版を提供する。
【解決手段】インキ１０８を凸版１０４の凸部パターンに供給し、凸部パターンにあるインキ１０８を被印刷体１０６に転写し、被印刷体１０６表面にインキパターン１０８ａを形成する際に用いる印刷用凸版１０４において、該印刷用凸版１０４の凸部パターン表面の十点平均粗さＲｚが、凸部パターンの最短辺の長さの２５％以下であることを特徴とする高精細印刷用凸版。 （もっと読む）

【課題】少なくとも基板と、当該基板に支持された第一電極と、有機発光層と、第二の電極を具備する有機ＥＬ素子であって、該有機発光層を形成する有機発光材料若しくは発光補助層を形成する発光補助材料を溶媒に溶解、または分散させたインキを用い、基材上に樹脂からなる凸部パターンを有する樹脂凸版を印刷版とした凸版印刷法により前記第一電極の上方に印刷して有気発光層若しくは発光補助層の少なくとも１層を形成する有機ＥＬ素子において、印刷位置ずれによる混色発光などのない良好なパネルを得ることを目的とする。
【解決手段】凸部パターンが隣接する凸部パターンに対して独立して基材上に形成されている樹脂凸版を用い、前記インキを凸版印刷法により第一電極上方に印刷することで有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に着弾した液滴の表層膜の破裂による塗布体の製造不良の発生を防止することができる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を塗布対象物２ａに噴射して塗布する塗布部と、液滴が塗布された塗布対象物２ａを収容する収容室５ａと、収容室５ａ内の気体を排気する排気部５ｃと、排気部５ｃにより収容室５ａ内から排気される気体の排気流量を調整する調整部５ｄと、排気流量を段階的に変化させるように調整部５ｄを制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、基板と、第一電極と、隔壁と、少なくとも有機発光層を有する有機ＥＬ層と、第二電極とをこの順に具備する有機ＥＬ素子において、有機ＥＬ層の少なくとも１層を、有機ＥＬ層形成材料を溶媒に溶解または分散させた有機ＥＬインキを用いて形成する場合であって、用いられるインキの表面張力が高い場合であっても、第一電極層上方全面に有機ＥＬ素子を形成し、発光させた際に発光ムラやショートの無い有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
有機ＥＬ層形成材料を溶媒に溶解または分散させた有機ＥＬインキを使用し、凸部パターンの幅が隔壁で仕切られた第一電極の幅よりも大きい凸部パターンを有する凸版を用い凸版印刷法により有機ＥＬインキを隔壁によって囲まれた第一電極上方に印刷し、有機ＥＬ層のうち少なくとも１層を形成したことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 凸部の傾斜角度の大きな感光性樹脂凸版を、短時間で形成する製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の製造方法は、図１（Ａ）に示すように、基材１００上の感光性樹脂層１０１に所定パターンの凸部１０２を形成するフォトリソ工程図と、図１（Ｂ）に示すように、凸部１０２の側面１０４の傾斜角度αを、レーザー彫刻によって修正するレーザー彫刻工程の２つの工程を含んでいる。ここで凸部１０２の側面１０４の傾斜角度αとは、基材１００の上面１００Ａに対して側面１０４が起立する角度である。凸部１０２の側面１０４の傾斜角度αの調整はレーザー出力の調整で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】発光寿命および発光効率を向上させることが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板２上に電子ブロック層６５および発光層を備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、電子ブロック層６５の材料液を塗布して電子ブロック層６５を形成する工程と、（ａ）電子ブロック層６５の表面に電子ブロック層６５の溶媒９１を滴下し、（ｂ）基板２を回転させて溶媒９１を塗布する工程と、（ｃ）その溶媒を塗布してから５分以内に、電子ブロック層６５の表面に発光層の材料液９２を塗布する工程と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させたパターン形成方法、配向膜規制方法、液滴吐出装置、配向膜形成装置及び電気光学装置並びに液晶表示装置を提供する。
【解決手段】対向基板１５上に設けられた各第１目標位置Ｔａに向かって、それぞれ対向基板１５の法線に対して第１傾斜角θａだけ傾斜する第１吐出方向Ａａの第１液滴Ｆａを吐出させるようにした。そして、第１目標位置Ｔａの間に設けられた各第２目標位置Ｔｂに向かって、それぞれ第２吐出方向Ａｂの第２液滴Ｆｂを吐出させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 微細な加工がされたインキング装置であっても、短絡のない発光素子を形成することが可能であり、印刷を繰り返した場合であっても、良好な印刷を継続することが可能である凸版印刷用インキング装置、これを用いた電子デバイスの製造方法および電子デバイスを提供する。
【解決手段】 アニロックスロールのようなインキング装置の凹部１および凸部２に、インキとの接触角を５度以上変化させるような表面処理剤を用いて、アニロックスロール表面を表面処理し、撥インキ性表面層３を形成する。また、該装置を用いて、有機ＥＬ素子のような電子デバイスを製造する。 （もっと読む）

【課題】基板サイズが大きい場合でも、パネル面内における有機膜の膜厚ばらつきを低減し、パネル発光むらが低減された有機ＥＬパネルを製造する。
【解決手段】有機ＥＬパネルの製造方法は、基板１０上に有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布することにより塗布膜５５ａを形成する塗布工程と、基板１０を、チャンバー６９０内でステージ６１０上に載置し、基板１０に対向するように配置されると共に複数の開口部６２３が設けられた蓋部６２１と基板１０の周囲を囲む側壁部６２２とを有するキャップ６２０で覆った状態で、チャンバー６９０内の気体を排気することにより塗布膜５５ａを乾燥させる乾燥工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被塗布体に塗布された液滴の乾燥を均一に行うことである。
【解決手段】液滴塗布装置は、液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、ノズルから吐出される液滴が塗布される被塗布体を保持する保持部と、液滴が塗布された被塗布体を乾燥させる乾燥部４と、を備え、乾燥部４は、被塗布体を収容するチャンバー３３と、チャンバー３３内に収容された被塗布体７の上方空間の気体を中央領域と縁部領域との間で循環させる循環手段３５と、チャンバー３３内の気体を吸引する吸引部３７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】発光寿命を向上させることが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】（ｂ）金属元素を含む陽極２３の表面に、吸湿により酸性を示す有機材料からなる正孔注入層７０を形成する工程と、（ｃ）水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に正孔注入層７０を暴露する工程とを有する。正孔注入層７０は、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの塗布膜を乾燥させて形成する。さらに、正孔注入層７０の表面に発光層を形成する工程と、発光層を加熱処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】塗布液の酸化を防止しながらコスト面および安全面を考慮した塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】ステージ上に配置されたノズル５２から吐出された塗布液をそのステージ上面に載置された基板に塗布する塗布方法である。塗布方法は、局所雰囲気生成工程を含む。局所雰囲気生成工程は、ノズル５２が塗布液を吐出する空間および塗布液が塗布された基板の塗布部位を含む塗布空間に対して局所的に所定気体を供給して、塗布液の塗布を所定の雰囲気で行う。 （もっと読む）

【課題】チャンバルーム内を安定且つ新鮮な不活性ガスの雰囲気に維持することができるチャンバ装置等を提供する。
【解決手段】ワーク処理を不活性ガスの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置６を、チャンバルーム１１内に収容するチャンバ装置３であって、略直方体形状に形成されたチャンバルーム１１と、チャンバルーム１１内に不活性ガスを供給するガス供給流路１３８と、ガス供給流路１３８に連なる送気口１３１と、チャンバルーム１１内の不活性ガスを排気する排気流路１０２と、排気流路１０２に連なる排気口１３２とを備え、送気口１３１と排気口１３２とが相互に略対角位置に配設されている。 （もっと読む）

【課題】有機発光材料を含む塗工液といった増粘の難しい塗工液であっても、レリーフ内へのインキの流入を防ぎ、再現性良く印刷を行うことが可能な高精細印刷用凸版を提供すること。
【解決手段】高精細印刷用凸版は、ネガ型感光性樹脂よりなる凸部３を含んで構成され、凸部３の突出方向の先端は、有機電子材料を主成分として含むインキが塗布される接触面３Ａとして形成されている。凸部３は、その突出方向に沿い接触面３Ａから離れるに至るにつれて断面積が次第に小さくなる逆テーパ形状となっている。 （もっと読む）