【課題】簡素な構成で信頼性が高く、且つ被冷却物を極低温に安定して冷却保持できる極低温冷却装置を提供すること。
【解決手段】極低温冷却装置１０は、被冷却物としての超電導コイル１を内包し冷却ガスＧが充填された気密容器１１と、この気密容器１１内の冷却ガスＧを冷却する極低温冷凍機１２とを有し、この極低温冷凍機１２にて冷却された冷却ガスＧにより超電導コイル１を、２０Ｋ〜５０Ｋ（例えば２０Ｋ）程度の極低温に冷却するものである。 （もっと読む）

【課題】
スライダエアーベアリングの供給エアーの温度上昇による干渉計計測空間の揺らぎの発生、ならびに６軸微動駆動ステージおよびウエハ支持手段の熱歪の発生を防ぎ、もって、ステージ位置決め精度の向上を図る。
【解決手段】
基準面を有する定盤と、基板を搭載して該基準面上で移動する移動体とを有し、前記移動体に設けられ、該移動体を前記基準面上で移動可能に支持する静圧軸受けと、該移動体を基準面に沿う二次元方向に駆動する平面モータとを有するステージ装置において、前記平面モータは可動子としてコイルを備え、前記静圧軸受けと前記コイルとの間の少なくとも一部に冷却手段を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置内の極低温冷媒の液面を、エネルギー消費量を増大させることなく好適に制御する。
【解決手段】冷凍機からの極低温冷媒をＪＴ弁３２により液化して超電導加速空洞１へ導き、この超電導加速空洞を冷却した後に前記冷凍機へ戻すメイン冷却系１１を備えた極低温冷却装置１０において、メイン冷却系から極低温冷媒の一部を分流して導き、超電導加速空洞１に熱的影響を及ぼす熱シールド板６を液体ヘリウム２により冷却してメイン冷却系１１の出口側液体ヘリウム槽２１Ｂに合流させるサブ冷却系１２と、液体ヘリウム２をサブ冷却系へ分流させる流量を調整する流量調整弁３５とを有し、この流量調整弁３５により、メイン冷却系１１の出口側液体ヘリウム槽２１Ｂにおける極低温冷媒の液面Ａを制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、空気冷媒冷凍機内へ湿分が持ち込まれることが防がれる冷凍システム及びその運転方法を提供することである。
【解決手段】冷凍システムは、予冷室（２ａ）と主冷凍室（２ｂ）とに仕切られた冷凍室（２）と、冷凍対象物（１１）が前記予冷室及び前記主冷凍室をこの順番に通過するように冷凍対象物を搬送するコンベヤ（４）と、液体窒素を前記予冷室内に供給する液体窒素供給装置（５）と、空気冷媒冷凍機（１２）とを具備する。前記空気冷媒冷凍機は、前記主冷凍室内から空気を取り込み、取り込んだ空気を圧縮し、圧縮した空気を冷却し、冷却した空気を膨張タービンにより膨張させ、膨張させた空気を前記主冷凍室内に戻すように構成されている。予冷室において冷凍対象物の表面部分を凍結させることにより、冷凍対象物からの湿分が空気冷媒冷凍機内に持ち込まれることが防がれる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造、低コスト、小型化を達成し、かつ所望の低温度の冷気ガスを安定して供給し、被冷却空間側への温度変動による影響を与えない冷却装置ならびにハンドラのデバイステスト用チャンバ空間の冷却方法を提供する。
【解決手段】 冷却装置の閉鎖容器は、被冷却空間側に連通するとともに、液体窒素源と、空気供給源と、に連通されている。空気供給源からの空気と、液体窒素源からの液体窒素と、を同時に受け入れつつ所望の低温度の低温冷却気体を生成させ、生成される低温冷却気体を被冷却空間に供給する。空気供給源からの空気と、液体窒素源からの液体窒素とを同時に閉鎖容器内に圧送供給し、それらの圧送圧力のみで他の連通路である被冷却空間を送出先として圧送供給する。 （もっと読む）

【課題】 冷却効果を維持しながら、冷却体の保冷時間の長期化を実現した冷却体を提供すること。
【解決手段】 冷媒１１を密閉容器１０内に収容した冷却体において、冷媒中に分散配置され冷媒中を移動可能な断熱性多孔質体１２を有することを特徴とする。 特に、該断熱性多孔質体の比重は、冷媒の比重に略等しく、また、該断熱性多孔質体はセラミック材質で形成されていることが好ましい。多孔質のセラミックスとしては、パーライトなどの発砲石や、高温で焼成発砲させたものなどが利用可能である。 （もっと読む）

【課題】液体の温度を簡便かつ効率よく低下させることのできる液体の冷却方法および装置を提供する。
【解決手段】冷却すべき液体４を貯留する容器１と、液体４に液体４よりも低い沸点を有する気体２１を注入する導入配管３と、導入配管３の途中に形成され液体４の蒸発ガスと気体２１を熱交換させて気体２１を冷却する熱交換部９とを備えている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 被冷却物の全体を均一に且つ効率良く気化冷却することのできる気化冷却装置を提供する。
【解決手段】 反応釜１のジャケット部２の内部に冷却流体管路６を設ける。冷却流体管路６には超音波振動子１８、及び、図示しない複数の冷却流体噴射口を設けると共に、冷却流体供給管５の一端を接続する。冷却流体供給管５の他端は、組み合わせ真空ポンプ４の循環路１５の一部と接続する。
反応釜１を冷却する場合は、冷却流体供給管５と冷却流体管路６からジャケット部２内へ冷却流体を噴射することによって、反応釜１の全体に冷却流体が供給され、反応釜１をムラなく気化冷却することができ。 （もっと読む）

【課題】
振動体の駆動周波数を最適化することによって、消費電力を抑えながら放熱能力を向上させることができる噴流発生装置及びこれを搭載した電子機器を提供する。
【解決手段】
噴流発生装置１０は、振動板３を振動可能に支持する筐体１を備え、例えばボイスコイルモータ等でなる駆動機構５により振動板３を駆動する。これにより、ノズル２を介して筐体１内の空気が脈流として筐体１の外部へ吐出され、吐出された空気が図示しない発熱体に吹き付けられることで発熱体が放熱される。この場合において、駆動機構５の入力インピーダンスが極大となる周波数で、駆動機構５を駆動することにより、この放熱システムの熱抵抗は最小となる。したがって、限られた消費電力で、最大の冷却効率を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 低温条件下でも十分な気密性を得ることができ、耐久性の向上も図ることができる低温装置の気密構造を提供する。
【解決手段】 低温に維持された低温装置の庫内と庫外とを開閉可能に仕切る部位に設けられる気密構造において、前記低温装置の庫内側に金属製板バネからなるシール板１５を配置するとともに、庫外側に軟質のパッキン１６を配置し、前記シール板及び前記パッキンを接触面に押圧してそれぞれ弾性変形させることによって前記部位を気密に保持する。また、前記パッキンの接触面にヒーターを設ける。 （もっと読む）

【課題】 被冷却物の冷凍冷却に使用された低温ガスの大気への無駄な放出をなくし、その冷熱エネルギの有効利用を可能とした冷凍装置を提供する。
【解決手段】 圧縮機１１、冷却器１２、熱交換器１３、膨張機１４、冷凍処理室１５を含み、圧縮機１１、冷却器１２、熱交換器１３、膨張機１４、冷凍処理室１５を経た後、再度熱交換器１３を経て圧縮機１１に戻る冷媒ガスの循環流路Ｌ_１と、液化冷媒ガス供給源１６から液化冷媒ガスを供給用噴霧手段１７に導き、この供給用噴霧手段１７から液化冷媒ガスを冷凍処理室１５内に噴射させる液化冷媒ガス供給流路Ｌ_２とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】熱負荷（１２）に対して極低温冷却流体を供給するための冷却システムを提供する。
【解決手段】本冷却システムは、主極低温冷凍システム（１０）と、熱負荷に結合されたフィードライン出口と極低温冷凍システムに結合されたフィードライン入口とを有する極低温冷却流体フィードライン（１９）と、熱負荷に結合されたリターンライン入口と極低温冷凍システムに結合されたリターンライン出口とを有する極低温冷却流体リターンライン（２１）と、バイパス冷却システム（３０）とを含み、バイパス冷却システムはさらに、フィードライン及びリターンラインに取付けられかつその各々が閉鎖位置と開放位置とを有する遮断弁（３６、３８）と、フィードライン及びリターンライン間で延びるバイパスラインと、バイパス弁（３４）と、フィードライン及びリターンラインの１つに取付けられた冷却装置（３２、３７、４６）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 被冷却材の形状やサイズの変更時でもスプレイ装置を交換せずに金属材料を均一に冷却することが可能な金属材料の冷却装置、及び当該冷却装置を用いる金属材料の冷却方法を提供する。
【解決手段】 気液混合スプレイノズル１、１、…を備えるヘッダー２、を備え、ヘッダー２へと供給される気体及び液体は、当該ヘッダー２内の個別の空間を介して、気液混合スプレイノズル１、１、…へと個別に供給され、ヘッダー２は筒状であるとともに、気液混合スプレイノズル１、１、…はヘッダー２の内周面６側に配置されている、金属材料の冷却装置５とする。 （もっと読む）

低温気体環境(300)を提供するための装置。低温気体環境を収容するためのチャンバ(320)は、内部チャンバを効果的に冷却するために液体冷媒(306)内に浸され、その時に、冷媒から蒸発した気体が流出することが可能になる。次いで気体は、液体冷媒が静水圧下でチャンバから押し出されるように、チャンバの開いた下方ポート(322)、または直立管(324)のいずれかを通ってチャンバ内に注入または蓄積されることが可能になる。次いでチャンバの内部に、低温の気体環境がもたらされる。
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【課題】極低温装置を去る食品の熱分布を定めるための方法、および対応する冷却装置を提供する。
【解決手段】本発明は、極低温冷却装置を去る製品の熱分布を定めるための方法に関する。この方法は、装置の作動パラメータのための有効値および／または有効値の範囲を定める工程（１８）と、調整パラメータおよび装置の作動の特性量を含む完全な組の作動パラメータを得るために、装置の作動をシミュレートする工程（２０）であって、製品の表面における少なくとも１つの温度と中心における少なくとも１つの温度とを含む処理済みの製品（Ａ）の熱分布をもたらすシミュレートする工程と、各シミュレーションについて、装置の作動マップを得るために変更可能な組の作動パラメータの確立値のすべてのためにシミュレーション工程（２０）を自動的に繰返すためのサイクル（３０）とよりなる。 （もっと読む）

【課題】コンピュータのキャビネット内の冷却能力を増大したクローズド空気冷却システム。
【解決手段】発熱部としてＣＰＵパッケージ１１０を有するキャビネット３００を密閉し、膨張機５００で作られた乾燥低温空気を循環させてキャビネット３００内部の温度を低下させて冷却する。前記乾燥低温空気は膨張機５００で作られ、フィンボード２００に設けられた空気入口管２１０から吹き出してＣＰＵパッケージ１１０に直接あるいはＣＰＵパッケージ１１０に密着する放熱板に衝突させて冷却する。更に、冷却効果を向上させるためにＣＰＵパッケージ１１０と密着した放熱板にフィンを設け、サブストレート１２０と相対するフィンボードで構成される流路から流出する低温空気でキャビネット３００内部を冷却し、膨張機の圧縮機へと戻る。前記フィンボード２００は、板に空気入口管２１０とフィンつき放熱板とを組み合わせて構成することができる。 （もっと読む）